本發(fā)明涉及一種用于剪裁出硬而易碎的基板的方法以及一種適用于所述方法的剪裁裝置,更具體而言,本發(fā)明涉及用于從具有硬而易碎性的板材(例如玻璃、石英、藍(lán)寶石、陶瓷或硅晶圓)剪裁出各種基板的一種方法及一種裝置,以用于從玻璃板(即,稍后所述的母玻璃)剪裁出基板,所述基板例如為用于安裝于個(gè)人數(shù)字助理(例如移動(dòng)電話、智能電話或平板型PC、數(shù)字照相機(jī)、便攜式游戲機(jī))或其他各種產(chǎn)品上的液晶顯示屏等的玻璃基板或保護(hù)蓋。應(yīng)注意,本文所采用的“基板”是指上面設(shè)置有功能性組件以實(shí)現(xiàn)某種功能的板狀部件。更具體而言,本文的“基板”不僅是指通常被稱(chēng)為“基板”的基板(例如,用于液晶顯示器等的玻璃基板或用于硬磁盤(pán)的由玻璃制成的基板),還指用于設(shè)置于移動(dòng)電話等中的蓋玻璃一體型觸摸面板等的蓋玻璃等,所述蓋玻璃在觸摸面板等中用于執(zhí)行保護(hù)設(shè)置于蓋玻璃后側(cè)上的液晶顯示裝置等的功能。
背景技術(shù):作為硬而易碎的基板的典型示例,玻璃基板被用作液晶電視機(jī)或個(gè)人計(jì)算機(jī)的顯示器、個(gè)人數(shù)字助理(例如,移動(dòng)電話、智能電話或平板型PC)的顯示器、數(shù)字照相機(jī)的顯示器、以及用于其它各種設(shè)備的平板顯示器的基板,并被用作用于保護(hù)此種顯示器的保護(hù)蓋。此外,玻璃基板由于比傳統(tǒng)的鋁制基板具有更低的膨脹系數(shù)及更高的耐沖擊性,因此也被用作上述硬盤(pán)等的基板。因此,玻璃基板的工業(yè)應(yīng)用正在擴(kuò)大。獲得此種玻璃基板的一般做法是從被稱(chēng)為母玻璃的大型玻璃板剪裁出多個(gè)基板。用于剪裁出基板的方法通常包括被稱(chēng)為“劃線(scribing)”及“分割(breaking)”的步驟的組合。劃線是根據(jù)將要剪裁出的基板的形狀在母玻璃中制作切割線的步驟。分割是根據(jù)由劃線步驟所制作的切割線通過(guò)對(duì)玻璃板施加彎折力而將基板彼此切開(kāi)或?qū)⒒鍙倪吘墸ㄟ吔纾┨幥虚_(kāi)的步驟。就此而言,劃線的示例包括:通過(guò)金剛石鑿或金剛石滾輪等以機(jī)械方式制作切割線的劃線、以及通過(guò)對(duì)玻璃板進(jìn)行激光照射產(chǎn)生激光感應(yīng)的熱應(yīng)力而產(chǎn)生裂紋的激光劃線。激光劃線能夠?qū)ΣAО暹M(jìn)行非接觸性處理。另外,激光劃線可通過(guò)不產(chǎn)生玻璃切割粉末等而防止對(duì)工件的污染,也可通過(guò)不在斷開(kāi)或分開(kāi)的表面中產(chǎn)生微裂紋而防止玻璃強(qiáng)度的劣化。因此,利用激光劃線的剪裁開(kāi)始普遍用于上述領(lǐng)域(例如平板顯示器)中的玻璃基板的剪裁。此處,利用已知的激光劃線進(jìn)行剪裁時(shí)也需要在劃線之后進(jìn)行分割。然而,此種剪裁方法難以在分割步驟中以高精度控制玻璃板的斷裂方向等,且在分割之后形成于玻璃上的端面并非總是具有高精度的橫截面。這些問(wèn)題會(huì)妨礙激光劃線在以下情況中的使用:剪裁微小的基板、剪裁具有彎曲線的基板或從多層結(jié)構(gòu)的玻璃、稍厚的板玻璃、強(qiáng)化玻璃等剪裁出基板??紤]到此種妨礙性,還提出了被稱(chēng)為“完全切割”的激光劃線法,此種激光劃線法使激光劃線不僅能夠在玻璃板的表面附近形成劃線,而且能夠貫穿該板的整個(gè)厚度形成劃線,從而無(wú)需分割步驟(參見(jiàn)日本專(zhuān)利KOKAI(LOPI)第2006-256944號(hào))。同時(shí),將磨粒連同壓縮氣體一起噴向工件的欲被處理的表面的噴射也是一種眾所周知的切割類(lèi)型,而且也已提出使用此種噴射來(lái)形成用于等離子體顯示面板的玻璃基板中的障壁肋(形成凹槽)(參見(jiàn)日本專(zhuān)利KOKAI(LOPI)第2000-215795號(hào))。盡管通過(guò)上述激光劃線法剪裁基板時(shí)需要引入昂貴的激光劃線裝置并因此需要許多初期投資,然而普遍認(rèn)為通過(guò)此種方法進(jìn)行的剪裁具有無(wú)需對(duì)所剪裁基板的端面進(jìn)行機(jī)械拋光操作的優(yōu)點(diǎn),這是因?yàn)榇朔N剪裁不會(huì)在所剪裁基板的端面中產(chǎn)生微裂紋,而且會(huì)將端面形成為鏡面。然而,即使所剪裁出的基板的端面是鏡面,易碎的玻璃基板在具有尖銳形狀的部分(包括形成于其外圍上的邊緣或拐角部分)也非常容易受損。因此,在運(yùn)輸或處理過(guò)程中,因基板彼此之間的接觸或基板與加工工具等的接觸,在基板的邊緣或拐角部分中易于出現(xiàn)裂紋(例如大的裂紋或小的裂紋)或碎裂的部分。在下文中,此種裂紋或碎裂部分的出現(xiàn)將被統(tǒng)稱(chēng)為“碎裂”。一旦基板中出現(xiàn)此種碎裂,則僅在沿彎折方向施加輕微的力的情況下便可使基板從碎裂的位置破裂。此外,其中保留有尖銳邊緣或拐角部分的基板是危險(xiǎn)的,且因此需要在組裝操作等步驟中小心地拿放。另外,如果基板被安裝成使組裝于最終產(chǎn)品中的基板的邊緣或拐角部分可接觸用戶的手或手指(例如,當(dāng)基板用作液晶顯示屏幕等的蓋玻璃時(shí)),所獲得的基板也具有傷及用戶的危險(xiǎn)。因此,在幾乎所有情形中,甚至通過(guò)激光劃線而剪裁出的基板也需要例如被稱(chēng)為“輕倒角(light-chamfering)”或“倒角(chamfering)”的操作,以用于通過(guò)對(duì)所剪裁出的基板的外圍部分進(jìn)行機(jī)械拋光等操作而去除邊緣或拐角部分。在普遍認(rèn)為的激光劃線所具有的優(yōu)點(diǎn)中,僅能在相當(dāng)有限的情形中體現(xiàn)出無(wú)需拋光端面的優(yōu)點(diǎn)。相反,如果使用噴射來(lái)剪裁易碎的材料基板(例如玻璃),則可使用結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單的噴射裝置來(lái)進(jìn)行剪裁。由于無(wú)需引入昂貴的設(shè)備(例如,激光劃線裝置),因此有望能夠以低的初期投資開(kāi)始通過(guò)噴射進(jìn)行剪裁。盡管如上所述存在使用噴射形成用于等離子體顯示面板的玻璃基板中的障壁肋的傳統(tǒng)技術(shù)(參見(jiàn)日本專(zhuān)利KOKAI(LOPI)第2000-215795號(hào)),然而噴射至今尚未應(yīng)用于“剪裁”玻璃基板。如上所述,噴射尚未用于剪裁玻璃基板的可能原因在于,通過(guò)噴射進(jìn)行的蝕刻無(wú)法用于劃線。具體而言,即使根據(jù)將要剪裁出的基板的形狀在母玻璃的表面中通過(guò)噴射形成凹槽以沿所述凹槽進(jìn)行分割,然而通過(guò)噴射形成的凹槽在其底面處是圓的,此與通過(guò)金剛石鑿或金剛石滾輪等形成的V形切割線不同。因此,即使沿彎折方向?qū)δ覆A┘恿?,母玻璃也不容易斷開(kāi)或被切開(kāi)?;蛘?,即使母玻璃可斷開(kāi)或被切開(kāi),其也未必能夠精確地沿通過(guò)噴射而形成的凹槽被切開(kāi)。因此,噴射法無(wú)法取代已知的劃線法而被使用。因此,使用噴射剪裁玻璃基板時(shí)需要進(jìn)行切割,以使凹槽不僅形成于母玻璃的表面附近,而且貫穿母玻璃的整個(gè)厚度形成,直至凹槽穿透母玻璃為止。在上述前提下,為了進(jìn)一步驗(yàn)證使用噴射剪裁玻璃基板的可能性,本發(fā)明的發(fā)明人試圖通過(guò)以下方式來(lái)剪裁基板:在母玻璃100上布局基板120的剪裁位置(如圖8所示);通過(guò)在母玻璃的僅一個(gè)表面上或前表面及后表面上以粘合方式將耐噴射的保護(hù)膜104結(jié)合至基板120的布局位置而遮罩母玻璃;以及通過(guò)從噴嘴一起噴出磨粒連同壓縮空氣而在未貼附有保護(hù)膜104的部分中切除母玻璃100。然而,當(dāng)連續(xù)進(jìn)行噴射以完成此種切割時(shí),形成于基板布局位置的外周邊上的邊緣130(通常被稱(chēng)為“邊界”的部分)中會(huì)產(chǎn)生裂紋131(如圖8所示),因此無(wú)法剪裁出基板。此外,在通過(guò)從母玻璃100的前表面及后表面噴射來(lái)進(jìn)行切割的情形中,在處理過(guò)程中需要執(zhí)行將母玻璃100翻過(guò)來(lái)的操作或類(lèi)似操作。在此種情形中,即使可在噴射步驟中防止邊緣130產(chǎn)生裂紋,也會(huì)在翻轉(zhuǎn)母玻璃100的過(guò)程中對(duì)母玻璃100施加沿彎折方向的力,而母玻璃100會(huì)從變薄的部分裂開(kāi)。如上所述,盡管因?yàn)榭墒褂帽燃す鈩澗€裝置等更簡(jiǎn)單的裝置構(gòu)造來(lái)實(shí)施噴射而有望通過(guò)噴射進(jìn)行的切割方法能夠以低的初期投資實(shí)現(xiàn)對(duì)硬而易碎的材料基板的剪裁,然而單純地應(yīng)用噴射來(lái)剪裁玻璃基板僅會(huì)對(duì)母玻璃造成損傷。上述說(shuō)明是針對(duì)作為易碎材料基板示例的玻璃基板的剪裁,然而,對(duì)于作為類(lèi)似玻璃的硬而易碎的板材(例如,石英、藍(lán)寶石、陶瓷或硅晶圓)也會(huì)出現(xiàn)相同的問(wèn)題,且在單純應(yīng)用噴射的情況下無(wú)法裁剪出基板。因此,本發(fā)明的目的是提供一種剪裁方法以及一種適用于通過(guò)所述方法進(jìn)行剪裁的剪裁裝置,所述剪裁方法能夠通過(guò)至今尚未被用作剪裁易碎材料基板的方法的噴射法來(lái)剪裁易碎的材料基板(例如,用于個(gè)人數(shù)字助理或平板顯示器的玻璃基板的剪裁),而不會(huì)在操作過(guò)程中對(duì)硬而易碎的材料所制成的板材造成損傷。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:以下將通過(guò)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明中所使用的附圖標(biāo)記來(lái)闡述解決上述問(wèn)題的手段。所述附圖標(biāo)記旨在使權(quán)利要求書(shū)的說(shuō)明與用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系變得清楚,顯然,所述附圖標(biāo)記以非限制性方式用于理解本發(fā)明的技術(shù)范圍。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的用于剪裁出硬而易碎的基板的方法包括:在由硬而易碎的材料制成的板材1上布局將要裁剪出的多個(gè)基板2并留出通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間,并在每一基板2所布局的位置處在板材1的前表面和后表面的每一表面上形成具有耐噴射特性的第一保護(hù)膜4;在基板2的外邊緣上形成具有耐噴射特性的第二保護(hù)膜5并留出通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間,并使用第二保護(hù)膜5覆蓋板材1的邊緣(邊界)3,以使板材1的外圍部分中的暴露寬度等于或小于5mm;在各個(gè)第一保護(hù)膜4、4之間以及在第一保護(hù)膜4與第二保護(hù)膜5之間未形成有第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5的區(qū)域上設(shè)定切割區(qū)域6;以及從板材1的任一個(gè)表面將切割區(qū)域6切割至板材1的板厚度的約一半的深度,隨后從板材1的另一表面切割切割區(qū)域6,直至與從板材1的所述一個(gè)表面形成的切割部分連通為止。在用于通過(guò)上述配置剪裁出硬而易碎的基板的方法中,切割區(qū)域6的寬度δ1、δ2等于或小于5mm,優(yōu)選地為3mm~2mm。在通過(guò)抽吸而固定板材1的前表面以使板材1浮置的狀態(tài)中,板材1的切割區(qū)域6可從板材1的后表面?zhèn)韧ㄟ^(guò)進(jìn)行噴射而被切割至板厚度的約一半的深度,隨后板材1的后表面中形成有第一保護(hù)膜4的部分可被安裝并通過(guò)抽吸而固定于用于基板的抽吸固定基座41上,用于基板的抽吸固定基座41具有分別與基板2相對(duì)應(yīng)的平面形狀,且形成有第二保護(hù)膜5的邊緣3可被安裝于邊緣基座42上,以從板材1的前表面?zhèn)韧ㄟ^(guò)噴射而切割切割區(qū)域6。本發(fā)明的發(fā)明人所進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,當(dāng)選自碳化硅、氧化鋁、鋯石、氧化鋯、金剛石、氧化鈰、不銹鋼、鑄鋼、合金鋼、高速鋼、碳化鎢或FeCrB的磨料具有Hv700~Hv9000的硬度、3.0~15.3的真比重、以及20μm~100μm的中值粒徑(優(yōu)選地為30μm~60μm),且磨料是在噴出速度為100m/s~250m/s或噴出壓力為0.2MPa~0.5MPa的處理?xiàng)l件下噴出時(shí),且當(dāng)使用基本上為球形的磨料時(shí),可在保持處理精確度(剪裁尺寸的精確度)的同時(shí)提高剪裁出基板2的速度,而且可通過(guò)減少保護(hù)膜在與磨料碰撞時(shí)所受的損傷而減小保護(hù)膜的厚度。用于剪裁出硬而易碎的基板的裝置10的特征在于:欲從由硬而易碎的材料所制成的板材1剪裁出的多個(gè)基板2被布局于板材1上并留出通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間;具有耐噴射特性的第一保護(hù)膜4在每一基板2所布局的位置處形成于板材1的前表面和后表面的每一表面上;具有耐噴射特性的第二保護(hù)膜5形成于基板2的外邊緣上并留出通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間;且板材1的邊緣(邊界)3被覆蓋以使板材1的外圍部分中的暴露寬度等于或小于5mm,從而使板材1作為處理對(duì)象;以及裝置10包括:板材懸置夾具30,其包括抽吸固定板31,抽吸固定板31用于通過(guò)抽吸而固定板材1的前表面,并使通過(guò)抽吸而固定在所述抽吸固定板31上的所述板材1保持在使所述板材1浮置在半空中的狀態(tài);用于后表面處理的噴嘴51,其用于將磨料噴出至由板材懸置夾具30所懸置的板材1的后表面;板材安裝夾具40,其用于在從板材1的后表面進(jìn)行噴射之后安裝板材1,板材安裝夾具40包括:多個(gè)用于基板的抽吸固定基座41,其具有與將要裁剪出的基板2相對(duì)應(yīng)的平面形狀,所述多個(gè)用于基板的抽吸固定基座41用于在其上面通過(guò)抽吸而固定并安裝板材1的后表面中被第一保護(hù)膜4覆蓋的部分;以及邊緣基座42,其設(shè)置于一組所述多個(gè)用于基板的抽吸固定基座41的外周邊位置處,邊緣基座42用于在其上面安裝板材1中被第二保護(hù)膜5覆蓋的部分;以及用于前表面處理的噴嘴52,其用于將磨料噴出至安裝于板材安裝夾具40上的板材1的前表面。用于剪裁出硬而易碎的基板的裝置10的特征在于,板材懸置夾具30包括用于抽吸固定板31的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32及水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)33,板材安裝夾具40包括行進(jìn)構(gòu)件(圖2中的底座43),以及裝置10還包括控制單元(圖未示出),所述控制單元用于使各個(gè)單元執(zhí)行以下操作:板材懸置夾具30從其起始位置(圖2中的位置12b)降低抽吸固定板31,并使抽吸固定板31通過(guò)抽吸而固定位于起始位置下方的板材1;隨后,板材懸置夾具30水平移動(dòng),同時(shí)抽吸固定板31向上移動(dòng),從而在用于噴出磨料的用于后表面處理的噴嘴51上方穿過(guò);隨后,板材懸置夾具30移動(dòng)至板材安裝夾具40上方的位置,并在該位置處降低抽吸固定板31,從而將板材1安裝于板材安裝夾具40上,且隨后釋放抽吸固定板31的抽吸;以及板材安裝夾具40開(kāi)始通過(guò)抽吸而固定板材1,并行進(jìn)且在用于噴出磨料的用于前表面處理的噴嘴52下方穿過(guò)。在其中使用基本上為球形的磨料的情形中,當(dāng)磨料的硬度低于700Hv時(shí),磨料的形狀會(huì)由于碰撞而變形,此又會(huì)導(dǎo)致使剪裁能力及處理精確度劣化的問(wèn)題。此外,當(dāng)真比重被設(shè)定為小于3.0時(shí),高碰撞能量無(wú)法集中在一個(gè)點(diǎn)(窄的范圍)上,此又會(huì)導(dǎo)致無(wú)法使用基本上為球形的磨料來(lái)剪裁硬而易碎材料(例如玻璃)的問(wèn)題。同時(shí),當(dāng)磨料的硬度高于9000Hv時(shí),對(duì)易碎材料施加的分割力會(huì)變得過(guò)大且板材1可因此而受損,而且,具有高于9000Hv的硬度的磨料從成本的角度上講是不切實(shí)際的。當(dāng)磨料的真比重超過(guò)15.3時(shí),在所剪裁的外周邊部分中出現(xiàn)的碎裂會(huì)變大,另外會(huì)使掩膜受損。此外,當(dāng)中值粒徑被設(shè)定成大于100μm時(shí),所剪裁的外周邊部分中的碎裂會(huì)變大,另外,保護(hù)膜在與磨料碰撞時(shí)無(wú)法完全吸收沖擊力,此又會(huì)導(dǎo)致使位于保護(hù)膜下方的欲被處理的工件受損的問(wèn)題。當(dāng)為解決該問(wèn)題而增大保護(hù)膜的厚度時(shí),處理精確度會(huì)劣化且成本會(huì)升高。同時(shí),當(dāng)中值粒徑小于20μm時(shí),剪裁速度會(huì)變慢,此又會(huì)導(dǎo)致使生產(chǎn)率降低的問(wèn)題。此外,當(dāng)在磨料的中值粒徑介于20μm與100μm之間的情形中噴出速度低于100m/s或噴出壓力低于0.2MPa時(shí),碰撞能量會(huì)變低,因此剪裁能力會(huì)顯著劣化,此又會(huì)進(jìn)一步導(dǎo)致使硬而易碎的材料的剪裁變得完全不可能的問(wèn)題。同時(shí),當(dāng)噴出速度高于250m/s或噴出壓力高于0.5MPa時(shí),碰撞能量會(huì)變得過(guò)高,此又會(huì)導(dǎo)致處理精確度(剪裁尺寸的精確度)劣化的問(wèn)題,而且需要增大保護(hù)膜的厚度來(lái)延長(zhǎng)保護(hù)膜的耐久性,因此成本升高。根據(jù)本發(fā)明用于剪裁出硬而易碎的基板的方法以及用于剪裁出硬而易碎的基板的裝置10可通過(guò)上述本發(fā)明的配置實(shí)現(xiàn)以下顯著的有益效果。由硬而易碎的材料制成的板材1不僅在基板2的布局位置處被第一保護(hù)膜4遮罩,而且在邊緣(邊界)3中被第二保護(hù)膜5遮罩,且第二保護(hù)膜5被形成為使板材1的未被保護(hù)膜(第二保護(hù)膜)覆蓋的外圍部分的寬度(參見(jiàn)圖1的放大視圖中的暴露寬度W)等于或小于5mm,且形成于第一保護(hù)膜4、4之間以及第一保護(hù)膜4與第二保護(hù)膜5之間的未被保護(hù)膜覆蓋的部分被設(shè)定為切割區(qū)域6,且板材1分別從其前表面和后表面而被切割。因此,即使在連續(xù)通過(guò)噴射進(jìn)行切割以剪裁出基板2直至穿透由硬而易碎的材料制成的板材1時(shí),也可在不在板材1中產(chǎn)生裂紋的情況下進(jìn)行剪裁。具體而言,如果切割區(qū)域6的寬度δ1、δ2被設(shè)定為較大,則當(dāng)切割區(qū)域的厚度隨著噴射切割的進(jìn)行而減小時(shí),切割區(qū)域6中可能會(huì)產(chǎn)生裂紋,且所述裂紋會(huì)延伸至基板2的布局位置或發(fā)生類(lèi)似情況,此又會(huì)使得無(wú)法完成基板2的剪裁。然而,在切割區(qū)域6的寬度δ1、δ2被設(shè)定成等于或小于5mm、優(yōu)選地被設(shè)定成3mm~2mm的配置中,也可適當(dāng)?shù)胤乐骨懈顓^(qū)域6中產(chǎn)生此種裂紋。一種配置為:在板材懸置夾具30的抽吸固定板31通過(guò)抽吸而固定板材1的前表面而使板材1浮置的狀態(tài)中,通過(guò)從板材1的底面?zhèn)葒娚浒宀?而將切割區(qū)域6切割至板厚度的約一半的深度,隨后板材1被安裝于板材安裝夾具40上,且板材1的后表面的分別被第一保護(hù)膜4覆蓋的部分被安裝并通過(guò)抽吸而固定于用于基板的抽吸固定基座41上,且板材1的后表面的被第二保護(hù)膜5覆蓋的部分被安裝于邊緣基座42上,隨后從板材1的前表面切割切割區(qū)域6。此外,控制單元(圖未示出)通過(guò)板材懸置夾具30、板材安裝夾具40、及噴嘴51、52對(duì)噴出磨料的操作執(zhí)行預(yù)定的控制,從而使得即使由硬而易碎的材料制成的板材1也可相對(duì)輕松地從前表面和后表面被處理而不發(fā)生損傷,并可更可靠地防止板材在處理步驟中破裂。此外,所剪裁出的硬而易碎的材料基板2是通過(guò)抽吸而固定在用于基板的抽吸固定基座41上而被安裝,因此能夠可靠地固定所剪裁出的基板2的位置,因此也可適當(dāng)?shù)胤乐钩霈F(xiàn)所剪裁出的基板2由于彼此碰撞或類(lèi)似情況而受損的缺點(diǎn)。此外,欲通過(guò)噴射而噴出的磨料選自碳化硅、氧化鋁、鋯石、氧化鋯、金剛石、氧化鈰、不銹鋼、鑄鋼、合金鋼、高速鋼、碳化鎢或FeCrB,并具有Hv700~Hv9000的硬度、3.0~15.3的真比重、以及20μm~100μm的中值粒徑,且基本上為球形的磨料是以100m/s~250m/s的噴出速度或以0.2MPa~0.5MPa的噴出壓力噴出至由硬而易碎的材料制成的板材1。因此,可在保持處理精確度(剪裁尺寸的精確度)的同時(shí)增大剪裁出基板2的速度,而且也可通過(guò)減少保護(hù)膜在與磨料碰撞時(shí)所受的損傷來(lái)減小保護(hù)膜的厚度。附圖說(shuō)明在閱讀結(jié)合附圖所提供的本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明之后,本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見(jiàn),在附圖中:圖1是由硬而易碎的材料制成的板材的平面視圖;圖2是本發(fā)明的剪裁裝置的說(shuō)明圖;圖3是抽吸固定板的仰視圖;圖4是板材安裝夾具的平面視圖;圖5是沿圖4中的線V-V截取的剖視圖;圖6是板材安裝夾具的側(cè)視圖;圖7是顯示板材及噴嘴的布置的說(shuō)明圖;以及圖8是通過(guò)噴射用于剪裁基板的母玻璃的平面視圖(失敗的示例)。具體實(shí)施方式以下將參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。工件在本發(fā)明中,作為處理對(duì)象的工件是由如下材料形成的板材:所述材料雖然是硬的,但由于其具有缺乏韌性的易碎性或具有類(lèi)似特性而在處理過(guò)程中由于沖擊可輕易產(chǎn)生裂紋或破裂。此種材料的示例包括玻璃、石英、陶瓷及藍(lán)寶石,且其中任一種均為本發(fā)明的剪裁對(duì)象,并可有望具體用于在工業(yè)上批量生產(chǎn)的玻璃基板,以作為用于個(gè)人數(shù)字助理或平板顯示器的基板、用于硬盤(pán)的基板等等。然而進(jìn)一步而言,此種玻璃并不受具體限制,用于平板顯示器的基板的鈉玻璃、鈉鈣玻璃、堿性玻璃、非堿性玻璃及高應(yīng)變點(diǎn)玻璃、用于硬盤(pán)基板的鋁硅酸鹽玻璃及微晶玻璃、以及硼硅酸鹽玻璃(耐熱玻璃)、鉀玻璃、結(jié)晶玻璃、石英玻璃、鋼化玻璃等等均可為本發(fā)明拋光的對(duì)象。盡管基板的剪裁通常包括對(duì)稱(chēng)為母玻璃的大型玻璃照原樣進(jìn)行制造而不切割該母玻璃,然而,例如,通過(guò)將母玻璃劃分成預(yù)定數(shù)目的部分而獲得的玻璃板可被進(jìn)一步剪裁成各個(gè)基板。保護(hù)膜的形成在由硬而易碎的材料制成的板材1上以留出空白(用于板的切割)的方式布局將要剪裁出的基板2,且根據(jù)由空白所確定的基板2的布局位置而將第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5形成于板材1的前表面和后表面的每一表面上。欲從由硬而易碎的材料制成的板材1剪裁出的基板2的形狀并非僅限于僅由直線形成的形狀(例如矩形形狀),而是可為具有曲線的形狀(例如,如圖1所示的矩形在其縱向上具有半圓端而形成的類(lèi)似于橢圓形的形狀),進(jìn)一步而言,基板2的形狀可為更加復(fù)雜的形狀,更進(jìn)一步而言,基板2可設(shè)置有開(kāi)口等。布局被設(shè)定成使得相鄰基板2、2之間的空間δ1具有通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間(通過(guò)噴射進(jìn)行的切割余量)。切割余量會(huì)根據(jù)所使用磨料的粒徑等而發(fā)生改變,然而,所需的切割余量為約1mm,且如果基板2、2之間的空間過(guò)小,則在通過(guò)噴射進(jìn)行處理的過(guò)程中,欲被留下而作為基板2的部分也會(huì)被損壞,且基板2無(wú)法被剪裁成期望的形狀。同時(shí),如果寬度過(guò)大,則可在切割過(guò)程中產(chǎn)生裂紋,且需要較長(zhǎng)的切割時(shí)間,因此,空間δ1被設(shè)定成5mm或以下,或優(yōu)選地被設(shè)定成2mm至3mm。在板材1的前表面和后表面的每一表面上,具有耐噴射特性的第一保護(hù)膜4根據(jù)如上所述由空白確定的基板2的布局而形成于基板2的布局位置處,且同樣具有耐噴射特性的第二保護(hù)膜5形成于在如上所述所布局的基板2的外周邊上所形成的邊緣3中。此處,第一保護(hù)膜4用于保護(hù)將要剪裁出的基板以使基板2不會(huì)通過(guò)噴射而被切割,因此,第一保護(hù)膜4形成為與將要裁剪出的基板2的形狀相對(duì)應(yīng)的形狀。另一方面,在基板2被剪裁出之后仍保留的邊緣3是不用作產(chǎn)品的部分,且即使此部分在剪裁過(guò)程中通過(guò)噴射而被切割,產(chǎn)品的品質(zhì)方面也不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題,因此,此部分自然無(wú)需特定保護(hù)。然而,作為本發(fā)明的發(fā)明人反復(fù)試驗(yàn)的結(jié)果,保護(hù)膜(第二保護(hù)膜)5也形成于原本無(wú)需遮罩及保護(hù)的邊緣3中,并在其與第一保護(hù)膜4的外圍部分之間留出切割第一保護(hù)膜4的外圍部分所需的空間,且邊緣3是以使板材1的外圍部分中的暴露寬度W等于或小于5mm的方式而被第二保護(hù)膜5保護(hù),從而可有效防止如本發(fā)明的發(fā)明內(nèi)容中所述在邊緣3中出現(xiàn)的裂紋。因此,形成于邊緣3中的第二保護(hù)膜5無(wú)需像第一保護(hù)膜4一樣被形成為與邊緣3的形狀精確對(duì)應(yīng)的形狀,然而,其外周邊的形狀被形成為至少使板材1的外圍部分中的暴露寬度W等于或小于5mm。此外,如果第二保護(hù)膜5與第一保護(hù)膜4之間的空間δ2被形成為等于或小于通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間(需要作為切割余量的空間),則在噴射期間欲被留下作為基板2的部分會(huì)被切割,且基板2無(wú)法被精確地剪裁出,因此,空間δ2也被設(shè)定成通過(guò)噴射進(jìn)行切割所需的空間,例如為1mm至5mm或優(yōu)選地為2mm至3mm,這與基板2、2之間所設(shè)置的空間δ1相同。在上面形成有第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5的板材1中,形成于第一保護(hù)膜4、4之間的空間δ1以及形成于第一保護(hù)膜4與第二保護(hù)膜5之間的空間δ2是欲通過(guò)噴射而被切除的切割區(qū)域6。與基板2如圖1所示具有曲線部分的情形一樣,當(dāng)?shù)谝槐Wo(hù)膜4的曲線部分之間形成相對(duì)寬的空間時(shí),對(duì)于曲線部分之間的部分,第二保護(hù)膜5同樣被形成為從第一保護(hù)膜4的外圍部分留出切割所需的距離,因此,在任何部分中,切割區(qū)域6均被形成為具有1mm至5mm的空間或優(yōu)選地為2mm至3mm的空間。上述第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5可例如通過(guò)使用絲網(wǎng)印刷等方法按所需圖案印刷耐噴射樹(shù)脂油墨而形成,或者可通過(guò)對(duì)板材的表面涂覆由不銹鋼(例如SUS)、鋁(Al)、銅(Cu)或鐵(Fe)制成的金屬掩膜或類(lèi)似做法而形成,或者,進(jìn)一步而言,第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5可通過(guò)將樹(shù)脂膜貼附至板材的表面而形成。在形成上述第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5時(shí),第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5可通過(guò)不同的方法形成,并可由不同的材料形成。作為示例,在所述實(shí)施例中,第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5兩者可使用用于絲網(wǎng)印刷的油墨通過(guò)絲網(wǎng)印刷而形成。此處,第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5的膜厚度會(huì)根據(jù)材料等發(fā)生改變,然而,作為示例,膜厚度為70μm至100μm或優(yōu)選地為90μm至100μm,并優(yōu)選的是增大第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜的厚度,這是因?yàn)閲娚鋾r(shí)間會(huì)隨著板材1的厚度增大而變長(zhǎng)。磨料如上所述,在上面形成有第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5的由硬而易碎的材料制成的板材1的切割可通過(guò)噴出普遍用于切割硬而易碎材料的基于陶瓷的磨粒(例如,碳化硅、氧化鋁、鋯石、氧化鋯、金剛石、氧化鈰等)、基于金屬的磨粒(例如,不銹鋼、鑄鋼、合金鋼、高速鋼、碳化鎢等)或FeCrB等作為磨料而實(shí)現(xiàn)。可根據(jù)各種條件(例如,欲被處理的硬而易碎的材料的制成材料、將要裁剪出的基板的形狀、以及所使用的磨粒的材料)適當(dāng)?shù)剡x擇用作磨料的磨粒的尺寸,然而,作為示例,可優(yōu)選地使用具有20μm至100μm的中值粒徑的磨粒。噴出方法所述實(shí)施例中的上述磨料連同壓縮氣體或壓縮空氣是從噴嘴向由硬而易碎的材料制成的板材中的至少上述切割區(qū)域噴出。噴出磨料時(shí)所使用的壓縮空氣的噴出壓力可根據(jù)所用磨料的粒徑或材料適當(dāng)?shù)馗淖?,然而,噴出壓力?yōu)選地介于0.2MPa與0.5MPa之間或更優(yōu)選地介于0.3MPa與0.5MPa之間。作為用于噴出的噴嘴,可使用具有圓形噴出開(kāi)口的圓形噴嘴,且當(dāng)同時(shí)處理相對(duì)較寬的區(qū)域時(shí),可優(yōu)選地使用具有細(xì)長(zhǎng)矩形噴出開(kāi)口的狹縫型噴嘴(圖未示出),且與使用圓形噴嘴時(shí)相比,在使用此種狹縫型噴嘴時(shí),磨料的噴出速度在狹縫長(zhǎng)度方向上的變化可被抑制,并可進(jìn)行均勻的處理。在使用圓形噴嘴的情形中,所用噴嘴的噴嘴直徑介于3mm與10mm之間(在使用狹縫型噴嘴的情形中處于與上述直徑相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口區(qū)域的范圍內(nèi)),或優(yōu)選地直徑介于6mm與10mm之間。噴嘴相對(duì)于欲被處理的板材的表面的傾斜度可介于45度與90度之間,或優(yōu)選地介于60度與90度之間,或更優(yōu)選地,噴出是垂直于板材1的表面(相對(duì)于板材1的表面成90度)而發(fā)生。磨料的噴出例如可通過(guò)以下方式配置:并排設(shè)置多個(gè)噴嘴,以使板材1可在沿其寬度方向的整個(gè)面積上被覆蓋(參見(jiàn)圖7);沿板材1的縱向相對(duì)地移動(dòng)板材1及/或噴嘴;以及在板材1的整個(gè)面積上噴出磨料,或者通過(guò)使噴嘴在板材1上往復(fù)運(yùn)動(dòng)或進(jìn)行類(lèi)似操作而在板材1的整個(gè)面積上噴出磨料,然而所述配置并非僅限于此。磨料的噴出首先在板材1的前表面和后表面的任一表面上執(zhí)行,且在切割區(qū)域6被切割至板材1的厚度的約一半的深度之后,磨料從板材1的另一表面噴出,以完全移除切割區(qū)域6并穿透板材1,從而完成對(duì)由第一保護(hù)膜4所保護(hù)的板材1的剪裁。剪裁裝置以下將參照?qǐng)D2說(shuō)明適于剪裁出硬而易碎的基板2的剪裁裝置10的構(gòu)造示例。1.總體構(gòu)造剪裁裝置10包括:板材懸置夾具30,其用于在板材1被懸置的狀態(tài)中移動(dòng)欲被處理的由硬而易碎的材料制成的板材1;用于后表面處理的噴嘴51,其用于向由板材懸置夾具30所懸置的板材1的后表面噴出磨料;板材安裝夾具40,其用于安裝板材1;以及用于前表面處理的噴嘴52,其用于向安裝于板材安裝夾具40上的板材1的前表面噴出磨料,所述各構(gòu)件設(shè)置于由罩11圍繞的工作空間12中。在圖示的實(shí)施例中,剪裁裝置10還包括傳送構(gòu)件20,其用于將設(shè)置于罩11的一端上的板材的引入位置12a處的板材1傳送至罩11中;以及控制單元(圖未示出),其用于通過(guò)控制各個(gè)構(gòu)件的操作而使所述各構(gòu)件能夠相互協(xié)作。2.傳送構(gòu)件在形成本發(fā)明的剪裁裝置10的結(jié)構(gòu)裝備中,傳送構(gòu)件20是用于將設(shè)置于引入位置12a處的板材1傳送至工作空間12中的預(yù)定位置,并可通過(guò)例如滾柱式輸送機(jī)或帶式輸送機(jī)等已知的傳送構(gòu)件20(例如,在圖示的示例中為滾柱式輸送機(jī))進(jìn)行配置。在圖示的示例中,傳送構(gòu)件20被設(shè)置成從板材1的引入位置12a延伸至稍后所述的板材懸置夾具30的初始位置的下部,且當(dāng)欲被處理的板材1被放置在設(shè)置于罩11的一個(gè)端側(cè)上的引入位置12a處時(shí),板材1可被移動(dòng)至位于初始位置(圖2中的位置12b)的板材懸置夾具30下方。當(dāng)然,傳送構(gòu)件20并非必須設(shè)置,而是例如在可用手將板材1設(shè)置于工作空間12中的預(yù)定位置處(位于初始位置的板材懸置夾具30的下方)的配置情形中可被省略。3.板材懸置夾具板材懸置夾具30通過(guò)抽吸而固定欲被處理的板材1的前表面,并可以使板材1的后表面浮置的方式懸置板材1,并能夠通過(guò)以此種方式懸置板材1而實(shí)現(xiàn)從后表面對(duì)板材1的噴射。在所示實(shí)施例中,板材懸置夾具30包括:抽吸固定板31,其用于通過(guò)抽吸而固定板材1的前表面;上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32,其用于上下移動(dòng)抽吸固定板31;以及行進(jìn)機(jī)構(gòu)33,其用于在板材1通過(guò)抽吸而固定于抽吸固定板31上的狀態(tài)中在稍后所述的用于后表面處理的噴嘴51上方水平地移動(dòng)板材1。在圖示實(shí)施例中,行進(jìn)機(jī)構(gòu)33包括導(dǎo)軌33a以及沿導(dǎo)軌33a行進(jìn)的底座33b,且抽吸固定板31通過(guò)上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32而被安裝至底座33b,以使抽吸固定板31可上下移動(dòng)。如圖3所示,設(shè)置于板材懸置夾具30中的抽吸固定板31包括按預(yù)定的排列方式安裝于底面上的抽吸固定墊311,且抽吸固定墊311的內(nèi)側(cè)通過(guò)與抽吸固定墊311相連通的軟管(圖未示出)而被抽吸構(gòu)件(例如,真空泵(圖未示出))吸住,其中抽吸固定墊311的開(kāi)口貼靠板材1,因此,欲被處理的板材1可通過(guò)抽吸而被固定。如圖2所示,抽吸固定板31的上表面通過(guò)連接機(jī)構(gòu)34及上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32而連接至底座33b。在圖示的實(shí)施例中,四(4)個(gè)柱34c直立于中間連接板34b上,中間連接板34b放置于安裝至抽吸固定板31的上表面的四(4)個(gè)柱34a的上端上。盡管省略了詳細(xì)的圖示,然而柱34c是配合于設(shè)置在底座33b中的插入孔中以進(jìn)行上下移動(dòng),以使底座33b可與所述四(4)個(gè)柱34c同步移動(dòng)。此外,上端連接板34d被放置于所述四(4)個(gè)柱34c的上端上以構(gòu)成由所述四(4)個(gè)柱34c形成的連接機(jī)構(gòu)34。然而,連接機(jī)構(gòu)34的構(gòu)造并非僅限于此,且連接機(jī)構(gòu)34可具有其他構(gòu)造,只要抽吸固定板31在上下移動(dòng)過(guò)程中可被保持于穩(wěn)定位置處即可。設(shè)置于底座33b上的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32(例如,圖示的實(shí)施例中的液壓缸的活塞桿)連接至以如上述所述方式形成的連接機(jī)構(gòu)34的上部(例如,圖示實(shí)施例中的上端連接板34d),因此,抽吸固定板31可通過(guò)上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32而上下移動(dòng)。在所述實(shí)施例中,如上所述,設(shè)置液壓缸作為上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32,然而上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32并非僅限于液壓缸,而且可使用氣壓缸,并可采用各種用作上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32的已知結(jié)構(gòu)(例如,用于上下移動(dòng)抽吸固定板31的結(jié)構(gòu))。當(dāng)然,當(dāng)在抽吸固定板31上下移動(dòng)的同時(shí)對(duì)通過(guò)抽吸而固定的板材1施加沖擊(例如大的振動(dòng))時(shí),板材1可受損,因此,期望選擇能夠相對(duì)平滑地上下移動(dòng)也能夠平滑地進(jìn)行開(kāi)始及停止操作的結(jié)構(gòu)。盡管圖未示出,然而板材懸置夾具30設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖未示出),以用于使底座33b能夠以預(yù)定的速度在導(dǎo)軌33a上行進(jìn),且板材可在稍后所述的用于后表面處理的噴嘴51上方以特定速度穿過(guò)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)例如可被構(gòu)造成使用于驅(qū)動(dòng)設(shè)置于底座33b上的輪的電動(dòng)機(jī)安裝于底座33b上,或用于牽引及/或推動(dòng)底座33b的機(jī)構(gòu)可與底座33b分開(kāi)設(shè)置,并可采用各種構(gòu)造,只要底座33b可以所設(shè)定的特定速度移動(dòng)即可。板材1可通過(guò)板材懸置夾具30從圖2中的位置12b越過(guò)用于后表面處理的噴嘴51(位置12c)而移動(dòng)至稍后所述的板材安裝夾具40的起始位置(位置12d)上方。4.板材安裝夾具板材安裝夾具40是如下夾具:其用于在其上面安裝在板材懸置夾具30的懸置下已經(jīng)經(jīng)歷過(guò)后表面處理的板材1并用于噴射板材1的前表面。板材安裝夾具40包括:用于基板的抽吸固定基座41,其用于分別通過(guò)抽吸而固定并安裝板材1的被第一保護(hù)膜4覆蓋的部分;以及邊緣基座42,其設(shè)置于一組用于基板的抽吸固定基座41的外周邊位置處并用于安裝板材1的被第二保護(hù)膜5覆蓋的部分(參見(jiàn)圖4)。圖4~6所示的板材安裝夾具40還設(shè)置有位于罩11中的導(dǎo)軌60,以使安裝于板材安裝夾具40上的板材1可在以朝下方向(參見(jiàn)圖2)設(shè)置的用于前表面處理的噴嘴52下方穿過(guò),且板材安裝夾具40設(shè)置有底座43,底座43包括用于在導(dǎo)軌60上行進(jìn)的輪。如圖4所示,各個(gè)用于基板的抽吸固定基座41被形成為在平面視圖中與將要裁剪出的基板2具有相同的形狀。用于基板的抽吸固定基座41彼此獨(dú)立地形成并與稍后所述的邊緣基座42獨(dú)立形成。用于基板的抽吸固定基座41的數(shù)目、布局圖案及高度與布局在板材1上的基板的數(shù)目、布局圖案及高度相同。此外,邊緣基座42被形成為在平面視圖中與被第二保護(hù)膜覆蓋的邊緣(邊界)3具有相同的形狀并被設(shè)置于所述一組用于基板的抽吸固定基座41的外周邊位置處,所述一組用于基板的抽吸固定基座41是通過(guò)按預(yù)定圖案排列用于基板的抽吸固定基座41而形成。隨后,用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42被設(shè)置成通過(guò)支腿部44而浮置于底座43上方,并在用于基板的抽吸固定基座41、41之間或用于基板的抽吸固定基座41與邊緣基座42之間留出預(yù)定空間,因此,即使當(dāng)磨料通過(guò)用于前表面處理的噴嘴52所進(jìn)行的磨料噴出操作而被噴出至板材1、且板材1通過(guò)使用磨料進(jìn)行切割而被穿透時(shí),穿透板材1的磨料流可向下穿過(guò)用于基板的抽吸固定基座41、41之間的空間或用于基板的抽吸固定基座41與邊緣基座42之間的空間,且被剪裁出的基板2及邊緣3可彼此獨(dú)立地安裝于用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42上。用于基板的抽吸固定基座41(優(yōu)選地,用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42)被構(gòu)造成通過(guò)抽吸而固定安裝于其上的基板2及邊緣3的某些部分。在圖示的實(shí)施例中,用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42的表面中形成有凹槽41a、42a,穿過(guò)用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42的厚度形成有與凹槽41a、42a相連通的通孔41b、42b,且通孔41b、42b通過(guò)軟管等(圖未示出)與抽吸構(gòu)件(例如,真空泵(圖未示出))連通并進(jìn)行抽吸,因此,安裝于用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42上的基板2及邊緣3可通過(guò)抽吸而被固定,且即使當(dāng)基板2、2被彼此切開(kāi)且基板2與邊緣3被切開(kāi)時(shí),其間的相對(duì)位置也不會(huì)改變。板材安裝夾具40可通過(guò)設(shè)置于罩11中的導(dǎo)軌60以及在導(dǎo)軌60上行進(jìn)的底座43而在導(dǎo)軌60上行進(jìn),以在位于端點(diǎn)位置(圖2中的位置12d)處的板材懸置夾具30的正下方的位置處開(kāi)始,在以朝下方向(圖2中的位置12e)設(shè)置的用于前表面處理的噴嘴下方穿過(guò),并行進(jìn)至設(shè)置于罩11的另一端側(cè)上的移除位置12f。順便而言,底座43設(shè)置有安裝于底座43上的輪驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(圖未示出)以及用于牽引及/或推動(dòng)底座43的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖未示出),以便使底座43可在上述位置之間(12d與12e之間)行進(jìn)并以預(yù)設(shè)的特定速度至少在用于前表面處理的噴嘴52下方穿過(guò)。5.噴嘴噴嘴51設(shè)置于板材懸置夾具30的行進(jìn)路徑下方,且噴嘴52設(shè)置于板材安裝夾具40的行進(jìn)路徑上方。設(shè)置于板材懸置夾具30的行進(jìn)路徑下方的噴嘴51是用于后表面處理的噴嘴,其被設(shè)置成其噴出方向朝上并用于處理安裝于板材懸置夾具30上的板材1的后表面,而設(shè)置于板材安裝夾具40的行進(jìn)路徑上方的噴嘴52是用于前表面處理的噴嘴,其被設(shè)置成其噴出方向朝下并用于處理安裝于板材安裝夾具40上的板材1的前表面。噴嘴51、52兩者均可從磨料供應(yīng)源(圖未示出)噴出以流體與壓縮氣體(例如,在此實(shí)施例中為壓縮空氣)的混合物形式被引入的磨料,并可采用已知的噴射裝置的配置作為此種磨料供應(yīng)方法。在處理對(duì)象是設(shè)置有形成為圖7所示形狀的切割區(qū)域6的板材1的實(shí)施例中,需要將噴嘴51、52設(shè)置成使磨料可在切割區(qū)域6沿板材1的寬度方向存在的區(qū)域(圖7所示的區(qū)域X)的整個(gè)范圍內(nèi)噴出,且此種噴出范圍例如是通過(guò)在板材1的寬度方向上設(shè)置多個(gè)噴嘴51(52)而確保。在此種情形中,當(dāng)板材1在噴嘴51(52)上方(或下方)穿過(guò)時(shí),在此實(shí)施例中配置成使所有噴嘴51(52)均噴出磨料。然而,作為此種配置的替代,例如為實(shí)現(xiàn)減少磨料使用量的目的,在圖7中,執(zhí)行控制以使第一至第三噴嘴在板材1的A區(qū)于噴嘴51(52)上方或下方穿過(guò)時(shí)噴出磨料,第一、第三、第四及第五噴嘴在板材1的B區(qū)于噴嘴51(52)上方或下方穿過(guò)時(shí)噴出磨料,第一、第二、第三及第五噴嘴在板材1的C區(qū)于噴嘴51(52)上方或下方穿過(guò)時(shí)噴出磨料,且其他噴嘴停止噴出磨料,從而將磨料噴出至切割區(qū)域6所存在的部分??刂茊卧陨鲜龇绞脚渲玫臉?gòu)件的操作由用于統(tǒng)一控制這些構(gòu)件的控制單元(圖未示出)控制??刂茊卧缬捎糜诖鎯?chǔ)預(yù)定程序等的微控制器構(gòu)成,且各構(gòu)件的操作是基于傳感器等所探測(cè)到的板材或各構(gòu)件的位置信息而被控制,從而實(shí)現(xiàn)下文中作為示例說(shuō)明的剪裁裝置10的操作。上面已按預(yù)定圖案形成有第一保護(hù)膜4及第二保護(hù)膜5的板材1沿預(yù)定方向被設(shè)定于剪裁裝置10的引入位置12a處,隨后,例如操作員通過(guò)按壓?jiǎn)?dòng)開(kāi)關(guān)或進(jìn)行類(lèi)似操作而輸入啟動(dòng)指令,或通過(guò)設(shè)置于引入位置12a處的傳感器探測(cè)到板材1的布置,從而控制單元將板材懸置夾具30及板材安裝夾具40恢復(fù)至使夾具30、40移動(dòng)至行進(jìn)路徑的起始位置的原始位置(板材懸置夾具30的位置12b及板材安裝夾具40的位置12d),并啟動(dòng)傳送裝置20以將設(shè)定于引入位置12a處的板材1移動(dòng)至工作空間12中的預(yù)定位置。當(dāng)板材1移動(dòng)至工作空間12中的預(yù)定位置(在圖2所示示例中為位置12b)時(shí),控制單元會(huì)使傳送構(gòu)件20停止,同時(shí)控制單元操作設(shè)置于板材懸置夾具30中的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32,以向下移動(dòng)抽吸固定板31直至抽吸固定板31貼靠板材1的前表面為止,并開(kāi)始吸住抽吸固定墊311的內(nèi)側(cè),以使抽吸固定板31能夠通過(guò)抽吸而固定板材1。在抽吸固定板31通過(guò)抽吸而固定板材1之后,控制單元操作板材懸置夾具30的上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32,以向上移動(dòng)抽吸固定板31。在抽吸固定板31完成向上移動(dòng)之后,控制單元使底座33b行進(jìn),從而開(kāi)始沿導(dǎo)軌33a移動(dòng)板材懸置夾具30,并將磨料連同壓縮氣體引入用于后表面處理的噴嘴51,從而將磨料噴出至被板材懸置夾具30懸置并且在用于后表面處理的噴嘴51上方穿過(guò)的板材1的后表面。通過(guò)磨料的噴出,板材1的切割區(qū)域6從板材1的后表面被切割至板材1的厚度的約一半的深度,且在此種狀態(tài)中,從板材1的后表面所進(jìn)行的處理完成。在穿過(guò)用于后表面處理的噴嘴51的上方之后,板材懸置夾具30進(jìn)一步朝圖2中的頁(yè)面右側(cè)移動(dòng)至位置12d,且當(dāng)板材懸置夾具30到達(dá)此位置時(shí),控制單元結(jié)束板材懸置夾具30的移動(dòng),并操作上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)32以向下移動(dòng)抽吸固定板31。位于抽吸固定板31被降低的位置處的板材的底面的高度被設(shè)定成等于位于起始位置(圖2中的位置12d)處的板材安裝夾具40的安裝表面的高度,且板材懸置夾具30的端點(diǎn)位置以高精確度與板材安裝夾具40的起始點(diǎn)位置對(duì)齊,以使板材1上的基板2的布局位置精確地符合設(shè)置于板材安裝夾具40中的用于基板的抽吸固定基座41的布置。因此,通過(guò)上述抽吸固定板31的向下移動(dòng),布局于板材1上的基板2以在平面視圖中與用于基板的抽吸固定基座41完全重疊的方式安裝于板材安裝夾具40的用于基板的抽吸固定基座41上。在設(shè)置于板材懸置夾具30中的抽吸固定板31如上所述完成向下移動(dòng)之后,控制單元使抽吸構(gòu)件(例如真空泵(圖未示出))通過(guò)設(shè)置于板材安裝夾具40的用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42中的通孔41b、42b而吸住凹槽41a、42a的內(nèi)側(cè),從而使板材1通過(guò)抽吸而被固定至板材安裝夾具40,且設(shè)置于板材懸置夾具30的抽吸固定板31上的抽吸固定墊311結(jié)束對(duì)板材1的抽吸固定。之后,控制單元使板材安裝夾具40在圖2的頁(yè)面中向右行進(jìn),并使用于前表面處理的噴嘴52從安裝于板材安裝夾具40上并在噴嘴52下方穿過(guò)的板材1的前表面?zhèn)葒姵瞿チ希敝涟宀?被穿透且切割區(qū)域6被完全移除為止,從而完成基板2的剪裁。當(dāng)所剪裁出的基板2及邊緣3中的每一者分別保持安裝并通過(guò)抽吸而固定于用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42上時(shí),板材安裝夾具40繼續(xù)行進(jìn)至移除位置12f并在該位置處停止,并停止用于基板的抽吸固定基座41及邊緣基座42對(duì)基板2及邊緣3的抽吸固定,并可收回剪裁之后的基板2及邊緣3。示例1以下將給出如下示例:其中使用玻璃板作為由硬而易碎的材料制成的基板,且用于保護(hù)液晶顯示屏幕的蓋玻璃被剪裁為基板。剪裁條件硬而易碎的板材所使用的玻璃板(母玻璃)具有400mm的寬度、500mm的長(zhǎng)度、及0.7mm的厚度,如圖1所示在上面布局基板并留出空白,且第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜分別形成于陰影部分中。此處,將要裁剪出的基板的尺寸為:長(zhǎng)度為160mm,寬度為80mm,且兩端的彎曲部分中的直徑為40mm。此外,切割區(qū)域的任一寬度(空間δ1、δ2,參見(jiàn)圖1中的放大視圖)均被設(shè)定為2mm,且板材的外圍部分中的暴露寬度W(參見(jiàn)圖1中的放大視圖)被設(shè)定為2mm。保護(hù)膜第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜兩者均通過(guò)以下方式形成:將用于絲網(wǎng)印刷且將聚氨酯丙烯酸酯(urethaneacrylate)作為樹(shù)脂含量的紫外線(UV)固化油墨絲網(wǎng)印刷在母玻璃的前表面上,隨后通過(guò)紫外線照射來(lái)固化所述油墨,從而形成具有90μm的膜厚度的第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜。噴出條件所使用的磨料為#320(具有60μm的平均粒徑)的磨粒(材料:氧化鋁),且磨料是以1.1kg/min的噴出速度、0.5MPa的噴出壓力、80mm的噴出距離、以及90°的噴出角度而被噴出至板材的前表面(垂直于前表面)。磨料的噴出是從設(shè)置于上述剪裁裝置10中的板材懸置夾具30所懸置的板材的底面?zhèn)冗M(jìn)行,直至切割區(qū)域的厚度達(dá)到板材厚度的約一半為止,隨后,從安裝于上述板材安裝夾具40上的板材的前表面?zhèn)冗M(jìn)行磨料的噴出,直至板材在切割區(qū)域中穿透為止,以完全將各基板彼此切開(kāi)并將基板與邊緣切開(kāi)。剪裁結(jié)果在上述條件下剪裁基板時(shí),可在剪裁基板2的步驟中可靠地切開(kāi)基板2與邊緣3而不破壞板材1。此處,在參照?qǐng)D8所述的方法中,在對(duì)板材的一個(gè)表面噴出磨料的步驟中,板材1的邊緣3中產(chǎn)生裂紋,因此無(wú)法剪裁出基板2。然而,當(dāng)使用示例1中所述的方法剪裁基板時(shí),板材1的邊緣3中以及基板2的布局部分中均不會(huì)產(chǎn)生裂紋,因此可剪裁出基板2。因此,據(jù)觀察可知,通過(guò)在一組基板2的外周邊上以及基板2的布局部分上形成用于遮蔽邊緣(邊界)3的掩膜(第二保護(hù)膜5)以作為板材1的掩膜,在從母玻璃剪裁出基板2時(shí)能夠極有效地防止板材1破裂,且據(jù)觀察可知,第二保護(hù)膜5的形成使得可應(yīng)用至今尚未使用的噴射法從硬而易碎的材料制成的板材1剪裁出基板2。示例2接下來(lái),將結(jié)合比較例給出其中使用基本上為球形的磨料從由硬而易碎的材料制成的玻璃板剪裁用于保護(hù)液晶顯示屏幕的蓋玻璃作為基板2的示例。硬而易碎的板材所使用的玻璃板(母玻璃)具有1.1mm的厚度,如圖1所示在上面布局基板并留出空白,且第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜分別形成于陰影部分中。此外,切割區(qū)域的每一寬度(空間δ1、δ2,參見(jiàn)圖1中的放大視圖)均被設(shè)定成1mm,且板材的外圍部分中的暴露寬度W(參見(jiàn)圖1中的放大視圖)被設(shè)定為2mm。保護(hù)膜第一保護(hù)膜及第二保護(hù)膜兩者均通過(guò)以下方式形成:將用于絲網(wǎng)印刷且將聚氨酯丙烯酸酯作為樹(shù)脂含量的紫外線(UV)固化油墨絲網(wǎng)印刷在母玻璃的前表面上,隨后通過(guò)紫外線照射來(lái)固化所述油墨。處理?xiàng)l件表1中給出示例的處理?xiàng)l件、所用磨料的細(xì)節(jié)、以及對(duì)處理后的工件的評(píng)價(jià)結(jié)果。表1示例此外,表2中給出比較例的處理?xiàng)l件、所用磨料的細(xì)節(jié)、以及對(duì)處理后工件的評(píng)價(jià)結(jié)果。表2比較例測(cè)試結(jié)果及驗(yàn)證在各示例及比較例2中可剪裁出基板2,然而在比較例1中無(wú)法剪裁出基板2。由于比較例1中所用的磨料的硬度(HV300~HV500)低于各示例中的磨料硬度,因此即使比較例1中的磨料的比重(真比重)與各示例中的比重基本上相同,也無(wú)法對(duì)玻璃進(jìn)行剪裁。此外,據(jù)觀察可知,各示例中的磨料消耗量小于比較例2中的磨料消耗量。此外,據(jù)觀察可知,各示例中的剪裁玻璃的速度快于比較例2中的速度(即,各示例中剪裁基板2所需的時(shí)間短于比較例2中所需的時(shí)間)。示例1中剪裁玻璃的速度為比較例2中的速度的約三(3)倍,此外,示例2中剪裁玻璃的速度為比較例2中的速度的約1.5倍。此外,據(jù)觀察可知,由于各示例中的磨料基本上為球形,因此磨料不會(huì)扎入保護(hù)膜中或會(huì)輕微地扎入保護(hù)膜中,因此能夠減少保護(hù)膜的耗損,且與使用多邊形磨料的比較例2相比可減小保護(hù)膜的厚度。所得的薄的保護(hù)膜能夠提高處理精確度(剪裁尺寸的精確度)并進(jìn)一步降低成本。此處考慮示例,已顯示出各示例中的基本上為球形的磨料具有高的硬度,因此在碰撞時(shí)發(fā)生很小的變形且碰撞能量難以耗散,而且,磨料具有高的比重,因此高的碰撞能量可集中于點(diǎn)(窄的范圍)上,因此示例中的磨料適于剪裁(研磨)硬而易碎的材料(例如玻璃)。進(jìn)一步而言,從剪裁速度及處理精確度的角度上進(jìn)行驗(yàn)證,盡管通常粒徑越大會(huì)導(dǎo)致碰撞能量更高且因此使剪裁速度更快,然而會(huì)相應(yīng)地使碎裂變大并使處理精確度(剪裁尺寸的精確度)變低,另一方面,當(dāng)粒徑對(duì)于保持處理精確度而言過(guò)小時(shí),能量會(huì)減小且因此不會(huì)對(duì)工件及保護(hù)膜造成不必要的損傷,然而剪裁速度會(huì)變慢。為提高剪裁速度并同時(shí)保持處理精確度,示例中的具有高比重、高硬度及小粒徑的磨料是適用的。在此種情形中,由FeCrB制成的磨料尤其適用。因此,隨附的最寬泛的權(quán)利要求書(shū)并非針對(duì)以特定方式配置的機(jī)器。相反,所述最寬泛的權(quán)利要求書(shū)旨在保護(hù)此突破性發(fā)明的核心或本質(zhì)。本發(fā)明完全是新的及有用的。此外,相對(duì)于作為整體考慮的現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在作出本發(fā)明的時(shí)候并不是顯而易見(jiàn)的。此外,鑒于本發(fā)明的革命性,毫無(wú)疑問(wèn),這是一項(xiàng)開(kāi)創(chuàng)性的發(fā)明。因此,從法律角度來(lái)講,隨附權(quán)利要求書(shū)有權(quán)要求非常寬泛的解釋以保護(hù)本發(fā)明的核心。因此可看出,上述目的以及根據(jù)上述說(shuō)明顯而易見(jiàn)的目的能夠高效地實(shí)現(xiàn),且由于可在不背離本發(fā)明范圍的條件下對(duì)上述構(gòu)造作出某些改變,因此旨在將上述說(shuō)明中所包含的或附圖中所示的所有主題視為例示性的而非具有限制意義。還應(yīng)理解,隨附權(quán)利要求書(shū)旨在涵蓋本文所述的本發(fā)明的所有一般特征及特定特征,且在語(yǔ)言上講,對(duì)本發(fā)明范圍的所有敘述均可被視為落于權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)?,F(xiàn)在已闡述了本發(fā)明。