專利名稱：鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于多晶硅生產(chǎn)線的設(shè)備，特別是一種新型的鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
三氯氫硅合成生產(chǎn)過程中，管線堵塞是常見的問題，也是造成生成裝置不能長周期穩(wěn)定運行的重要原因。為解決這一問題，必須對現(xiàn)有三氯氫硅合成生產(chǎn)工藝進行優(yōu)化。三氯氫硅合成工序中，鼓泡塔釜是對四氯化硅進行除雜處理，進行除雜處理后，鼓泡塔釜的出口管線部分容易出現(xiàn)堵塞，而且頻率較高?，F(xiàn)有的四氯化硅沖洗管線為鼓泡塔釜錐底反沖管線，在鼓泡塔釜出口管線堵塞時并不能對堵塞管線進行沖洗，因此會造成整套設(shè)備檢修頻率和生產(chǎn)成本的增加，且對整套生產(chǎn)系統(tǒng)長的周期穩(wěn)定運行不利，所以有必要對該反沖管線進行優(yōu)化設(shè)計。

實用新型內(nèi)容本實用新型為解決上述技術(shù)問題提供了一種新型的鼓泡塔釜出口四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，可以優(yōu)化三氯氫硅合成生產(chǎn)工藝，避免由于管道堵塞不能及時疏通而造成的生產(chǎn)成本增加，且有效降低設(shè)備檢修成本。本實用新型的技術(shù)方案如下鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，包括與鼓泡塔釜底部相連的用于釜液排放的釜液排放管線，釜液排放管線的側(cè)面連接有用于對鼓泡塔釜錐部進行反沖洗的四氯化硅沖洗管線，四氯化硅沖洗管線至少包括兩個調(diào)節(jié)閥，釜液排放管線上位于四氯化硅沖洗管線下端設(shè)置有用于對鼓泡塔釜液位進行自動控制的調(diào)節(jié)閥組，調(diào)節(jié)閥組與鼓泡塔釜液位聯(lián)鎖，其特征在于在四氯化硅沖洗管線和釜液排放管線之間還設(shè)置有用于對釜液排放管線及閥組部分進行沖洗的釜液排放管沖洗管線，釜液排放管沖洗管線的一端連接于四氯化硅沖洗管線的兩個調(diào)節(jié)閥之間，釜液排放管沖洗管線的另一端連接于調(diào)節(jié)閥組的最上端的調(diào)節(jié)閥下面，即釜液排放管沖洗管線對這個調(diào)節(jié)閥下端的調(diào)節(jié)閥組進行沖洗；所述釜液排放管沖洗管線上設(shè)置有一個調(diào)節(jié)閥。本實用新型的原理是利用干凈的高壓四氯化硅對易堵塞的釜液排放管線進行定期的沖洗，使得釜液中的硅粉及金屬氯化物不易附著于管壁上造成堵塞。本實用新型的有益效果如下本實用新型通過新增管線和閥門，優(yōu)化了三氯氫硅合成工藝路線，減少了管線堵塞的頻率，使得管線的疏通更為快速方便；且在管線堵塞時，能通過新增的沖洗管線快速疏通管線，利用干凈的高壓四氯化硅對堵塞管線進行沖洗，將管壁上附著物沖洗掉，從而實現(xiàn)了縮短管線清堵時間，且能有效延長系統(tǒng)運行周期，降低生產(chǎn)成本。

[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖其中，附圖標記為1鼓泡塔釜，2四氯化硅沖洗管線，3釜液排放管沖洗管線，4調(diào)節(jié)閥組，5釜液排放管線。
具體實施方式
現(xiàn)有沖洗管線不能對調(diào)節(jié)閥組部分管線進行沖洗。為了實現(xiàn)對閥組部分管線的沖洗，現(xiàn)在從沖洗管線上接分支管線到調(diào)節(jié)閥與調(diào)節(jié)閥前手閥間的管線上，如圖1所示。鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，包括與鼓泡塔釜1底部相連的用于釜液排放的釜液排放管線5，釜液排放管線5的側(cè)面連接有用于對鼓泡塔釜1錐部進行反沖洗的四氯化硅沖洗管線2，四氯化硅沖洗管線2至少包括兩個調(diào)節(jié)閥，釜液排放管線5上位于四氯化硅沖洗管線2下端設(shè)置有用于對鼓泡塔釜1液位進行自動控制的調(diào)節(jié)閥組4，調(diào)節(jié)閥組4與鼓泡塔釜1液位聯(lián)鎖，在四氯化硅沖洗管線2和釜液排放管線5之間還設(shè)置有用于對釜液排放管線5及調(diào)節(jié)閥組4部分進行沖洗的釜液排放管沖洗管線3。釜液排放管沖洗管線3的一端連接于四氯化硅沖洗管線2的兩個調(diào)節(jié)閥之間；同時釜液排放管沖洗管線3的另一端連接于調(diào)節(jié)閥組4的最上端的調(diào)節(jié)閥下面，即釜液排放管沖洗管線對這個調(diào)節(jié)閥下端的調(diào)節(jié)閥組進行沖洗；所述釜液排放管沖洗管線3上設(shè)置有一個調(diào)節(jié)閥。利用干凈的高壓四氯化硅對易堵塞的釜液排放管線進行定期的沖洗，使得釜液中的硅粉及金屬氯化物不易附著于管壁上造成堵塞。
權(quán)利要求1.鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，包括與鼓泡塔釜(1)底部相連的用于釜液排放的釜液排放管線(5)，釜液排放管線(5)的側(cè)面連接有用于對鼓泡塔釜(1)錐部進行反沖洗的四氯化硅沖洗管線(2)，四氯化硅沖洗管線(2)至少包括兩個調(diào)節(jié)閥，釜液排放管線 (5)上位于四氯化硅沖洗管線(2)下端設(shè)置有用于對鼓泡塔釜(1)液位進行自動控制的調(diào)節(jié)閥組(4)，調(diào)節(jié)閥組(4)與鼓泡塔釜(1)液位聯(lián)鎖，其特征在于在四氯化硅沖洗管線(2) 和釜液排放管線(5)之間還設(shè)置有用于對釜液排放管線(5)及調(diào)節(jié)閥組(4)部分進行沖洗的釜液排放管沖洗管線(3)，釜液排放管沖洗管線(3)的一端連接于四氯化硅沖洗管線(2) 的兩個調(diào)節(jié)閥之間，釜液排放管沖洗管線(3)的另一端連接于調(diào)節(jié)閥組(4)的最上端的調(diào)節(jié)閥下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，其特征在于所述釜液排放管沖洗管線(3)上設(shè)置有一個調(diào)節(jié)閥。
專利摘要本實用新型屬于多晶硅生產(chǎn)線的設(shè)備，特別是鼓泡塔釜出口的四氯化硅沖洗管線結(jié)構(gòu)，包括與鼓泡塔釜底部相連的釜液排放管線，用于釜液的排放；與釜液排放管線側(cè)面相連的四氯化硅沖洗管線，用于對鼓泡塔釜錐部進行反沖洗；釜液排放管線上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥組，調(diào)節(jié)閥與鼓泡塔釜液位聯(lián)鎖，用于對鼓泡塔釜液位進行自動控制；在四氯化硅沖洗管線和釜液排放管線之間設(shè)置有釜液排放管沖洗管線，用于對釜液排放管線及閥組部分的沖洗；本實用新型通過新增管線和閥門，優(yōu)化了三氯氫硅合成工藝路線，減少了管線堵塞頻率，使得管線疏通更為快速方便；在管線堵塞時，能通過新增沖洗管線快速疏通管線，從而縮短了管線清堵時間，能有效延長系統(tǒng)運行周期，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C01B33/107GK202246103SQ20112038883
公開日2012年5月30日 申請日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
發(fā)明者劉科, 夏志科, 徐軍, 陳子龍, 陳少華 申請人:天威四川硅業(yè)有限責任公司