專利名稱：一種高純度三氯氧磷鼓泡瓶的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種使用劇毒危險品高純度三氯氧磷時所用的鼓泡裝置。
背景技術：
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產制造光纖預制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運用于光伏、IC產業(yè)。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前在高純度三氯氧磷使用時主要是直接使用石英源瓶通入高純氮氣，利用高純氮氣作為載氣將三氯氧磷帶出，其缺點是不安全、不可靠、容易泄漏而污染環(huán)境、經常爆瓶造成財產損失和人員傷亡。
發(fā)明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、抗壓性好、不易破碎、無滿瓶風險、使用時出料連續(xù)穩(wěn)定的高純度三氯氧磷鼓泡瓶。本實用新型的目的是這樣實現的瓶體用特氟龍材質制成，瓶體頂部排列有插入瓶體底部的氮氣入口管和鼓泡出口管。瓶體頂部有插入瓶體底部的溫度測量管。瓶體頂部有液位觀察口。由于本實用新型采用上述結構，該裝置結構簡單，使用安全可靠，無泄漏、鼓泡均勻，三氯氧磷的消耗量與加入量平衡，不需更換鼓泡瓶，可保證連續(xù)穩(wěn)定的物料供給。瓶體采用高純特氟龍材料制作，完全避免金屬雜質對物料的污染，保證物料的純度，徹底杜絕了爆瓶的危險。
圖1為本實用新型實施例1的結構圖。圖2為本實用新型實施例2的結構圖。圖3為本實用新型實施例3的結構圖。圖4為本實用新型實施例4的結構圖。圖中1瓶體、2氮氣入口管、3鼓泡出口管、4溫度測量管、5液位觀察口。
具體實施方式
實施例1 瓶體1用特氟龍材質制成，瓶體1頂部排列有插入瓶體1底部的氮氣入口管2和鼓泡出口管3。使用時在高純三氯氧磷鼓泡裝置內按磷擴散工藝需求裝入一定量的高純三氯氧磷，通過冷卻裝置將物料調節(jié)到20°C，開啟現場的高純氮氣，氮氣從氮氣入口管2進入瓶體1，帶起物料從鼓泡出口管3進入擴散系統(tǒng)，控制進料量在0. 01-50ml/min, 可連續(xù)供料保證穩(wěn)定運行。[0014]實施例2 瓶體1用特氟龍材質制成，瓶體1頂部排列有插入瓶體1底部的氮氣入口管2、插入瓶體1底部的溫度測量管4和鼓泡出口管3。使用時在高純三氯氧磷鼓泡裝置內按磷擴散工藝需求裝入一定量的高純三氯氧磷，通過冷卻裝置將物料調節(jié)到20°C，開啟現場的高純氮氣，氮氣從氮氣入口管2進入瓶體1，帶起物料從鼓泡出口管3進入擴散系統(tǒng)， 控制進料量在0. 01--50ml/min，可連續(xù)供料保證穩(wěn)定運行。插入瓶體1底部的溫度測量管 4用來觀察瓶體1內的內溫度。實施例3 瓶體1用特氟龍材質制成，瓶體1頂部排列有插入瓶體1底部的氮氣入口管2、液位觀察口 5和鼓泡出口管3。使用時在高純三氯氧磷鼓泡裝置內按磷擴散工藝需求裝入一定量的高純三氯氧磷，通過冷卻裝置將物料調節(jié)到20°C，開啟現場的高純氮氣， 氮氣從氮氣入口管2進入瓶體1，帶起物料從鼓泡出口管3進入擴散系統(tǒng)，控制進料量在 0.01--50ml/min，可連續(xù)供料保證穩(wěn)定運行。液位檢測口 5用來觀察瓶內物料的位置。實施例4 瓶體1用特氟龍材質制成，瓶體1頂部排列有插入瓶體1底部的氮氣入口管2、液位檢測口 5、插入瓶體1底部的溫度測量管4和鼓泡出口管3。使用時在高純三氯氧磷鼓泡裝置內按磷擴散工藝需求裝入一定量的高純三氯氧磷，通過冷卻裝置將物料調節(jié)到20°C，開啟現場的高純氮氣，氮氣從氮氣入口管2進入瓶體1，帶起物料從鼓泡出口管 3進入擴散系統(tǒng)，控制進料量在0. 01--50ml/min，可連續(xù)供料保證穩(wěn)定運行。溫度測量口 4 和液位檢測口 5，可觀察瓶內的溫度和物料的位置。
權利要求1.一種高純度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶體用特氟龍材質制成，瓶體頂部排列有插入瓶體底部的氮氣入口管和鼓泡出口管。
2.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶體頂部有插入瓶體底部的溫度測量管。
3.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷鼓泡瓶，其特征是瓶體頂部有液位觀察口。
專利摘要一種高純度三氯氧磷鼓泡瓶，瓶體用特氟龍材質制成，瓶體頂部排列有插入瓶體底部的氮氣入口管和鼓泡出口管。由于本實用新型采用上述結構，該裝置結構簡單，使用安全可靠，無泄漏、鼓泡均勻，三氯氧磷的消耗量與加入量平衡，不需更換鼓泡瓶，可保證連續(xù)穩(wěn)定的物料供給。瓶體采用高純特氟龍材料制作，完全避免金屬雜質對物料的污染，保證物料的純度，徹底杜絕了爆瓶的危險。
文檔編號C01B25/10GK202080893SQ201120118479
公開日2011年12月21日 申請日期2011年4月15日 優(yōu)先權日2011年4月15日
發(fā)明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請人:向東