專利名稱：具有硅棒預熱器的磷檢爐的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種具有硅棒預熱器的磷檢爐。
背景技術(shù)：
多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量情況是通過區(qū)熔拉制成單晶(通稱“磷檢”)后，用國標規(guī)定的方 法測得電阻率，壽命和導電型號，多晶硅產(chǎn)品的純度在8N ION之間。在這過程中，任何的 雜質(zhì)都會影響檢測的準確性，誤導多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。目前在區(qū)熔拉制單晶硅過程中，通用 的預熱方法是采用鉬絲纏繞檢驗棒，高頻加熱鉬絲，通過傳熱預熱檢驗棒。由于在這個過程 中，鉬絲溫度很高，達70(TC 1600°C，金屬雜質(zhì)蒸發(fā)，易對檢驗棒形成表面沾污，熔在檢驗 棒中，影響檢驗棒本身的質(zhì)量，導致檢測不準確。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠提高檢測結(jié)果的準確、為避免在 加熱時鉬絲直接接觸檢驗棒而形成的沾污，改傳熱為輻射加熱的具有硅棒預熱器的磷檢 爐。本實用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是具有硅棒預熱器的磷檢爐，包括 爐體、轉(zhuǎn)軸、夾具，轉(zhuǎn)軸一端固定于爐體頂部，另一端位于爐體內(nèi)并與夾具一端固定連接，夾 具另一端為用于固定多晶硅檢驗棒的夾持部，其特征在于，所述多晶硅檢驗棒下方設有高 頻線圈，多晶硅檢驗棒側(cè)面臨近多晶硅檢驗棒處設有硅棒預熱器。所述硅棒預熱器包括呈圓弧狀的發(fā)熱體、套管、連接棒，所述套管形狀與發(fā)熱體相 匹配且發(fā)熱體設置于套管內(nèi)，連接棒的一端與套管固定連接。具體地，所述發(fā)熱體為石墨發(fā)熱體。所述套管為石英套管。所述連接棒為石英連接棒。所述發(fā)熱體的弧度為π /3 π。所述發(fā)熱體的截面呈矩形且該矩形的尺寸為4X4 20X 20mm，套管的外徑為8 25mm。所述連接棒的直徑為5 15mm。所述發(fā)熱體形成的圓弧所在的圓的內(nèi)徑為30 50mm。所述爐體上設有操縱桿，操縱桿一端穿過爐體并位于爐體內(nèi)多晶硅檢驗棒側(cè)面， 所述硅棒預熱器通過夾具裝置固定于操縱桿上，且硅棒預熱器的圓弧狀的發(fā)熱體的凹面朝 向多晶硅檢驗棒。綜上所述，本實用新型的有益效果是1、本實用新型以輻射傳熱的形式加熱多晶硅檢驗棒，用以替換現(xiàn)有技術(shù)中采用鉬 絲纏繞檢驗棒直接加熱，避免了多晶硅在加熱過程中，鉬絲中金屬雜質(zhì)揮發(fā)，沾污多晶硅檢 驗棒，保證檢測的準確性。[0016]2、為解決石墨本身的揮發(fā)可能對檢驗棒的影響，本預熱器采用耐高溫的高純石英 玻璃封套真空密封石墨發(fā)熱體，使石墨中的雜質(zhì)不能逸出密封套，沾污多晶硅。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型的硅棒預熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖1中本實用新型的硅棒預熱器的A-A向視圖；圖4是發(fā)熱體的立體結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中標記及相應的零部件名稱1-磷檢爐，2-多晶硅檢驗棒，3-高頻線圈，4-硅 棒預熱器，5-發(fā)熱體，6-套管，7-連接棒，8-夾具裝置，9-操縱桿，10-轉(zhuǎn)軸，11-夾具，12-下 轉(zhuǎn)軸。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例及附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實 施方式不限于此。參見圖1至圖3所示，本實用新型的具有硅棒預熱器的磷檢爐，包括爐體1、轉(zhuǎn)軸 10、夾具11，轉(zhuǎn)軸10 —端固定于爐體1頂部，另一端位于爐體1內(nèi)并與夾具11 一端固定連 接，夾具11另一端為用于固定多晶硅檢驗棒2的夾持部，多晶硅檢驗棒2的一端通過夾持 部固定，所述多晶硅檢驗棒2下方設有高頻線圈3，多晶硅檢驗棒2側(cè)面附近設有硅棒預熱 器4，硅棒預熱器4包括呈圓弧狀的石墨發(fā)熱體5、石英套管6、石英連接棒7，其中，石墨發(fā) 熱體5的弧度為π/3 π，石墨發(fā)熱體5形成的圓弧所在的圓的內(nèi)徑為30 50mm，且石 墨發(fā)熱體5的截面尺寸為4X4 20X 20mm，套管6的外徑為8 25mm，以石墨發(fā)熱體便于 裝配設置于石英套管內(nèi)為宜，石英連接棒的直徑為5 15mm，所述石英套管6形狀與石墨發(fā) 熱體5相匹配且石墨發(fā)熱體5設置于石英套管6內(nèi)，石英連接棒7的一端與套管6固定連 接。本實用新型的硅棒預熱器4的石英連接棒7通過夾具8安裝在磷檢爐1的操縱桿 9上，加熱時硅棒預熱器可以平移到多晶硅檢驗棒2的旁邊，高頻線圈3的上方，本實施例 中，磷檢爐其他各部件及其連接關系可參照現(xiàn)有磷檢爐結(jié)構(gòu)設置，或者做相應的適應性調(diào) 整。工作時，磷檢爐1的硅棒預熱器4位置在多晶硅檢驗棒2的旁邊，距離2 50mm ；位于 高頻線圈3的上方，距離5 50mm。加熱石墨發(fā)熱體5溫度達600 1600°C，以輻射傳熱 的形式加熱多晶硅檢驗棒2，當多晶硅檢驗棒2溫度達到200 1000°C時，移開硅棒預熱器 4，開始拉制單晶硅。這樣不僅省去繚繞的鉬絲，而且減少鉬絲高溫蒸發(fā)雜質(zhì)，對多晶硅檢驗 棒2的沾污，使檢測更準確。如上所述，便可較好的實現(xiàn)本實用新型。
權(quán)利要求具有硅棒預熱器的磷檢爐，包括爐體(1)、轉(zhuǎn)軸(10)、夾具(11)，轉(zhuǎn)軸(10)一端固定于爐體(1)頂部，另一端位于爐體(1)內(nèi)并與夾具(11)一端固定連接，夾具(11)另一端為用于固定多晶硅檢驗棒(2)的夾持部，其特征在于，所述多晶硅檢驗棒(2)下方設有高頻線圈(3)，多晶硅檢驗棒(2)側(cè)面臨近多晶硅檢驗棒(2)處設有硅棒預熱器(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述硅棒預熱器(4) 包括呈圓弧狀的發(fā)熱體(5)、套管(6)、連接棒(7)，所述套管(6)形狀與發(fā)熱體(5)相匹配 且發(fā)熱體(5)設置于套管(6)內(nèi)，連接棒(7)的一端與套管(6)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述發(fā)熱體(5)為石 墨發(fā)熱體。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述套管(6)為石英套管。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述連接棒(7)為石英連接棒。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述發(fā)熱體(5)的弧 度為JI /3 31。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述發(fā)熱體(5)的截 面為矩形且該矩形尺寸為4X4 20X 20mm，套管(6)的外徑為8 25mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述連接棒(7)的直 徑為5 15mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述發(fā)熱體(5)形成 的圓弧所在的圓的內(nèi)徑為30 50mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有硅棒預熱器的磷檢爐，其特征在于，所述爐體(1)上設 有操縱桿(9)，操縱桿(9) 一端穿過爐體(1)并位于爐體(1)內(nèi)多晶硅檢驗棒(2)側(cè)面，所 述硅棒預熱器(4)通過夾具裝置(8)固定于操縱桿(9)上，且硅棒預熱器(4)的圓弧狀的 發(fā)熱體(5)的凹面朝向多晶硅檢驗棒(2)。
專利摘要本實用新型公開了一種具有硅棒預熱器的磷檢爐。該具有硅棒預熱器的磷檢爐，包括爐體(1)、轉(zhuǎn)軸(10)、夾具(11)，轉(zhuǎn)軸(10)一端固定于爐體(1)頂部，另一端位于爐體(1)內(nèi)并與夾具(11)一端固定連接，夾具(11)另一端為用于固定多晶硅檢驗棒(2)的夾持部，所述多晶硅檢驗棒(2)下方設有高頻線圈(3)，多晶硅檢驗棒(2)側(cè)面臨近多晶硅檢驗棒(2)處設有硅棒預熱器(4)。本實用新型以輻射傳熱的形式加熱多晶硅檢驗棒，用以替換現(xiàn)有技術(shù)中采用鉬絲纏繞檢驗棒直接加熱，避免了多晶硅在加熱過程中，金屬雜質(zhì)揮發(fā)，沾污多晶硅檢驗棒，保證檢測的準確性。
文檔編號C01B33/021GK201682644SQ201020178370
公開日2010年12月22日 申請日期2010年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月4日
發(fā)明者施宇, 白銳, 錢承榮, 陸俊宏 申請人:雅安永旺硅業(yè)有限公司