研磨裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種研磨裝置，其包含承載盤、至少一個被研磨物、砂輪盤及多個研磨齒。至少一個被研磨物連接承載盤。砂輪盤相對承載盤位移且具有中心。多個研磨齒連接砂輪盤且接觸研磨被研磨物。各研磨齒包含近端與遠(yuǎn)端，近端具有近端寬度，而遠(yuǎn)端具有遠(yuǎn)端寬度。近端與砂輪盤的中心相隔一近端距離，遠(yuǎn)端與砂輪盤的中心相隔一遠(yuǎn)端距離。近端距離小于遠(yuǎn)端距離，且近端寬度大于遠(yuǎn)端寬度。借此，本實(shí)用新型的研磨裝置，利用研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀來補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，不但能降低研磨比值，還可有效縮小研磨后晶圓的總厚度變異。
【專利說明】
研磨裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種研磨裝置，特別是涉及改善研磨齒形狀以降低研磨比值的研磨裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶圓制造加工業(yè)或精密磨削工業(yè)當(dāng)中，研磨加工是相當(dāng)重要的步驟之一，而在研磨加工程序中所使用的砂輪座的研磨平衡還關(guān)系著加工物件研磨的精確度。
[0003]—般常用的砂輪座在使用上是結(jié)合研磨齒以組成砂輪組，并將此砂輪組通過砂輪轉(zhuǎn)軸連接砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)以進(jìn)行研磨操作，其研磨齒對應(yīng)于砂輪座的中心且設(shè)置成放射狀。然而，由于此種研磨齒的位移方向與研磨齒的研磨側(cè)面的延伸方向相互垂直，被研磨物的碎肩容易累積在研磨齒相對于位移方向的研磨側(cè)邊而堆積，進(jìn)而造成排肩不順，因此其研磨的品質(zhì)普遍不高。此外，被研磨的碎肩容易因積存于研磨齒側(cè)面而導(dǎo)致積熱的現(xiàn)象發(fā)生，會大幅降低研磨能力與使用壽命的缺失。
[0004]另一種常用的砂輪座在使用上也結(jié)合研磨齒以組成砂輪組，并將砂輪組通過砂輪轉(zhuǎn)軸連接砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)以進(jìn)行研磨操作，其研磨齒具有特定的研磨角度。此種結(jié)構(gòu)雖然利于碎肩的排除，但往往因磨耗的不平衡而導(dǎo)致研磨齒的近端與遠(yuǎn)端磨耗量有所不同，不但會增加研磨比值而降低研磨的效能和品質(zhì)，而且會造成總厚度變異(Total ThicknessVariat1n，TTV)過大的現(xiàn)象而無法滿足制造者的需求。
[0005]由上述可知，目前市場上缺乏一種可平衡研磨齒的磨耗量、降低研磨比值且可縮小研磨后的總厚度變異的研磨裝置，故相關(guān)業(yè)者均在尋求其解決之道。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種研磨裝置，其利用研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀來補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，可有效降地低研磨比值且能縮小研磨后晶圓的總厚度變異，進(jìn)而降低破片率。再者，通過漩渦狀的研磨齒排列結(jié)合研磨齒本身內(nèi)寬外窄的形狀，能使研磨裝置在研磨的過程中順利地排肩。另外，本研磨裝置可以同時研磨多個被研磨物，可大幅提高產(chǎn)量。
[0007]本實(shí)用新型的一實(shí)施方式為一種研磨裝置，其包含承載盤、至少一個被研磨物、砂輪盤以及多個研磨齒。至少一個被研磨物連接承載盤。砂輪盤相對承載盤位移且具有中心。多個研磨齒連接砂輪盤，且多個研磨齒接觸研磨被研磨物。另外，研磨齒包含近端與遠(yuǎn)端，近端具有近端寬度，而遠(yuǎn)端具有遠(yuǎn)端寬度。近端與砂輪盤的中心相隔一近端距離，遠(yuǎn)端則與砂輪盤的中心相隔一遠(yuǎn)端距離。近端距離小于遠(yuǎn)端距離，且近端寬度大于遠(yuǎn)端寬度。
[0008]借此，本實(shí)用新型的研磨裝置通過研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀來補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，可有效降地低研磨比值且能大幅縮小研磨后晶圓的總厚度變異，進(jìn)而降低破片率。此外，通過放射狀結(jié)合漩渦狀的研磨齒排列，同時搭配研磨齒本身的特殊形狀，可使研磨裝置在研磨的過程中順利地排肩。
[0009]依據(jù)前述實(shí)施方式的其他實(shí)施例如下:前述各研磨齒可包含第一側(cè)邊與第二側(cè)邊，第一側(cè)邊對應(yīng)第二側(cè)邊。近端與遠(yuǎn)端呈平面狀或弧面狀，第一側(cè)邊與第二側(cè)邊也可呈平面狀或弧面狀。第一側(cè)邊的邊長小于等于第二側(cè)邊的邊長，且第一側(cè)邊的邊長大于近端寬度。再者，前述承載盤與砂輪盤可呈圓形，多個研磨齒呈漩渦狀排列，而被研磨物可呈圓形、橢圓形、四方形、三角形或其他多邊形。前述承載盤可朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，砂輪盤可朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)。承載盤的盤面與砂輪盤的盤面彼此平行。另外，前述研磨裝置可包含承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)與砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其中承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)轉(zhuǎn)動承載盤，且承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)可控制承載盤以承載轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。至于砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)則可轉(zhuǎn)動砂輪盤，且砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)可控制砂輪盤以砂輪轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。此外，前述各研磨齒與對應(yīng)的虛擬放射線相交一研磨角度，此虛擬放射線與砂輪盤的中心相交且與相對應(yīng)研磨齒相交，研磨角度大于O度且小于90度ο
[0010]本實(shí)用新型的另一實(shí)施方式為一種研磨裝置，其包含承載座、多個被研磨物、砂輪座以及多個研磨齒。其中承載座包含承載盤與承載轉(zhuǎn)軸，承載盤連接承載轉(zhuǎn)軸，且承載盤以承載轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。多個被研磨物定位于承載盤上。而砂輪座包含砂輪盤與砂輪轉(zhuǎn)軸，砂輪盤連接砂輪轉(zhuǎn)軸，且砂輪盤以砂輪轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。此外，多個研磨齒定位于砂輪盤上，且各研磨齒接觸研磨被研磨物。各研磨齒包含近端與遠(yuǎn)端，近端具有近端寬度，遠(yuǎn)端具有遠(yuǎn)端寬度。近端與砂輪盤的中心相隔一近端距離，而遠(yuǎn)端與砂輪盤的中心相隔一遠(yuǎn)端距離。近端距離小于遠(yuǎn)端距離，且近端寬度大于遠(yuǎn)端寬度。
[0011]借此，本實(shí)用新型的研磨裝置可以同時研磨多個被研磨物，不但能大幅提高產(chǎn)量，還能增加經(jīng)濟(jì)效應(yīng)并降低生產(chǎn)成本。另外，通過研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀可補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，可大幅降地低研磨比值且能有效縮小研磨后被研磨物的總厚度變異，而且當(dāng)被研磨物為晶圓時，還可大幅降低破片率。
[0012]依據(jù)前述實(shí)施方式的其他實(shí)施例如下:前述各研磨齒可包含第一側(cè)邊與第二側(cè)邊，第一側(cè)邊對應(yīng)第二側(cè)邊。近端與遠(yuǎn)端呈平面狀或弧面狀，第一側(cè)邊與第二側(cè)邊也可呈平面狀或弧面狀。第一側(cè)邊的邊長小于等于第二側(cè)邊的邊長，且第一側(cè)邊的邊長大于近端寬度。再者，前述承載盤與砂輪盤可呈圓形，多個研磨齒呈漩渦狀排列，而各被研磨物可呈圓形、橢圓形、四方形、三角形或其他多邊形。前述承載盤可朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，砂輪盤可朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)。承載轉(zhuǎn)軸與砂輪轉(zhuǎn)軸彼此平行且承載盤的盤面與砂輪盤的盤面彼此平行，而且承載轉(zhuǎn)軸與承載盤的盤面相互垂直。另外，前述研磨裝置可包含承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)與砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其中承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)連接承載轉(zhuǎn)軸而轉(zhuǎn)動承載盤，且承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)可控制承載盤以承載轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。至于砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)則連接砂輪轉(zhuǎn)軸而轉(zhuǎn)動砂輪盤，且砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)可控制砂輪盤以砂輪轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。此外，前述各研磨齒與對應(yīng)的虛擬放射線相交一研磨角度，此虛擬放射線與砂輪盤的中心相交且與相對應(yīng)研磨齒相交，研磨角度大于O度且小于90度。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果:本實(shí)用新型的研磨裝置，利用研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀來補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，不但能降低研磨比值，還可有效縮小研磨后晶圓的總厚度變異。
【附圖說明】
[0014]圖1繪示本實(shí)用新型的一實(shí)施例的研磨裝置的立體示意圖。
[0015]圖2A繪示圖1的砂輪盤的俯視圖。
[0016]圖2B繪示圖2A的砂輪盤的剖視圖。
[0017]圖2C繪示圖2A的研磨齒的示意圖。
[0018]圖3繪示圖1的承載盤與砂輪盤交相研磨的俯視圖。
[0019]圖4繪示本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的砂輪盤與研磨齒的俯視圖。
[0020 ]圖5A至圖5C繪示本實(shí)用新型的其他各種實(shí)施例的研磨齒的示意圖。
[0021 ]圖6繪示本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的研磨裝置的立體示意圖。
[0022]圖7是繪示254毫米的砂輪盤徑的研磨比值對應(yīng)研磨齒齒形的數(shù)據(jù)圖。
[0023]圖8是繪示304毫米的砂輪盤徑的研磨比值對應(yīng)研磨齒齒形的數(shù)據(jù)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下將參照圖式說明本實(shí)用新型的多個實(shí)施例。為明確說明起見，許多實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)將在以下敘述中一并說明。然而，應(yīng)了解到，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)不應(yīng)用以限制本實(shí)用新型。也就是說，在本實(shí)用新型部分實(shí)施例中，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些現(xiàn)有慣用的結(jié)構(gòu)與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示;并且重復(fù)的元件將可能使用相同的編號表示。再者，本實(shí)用新型所述的研磨比值代表研磨齒500磨耗的平均厚度除以單位研磨量的百分比。
[0025]請一并參閱圖1至圖3，圖1繪示本實(shí)用新型的一實(shí)施例的研磨裝置100的立體示意圖。圖2A繪示圖1的砂輪盤410的俯視圖。圖2B繪示圖2A的砂輪盤410的剖視圖。圖2C繪示圖2A的研磨齒500的示意圖。圖3繪示圖1的承載盤210與砂輪盤410交相研磨的俯視圖。如圖所示，研磨裝置100包含承載座200、五個被研磨物300、砂輪座400以及多個研磨齒500、承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)610以及砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)620。
[0026]承載座200包含承載盤210與承載轉(zhuǎn)軸220，承載盤210連接承載轉(zhuǎn)軸220，且承載盤210以承載轉(zhuǎn)軸220為中心旋轉(zhuǎn)。承載盤210可以朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，而從圖3的俯視圖觀看，本實(shí)施例的承載盤210是朝順時針方向旋轉(zhuǎn)。此外，在研磨裝置100當(dāng)中，承載盤210的盤面相對于水平面具有傾斜角度，其呈現(xiàn)內(nèi)高外低的些微隆起狀，而本實(shí)施例利用此種形狀結(jié)構(gòu)以增加排肩的效果。另外，承載轉(zhuǎn)軸220的延伸方向與承載盤210的盤面相互垂直，且承載盤210呈圓形，而承載轉(zhuǎn)軸220呈圓柱形。當(dāng)圓形的承載盤210研磨轉(zhuǎn)動時，承載盤210的重心不會偏移，其具有相當(dāng)高的穩(wěn)定度。
[0027]每個被研磨物300均等距分離且定位于承載盤210上。本實(shí)施例的被研磨物300為晶圓且呈圓形。當(dāng)然，被研磨物300可為其他材質(zhì)，而其形狀可呈圓形、橢圓形、四方形、三角形或其他多邊形。再者，在已知的承載盤210與被研磨物300的大小條件下，使用者可通過被研磨物300的擺設(shè)位置來決定被研磨物300設(shè)于承載盤210上的數(shù)量，并借由數(shù)量的增加來提高產(chǎn)量。至于被研磨物300固定于承載盤210上的連接方式則為現(xiàn)有技術(shù)，故不再贅述。此夕卜，每個被研磨物300具有厚度，而一般在辨別研磨技術(shù)的優(yōu)劣是利用總厚度變異(TotalThickness Variat1n，TTV)的大小來決定，其代表著被研磨物300的最大厚度與最小厚度的差異。此總厚度變異的最小化是決定最終產(chǎn)品好壞的關(guān)鍵，而且此數(shù)值對于實(shí)現(xiàn)更薄的晶圓及元件有直接的關(guān)聯(lián)性。
[0028]砂輪座400包含砂輪盤410與砂輪轉(zhuǎn)軸420。砂輪盤410連接砂輪轉(zhuǎn)軸420且砂輪盤410呈圓形，砂輪轉(zhuǎn)軸420的延伸方向與砂輪盤410的盤面相互垂直。砂輪盤410以砂輪轉(zhuǎn)軸420為中心旋轉(zhuǎn)，砂輪盤410相對承載盤210位移。砂輪盤410具有中心430與虛擬放射線440。砂輪盤410的中心430與虛擬放射線440相交，而且虛擬放射線440與相對應(yīng)研磨齒500相交。此外，砂輪盤410可朝順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，而本實(shí)施例中，砂輪盤410朝順時針方向旋轉(zhuǎn)，承載盤210也朝順時針方向旋轉(zhuǎn)。換句話說，承載盤210與砂輪盤410就研磨面而言為反向作動。此外，承載轉(zhuǎn)軸220與砂輪轉(zhuǎn)軸420彼此平行，而且承載盤210的盤面與砂輪盤410的盤面彼此平行且具有一樣大小的俯視面積。本實(shí)施例的承載盤210的邊緣對齊砂輪盤410的中心430，而且承載盤210的中心剛好對齊砂輪盤410的邊緣。再者，砂輪盤410為中空的環(huán)狀結(jié)構(gòu)且具有中環(huán)斜面412，此結(jié)構(gòu)可降低砂輪盤410的重量，而且砂輪盤410可通過螺鎖與砂輪轉(zhuǎn)軸420穩(wěn)定地連接，其連接為現(xiàn)有技術(shù)，故不再贅述。
[0029]研磨齒500連接砂輪盤410，此研磨齒500可接觸研磨被研磨物300。本實(shí)施例的砂輪盤410上設(shè)有36個研磨齒500，這些研磨齒500等距分離且呈漩渦狀排列。另外，各研磨齒500包含近端510、遠(yuǎn)端520、第一側(cè)邊530以及第二側(cè)邊540，近端510具有近端寬度Tl，而遠(yuǎn)端520具有遠(yuǎn)端寬度T2。近端510與砂輪盤410的中心430相隔一近端距離Dl，而遠(yuǎn)端520則與砂輪盤410的中心430相隔一遠(yuǎn)端距離D2。近端距離Dl小于遠(yuǎn)端距離D2，也就是說，研磨齒500的遠(yuǎn)端520較靠近砂輪盤410的外緣。而近端寬度Tl大于遠(yuǎn)端寬度T2，也就是說，研磨齒500呈內(nèi)寬外窄的形狀。本實(shí)施例通過研磨齒500的內(nèi)寬外窄形狀，可使研磨裝置100在研磨過程中補(bǔ)償研磨齒500的近端510磨耗量較遠(yuǎn)端520大的差異，能有效地縮小研磨后晶圓的總厚度變異。仔細(xì)地說，就研磨齒500而言，當(dāng)研磨齒500研磨被研磨物300時，越靠近砂輪盤410的中心430的位置其研磨量越多，也就是磨耗量越大，其是因遠(yuǎn)端520較近端510所位移的距離長，遠(yuǎn)端520的冷卻效果較好而導(dǎo)致研磨量較少，而近端510較不易冷卻降溫而導(dǎo)致研磨量較多。換言之，若將研磨量較多的近端510的近端寬度Tl增加，使其研磨量與遠(yuǎn)端520的研磨量達(dá)成平衡且相同的狀況，在此條件下所研磨出來的被研磨物300的總厚度變異將會縮小，進(jìn)而改善研磨的品質(zhì)與被研磨物300的效能。
[0030]此外，各研磨齒500與對應(yīng)的虛擬放射線440相交一研磨角度Θ，此虛擬放射線440與砂輪盤410的中心430相交，而且此虛擬放射線440與相對應(yīng)的研磨齒500也相交。由于研磨角度Θ大于O度且小于90度，因此研磨裝置100可順利地排肩。此外，各研磨齒500的研磨面與承載盤210的盤面彼此平行，而且研磨齒500的研磨面與砂輪盤410的盤面及被研磨物300的表面平行，此結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步降低被研磨物300的總厚度變異。再者，近端510與遠(yuǎn)端520可呈平面狀或弧面狀。第一側(cè)邊530對應(yīng)第二側(cè)邊540，且第一側(cè)邊530與第二側(cè)邊540也可呈平面狀或弧面狀。第一側(cè)邊530的邊長小于等于第二側(cè)邊540的邊長，且第一側(cè)邊530的邊長大于近端寬度Tl。無論近端510、遠(yuǎn)端520、第一側(cè)邊530或第二側(cè)邊540的形狀為何，只要近端寬度Tl大于遠(yuǎn)端寬度T2，即可達(dá)成整個研磨齒500磨耗的平衡，進(jìn)而縮小研磨后的總厚度變異。
[0031]承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)610連接承載轉(zhuǎn)軸220，且承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)610控制承載盤210以承載轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)620則連接砂輪轉(zhuǎn)軸420，且砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)620控制砂輪盤410以砂輪轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。通過承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)610與砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)620可以準(zhǔn)確地控制研磨齒500與被研磨物300對磨的頻率。至于馬達(dá)的結(jié)構(gòu)與驅(qū)動方式為現(xiàn)有技術(shù)，故不再贅述。
[0032]請一并參閱圖2C、圖3，圖4繪示本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的砂輪盤410與研磨齒500a的俯視圖。圖5A至圖5C繪示本實(shí)用新型的其他各種實(shí)施例的研磨齒500a、500b、500c的示意圖。如圖所示，當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊530與第二側(cè)邊540均為平面狀時，如同研磨齒500、500c，其俯視圖呈錐狀；當(dāng)?shù)谝粋?cè)邊530與第二側(cè)邊540均為弧面狀時，如同研磨齒500a，其俯視圖則呈月牙狀。而在研磨的過程中，被研磨物300的碎肩容易堆積在研磨齒500、500a、500b、500c行進(jìn)方向所對應(yīng)的側(cè)邊上。舉圖3為例，砂輪盤410朝順時針方向行進(jìn)，被研磨物300的碎肩容易堆積在第二側(cè)邊540，為了改善此堆積現(xiàn)象，第二側(cè)邊540的延伸方向須與相對應(yīng)的虛擬放射線440相交一定大小的夾角。換句話說，只要第二側(cè)邊540的延伸方向與相對應(yīng)的虛擬放射線440不平行，則研磨裝置100在研磨的過程中就可以順利地排肩，將碎肩往砂輪盤410的外側(cè)或內(nèi)側(cè)排出。值得一提的是，本實(shí)用新型的研磨齒500、500a、500b、500c呈錐狀或月牙狀，其第一側(cè)邊530或第二側(cè)邊540相對于虛擬放射線440本身就有一夾角，此夾角搭配研磨角度Θ可產(chǎn)生更大的角度變化，因此其結(jié)構(gòu)更利于排肩，致使排肩更加地順暢。
[0033]請一并參閱圖1，圖6繪示本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的研磨裝置10a的立體示意圖。由圖6可知，承載座200的承載轉(zhuǎn)軸220的軸向平行于砂輪座400的砂輪轉(zhuǎn)軸420的軸向，且承載轉(zhuǎn)軸220與砂輪轉(zhuǎn)軸420均平行X軸方向。此外，承載盤210、砂輪盤410以及Z軸方向三者平行。無論是圖1的橫向研磨或者是圖6的縱向研磨，利用本實(shí)用新型的內(nèi)寬外窄形狀的研磨齒500、500a、500b、500c均可使研磨裝置100在橫向或縱向研磨的過程中補(bǔ)償研磨齒500的近端510磨耗量較遠(yuǎn)端520大的差異，進(jìn)而有效地縮小研磨后晶圓的總厚度變異。
[0034]圖7是繪示254毫米的砂輪盤410直徑的研磨比值對應(yīng)研磨齒500齒形的數(shù)據(jù)圖。圖8是繪示304毫米的砂輪盤410直徑的研磨比值對應(yīng)研磨齒500齒形的數(shù)據(jù)圖。圖7與圖8的被研磨物300為晶圓。圖7所測試的晶圓片數(shù)為3、4及5;圖8所測試的晶圓片數(shù)為5與7。本實(shí)用新型所述的研磨比值為研磨齒500磨耗的平均厚度除以單位研磨量的百分比，而由圖中可知，無論晶圓片數(shù)為何，本實(shí)用新型內(nèi)寬外窄的研磨齒500齒型所得到的研磨比值均小于傳統(tǒng)同寬度齒型的研磨比值。換句話說，本實(shí)用新型的研磨齒500磨耗的平均厚度小于傳統(tǒng)同寬度齒型的磨耗平均厚度，因此研磨齒500補(bǔ)償近端510磨耗量較遠(yuǎn)端520大的差異而平衡整個研磨表面的磨耗量，進(jìn)而降低總厚度變異與破片率。
[0035]由上述實(shí)施方式可知，本實(shí)用新型具有下列優(yōu)點(diǎn):其一，利用研磨齒內(nèi)寬外窄的特殊形狀來補(bǔ)償研磨齒的近端磨耗量較遠(yuǎn)端大的差異，可有效縮小研磨后晶圓的總厚度變異，進(jìn)而降低破片率。其二，通過放射狀結(jié)合漩渦狀的研磨齒排列，同時搭配研磨齒本身內(nèi)寬外窄的形狀，能使排肩更加地順暢。其三，本研磨裝置可以同時研磨多個被研磨物，可大幅提尚廣量。
[0036]雖然本實(shí)用新型已經(jīng)以實(shí)施方式公開如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種變動與潤飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置包含: 承載盤； 至少一個被研磨物，其連接所述承載盤； 砂輪盤，其相對所述承載盤位移且具有中心；以及 多個研磨齒，其連接所述砂輪盤，所述多個研磨齒接觸研磨所述被研磨物，各所述研磨齒包含近端與遠(yuǎn)端，所述近端具有近端寬度，所述遠(yuǎn)端具有遠(yuǎn)端寬度，所述近端與所述中心相隔一近端距離，所述遠(yuǎn)端與所述中心相隔一遠(yuǎn)端距離，所述近端距離小于所述遠(yuǎn)端距離，且所述近端寬度大于所述遠(yuǎn)端寬度。2.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，各所述研磨齒還包含第一側(cè)邊與第二側(cè)邊，所述第一側(cè)邊對應(yīng)所述第二側(cè)邊，所述近端與所述遠(yuǎn)端呈平面狀或弧面狀，所述第一側(cè)邊與所述第二側(cè)邊呈平面狀或弧面狀，所述第一側(cè)邊的邊長小于等于所述第二側(cè)邊的邊長，且所述第一側(cè)邊的邊長大于所述近端寬度。3.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述承載盤與所述砂輪盤呈圓形，所述多個研磨齒呈漩渦狀排列，所述被研磨物呈圓形、橢圓形、四方形或三角形。4.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述承載盤以順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，所述砂輪盤以順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，所述承載盤的盤面與所述砂輪盤的盤面彼此平行。5.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包含: 承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其轉(zhuǎn)動所述承載盤，所述承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)控制所述承載盤以承載轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；以及 砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其轉(zhuǎn)動所述砂輪盤，所述砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)控制所述砂輪盤以砂輪轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。6.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，各所述研磨齒與對應(yīng)的虛擬放射線相交一研磨角度，所述虛擬放射線與所述砂輪盤的所述中心相交且與其中一個所述研磨齒相交，所述研磨角度大于O度且小于90度。7.一種研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置包含: 承載座，其包含承載盤與承載轉(zhuǎn)軸，所述承載盤連接所述承載轉(zhuǎn)軸，所述承載盤以所述承載轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)； 多個被研磨物，其定位于所述承載盤上； 砂輪座，其包含砂輪盤與砂輪轉(zhuǎn)軸，所述砂輪盤連接所述砂輪轉(zhuǎn)軸，所述砂輪盤以所述砂輪轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)；以及 多個研磨齒，其定位于所述砂輪盤上，所述多個研磨齒接觸研磨各所述被研磨物，各所述研磨齒包含近端與遠(yuǎn)端，所述近端具有近端寬度，所述遠(yuǎn)端具有遠(yuǎn)端寬度，所述近端與所述砂輪盤的中心相隔一近端距離，所述遠(yuǎn)端與所述砂輪盤的中心相隔一遠(yuǎn)端距離，所述近端距離小于所述遠(yuǎn)端距離，且所述近端寬度大于所述遠(yuǎn)端寬度。8.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，各所述研磨齒還包含第一側(cè)邊與第二側(cè)邊，所述第一側(cè)邊對應(yīng)所述第二側(cè)邊，所述近端與所述遠(yuǎn)端呈平面狀或弧面狀，所述第一側(cè)邊與所述第二側(cè)邊呈平面狀或弧面狀，所述第一側(cè)邊的邊長小于等于所述第二側(cè)邊的邊長，且所述第一側(cè)邊的邊長大于所述近端寬度。9.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述承載盤與所述砂輪盤呈圓形，所述多個研磨齒呈漩渦狀排列，各所述被研磨物呈圓形、橢圓形、四方形或三角形。10.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述承載盤以順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，所述砂輪盤以順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，所述承載轉(zhuǎn)軸與所述砂輪轉(zhuǎn)軸彼此平行且所述承載盤的盤面與所述砂輪盤的盤面彼此平行，所述承載轉(zhuǎn)軸與所述承載盤的盤面相互垂直。11.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包含: 承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其連接所述承載轉(zhuǎn)軸，所述承載轉(zhuǎn)動馬達(dá)控制所述承載盤以承載轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；以及 砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)，其連接所述砂輪轉(zhuǎn)軸，所述砂輪轉(zhuǎn)動馬達(dá)控制所述砂輪盤以砂輪轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。12.如權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，各所述研磨齒與對應(yīng)的虛擬放射線相交一研磨角度，所述虛擬放射線與所述砂輪盤的中心相交且與相對應(yīng)所述研磨齒相交，所述研磨角度大于O度且小于90度。
【文檔編號】B24B37/07GK205520893SQ201620078237
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月27日
【發(fā)明人】周景星
【申請人】周景星