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發(fā)光二極管芯片的鍍膜治具的制作方法

文檔序號:8860509閱讀:833來源:國知局
發(fā)光二極管芯片的鍍膜治具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體地說,涉及一種發(fā)光二極管芯片的鍍膜治具。
【背景技術(shù)】
[0002]由于發(fā)光二極管芯片(Light Emitting D1de,簡稱LED)是一種具有節(jié)能、環(huán)保、和壽命長等諸多優(yōu)點(diǎn)的半導(dǎo)體元器件,所以目前階段,其已經(jīng)成為國內(nèi)外最受重視的光源技術(shù)之一。LED芯片通常的制作方法,是采用金屬有機(jī)化合物的化學(xué)氣相沉積,從而在襯底上生長外延層,然后再通過一系列的芯片制程制作而成。
[0003]在LED芯片的制作當(dāng)中,分布式布拉格反射鏡(簡稱DBR)鍍膜是一個關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。鍍膜過程中,需將LED芯片穩(wěn)定的放置在鍍膜治具之上。然而在這一過程當(dāng)中,鍍膜治具與LED芯片必須相接觸,往往會造成的芯片邊緣芯粒被污染,導(dǎo)致部分芯粒因此報廢。需要說明的是,LED芯片上的有效芯粒數(shù)量,是衡量LED芯片質(zhì)量的一項重要指標(biāo),芯片上有效芯粒的數(shù)量會直接影響成品率。所以鍍膜導(dǎo)致的芯粒報廢,是應(yīng)該盡量減少的。
[0004]參見圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中的鍍膜治具。鍍膜過程中,圓形的LED芯片將放置在圓環(huán)形狀的鍍膜治具上;能夠看出,對于圖1所示的鍍膜治具,LED芯片的邊緣與鍍膜治具完全接觸;或者說二者有接觸的長度,基本等于芯片的周長。
[0005]LED芯片的邊緣與鍍膜治具接觸越多,便越容易造成芯片的污染,所以LED芯片邊緣上報廢的芯粒數(shù)量也就越多。所以現(xiàn)有技術(shù)中的鍍膜治具,存在的缺點(diǎn)在于,鍍膜治具與LED芯片接觸過多,使得芯片芯粒的報廢率較高;直接導(dǎo)致LED芯片生產(chǎn)的低成品率和高成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此,本申請?zhí)峁┮环N發(fā)光二極管芯片的鍍膜治具,通過減少LED芯片邊緣與鍍膜治具的接觸距離,以解決上述問題。
[0007]為了解決上述技術(shù)問題,本申請有如下技術(shù)方案:
[0008]—種發(fā)光二極管芯片的鍍膜治具,
[0009]所述鍍膜治具包括一個圓形邊框;
[0010]所述圓形邊框的直徑大于發(fā)光二極管芯片的直徑;
[0011]所述圓形邊框的內(nèi)側(cè),設(shè)有至少3個支撐角;
[0012]所述支撐角的上表面為平面;
[0013]所述支撐角的內(nèi)邊緣,到所述圓形邊框圓心的距離,不大于所述發(fā)光二極管芯片的半徑;
[0014]所述支撐角的尺寸,不大于預(yù)設(shè)的第一閾值。
[0015]所述各支撐角尺寸相同,且等距分布于所述圓形邊框的內(nèi)側(cè)。
[0016]所述支撐角的數(shù)量為4個或6個。
[0017]所述第一閾值具體為1mm,則所述支撐角的尺寸,不大于預(yù)設(shè)的第一閾值具體為:
[0018]所述支撐角為邊長不超過Imm的立方體。
[0019]所述圓形邊框的直徑為5cm、10cm、15cm或20cm。
[0020]所述支撐角的材質(zhì)為:
[0021]鋼材或合金。
[0022]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本申請所述的,達(dá)到了如下效果:
[0023](I)、通過在圓形邊框的內(nèi)側(cè)設(shè)置支撐角,使得LED芯片僅僅需要在支撐角處與鍍膜治具相接觸;由此在保證LED芯片放置的穩(wěn)定性的前提下,大幅度的縮小了 LED芯片邊緣與鍍膜治具相接觸的長度。
[0024](2)、明顯的降低了鍍膜治具對LED芯片邊緣的污染,減少了因鍍膜報廢的芯片芯粒數(shù)量,提高了 LED芯片的成品率,也縮減了 LED芯片的生產(chǎn)成本。
[0025](3)、通過優(yōu)化支撐角的數(shù)量和尺寸,增加了 LED芯片放置在鍍膜治具上的穩(wěn)定性和安全性,同時有效的限制了 LED芯片邊緣與鍍膜治具接觸的長度。
[0026]當(dāng)然,實(shí)施本申請的任一產(chǎn)品必不一定需要同時達(dá)到以上所述的所有技術(shù)效果。
【附圖說明】
[0027]此處所說明的附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解,構(gòu)成本申請的一部分,本申請的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本申請,并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0028]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中鍍膜治具的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0029]圖2為為本申請實(shí)施例中鍍膜治具的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0030]圖3為本申請另一實(shí)施例中鍍膜治具的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0031]圖4為本申請又一實(shí)施例中鍍膜治具的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]如在說明書及權(quán)利要求當(dāng)中使用了某些詞匯來指稱特定組件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,硬件制造商可能會用不同名詞來稱呼同一個組件。本說明書及權(quán)利要求并不以名稱的差異來作為區(qū)分組件的方式,而是以組件在功能上的差異來作為區(qū)分的準(zhǔn)則。如在通篇說明書及權(quán)利要求當(dāng)中所提及的“包含”為一開放式用語,故應(yīng)解釋成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接收的誤差范圍內(nèi),本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在一定誤差范圍內(nèi)解決所述技術(shù)問題,基本達(dá)到所述技術(shù)效果。此外,“耦接”一詞在此包含任何直接及間接的電性耦接手段。因此,若文中描述一第一裝置耦接于一第二裝置,則代表所述第一裝置可直接電性耦接于所述第二裝置,或通過其他裝置或耦接手段間接地電性耦接至所述第二裝置。說明書后續(xù)描述為實(shí)施本申請的較佳實(shí)施方式,然所述描述乃以說明本申請的一般原則為目的,并非用以限定本申請的范圍。本申請的保護(hù)范圍當(dāng)視所附權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
[0033]參見圖2所示,為本申請實(shí)施例所述LED芯片鍍膜卡環(huán)(治具)的結(jié)構(gòu)示意圖。一般而言,LED芯片為圓形,所以在本實(shí)施例中,所述鍍膜卡環(huán)(治具)同樣為圓形。本實(shí)施例中,不再使LED芯片的邊緣與鍍膜卡環(huán)(治具)完全接觸,而是僅僅在所述鍍膜卡環(huán)(治具)上設(shè)置若干個支撐角,如此,所述LED芯片邊緣僅僅在支撐角處與鍍膜卡環(huán)(治具)相接觸,由此便顯著的減少了 LED芯片邊緣與鍍膜卡環(huán)(治具)接觸的長度。
[0034]圖2所示鍍膜卡環(huán)(治具)具體結(jié)構(gòu)如下:
[0035]所述鍍膜卡環(huán)(治具)包括一個圓形邊框。所述圓形邊框構(gòu)成所述鍍膜卡環(huán)(治具)的主體。在鍍膜過程進(jìn)行時,LED芯片需放置在所述圓形邊框當(dāng)中。不過,為了減少LED芯片與鍍膜卡環(huán)(治具)的接觸面積,所述LED芯片的邊緣不再直接的與圓形邊框相接觸。為實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),本實(shí)施例中必須令所述圓形邊框的直徑大于發(fā)光二極管芯片的直徑。
[0036]所述圓形邊框的內(nèi)側(cè),設(shè)有若干支撐角。所述支撐角為直接與LED芯片邊緣接觸的部分。這樣一來,LED芯片邊緣與鍍膜卡環(huán)(治具)的接觸便僅限于有限的幾個支撐點(diǎn)處,相比如圖1所示的完全接觸而言,如此設(shè)計使得二者接觸長度大幅度降低。
[0037]所述支撐角的作用是支撐LED芯片,使其能夠穩(wěn)定的放置在圓形邊框中,以便于進(jìn)行鍍膜。根據(jù)三角形穩(wěn)定原理,所述支撐角的數(shù)量不能夠少于三個。圖2所示,即存在3個支撐角的具體實(shí)施例。并且為了避免LED芯片掉落,所述支撐角的內(nèi)邊緣,到所述圓形邊框圓心的距離,不大于所述發(fā)光二極管芯片的半徑。
[0038]另外,為了進(jìn)一步的保證LED芯片放置在鍍膜卡環(huán)(治具)之后的穩(wěn)定性和安全性,本實(shí)施例中設(shè)計所述支撐角的上表面為平面。同時為了盡可能減少LED芯片與鍍膜卡環(huán)(治具)的接觸,本實(shí)施例中設(shè)置支撐角的尺寸不能夠大于預(yù)設(shè)的第一閾值,以免所述支撐角過大,增加接觸的長度。
[0039]通過以上技術(shù)方案可知,本實(shí)施例存在的有益效果是:通過在圓形邊框的內(nèi)側(cè)設(shè)置支撐角,使得LED芯片僅僅需要在支撐角處與鍍膜卡環(huán)(治具)相接觸;由此在保證LED芯片放置的穩(wěn)定性的前提下,大幅度的縮小了 LED芯片邊緣與鍍膜卡環(huán)(治具)相接觸的長度;進(jìn)而明顯的降低了鍍膜卡環(huán)(治具)對LED芯片邊緣的污染,減少了因鍍膜報廢的芯片芯粒數(shù)量,提高了 LED芯片的成品率,也縮減了 LED芯片的
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