旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，尤其是一種在等離子噴涂旋轉(zhuǎn)靶材時產(chǎn)生低壓條件的裝置，屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射靶材是通過磁控濺射鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。
[0003]很多磁控濺射靶材需要通過等離子噴涂工藝來生產(chǎn)，在噴涂過程中周圍環(huán)境的氣氛和氣壓對靶材的質(zhì)量影響非常大。目前，國內(nèi)多用在大氣中噴涂的方法(即常壓噴涂)來生產(chǎn)靶材，產(chǎn)品密度低，氧含量高，電阻率高，不能滿足高端鍍膜的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，產(chǎn)生低氣壓和保護氣氛，可以有效提高旋轉(zhuǎn)靶材的密度，控制氧含量，并且大幅提高上粉率，提高產(chǎn)品質(zhì)量的同時降低了生產(chǎn)成本。
[0005]按照本實用新型提供的技術(shù)方案，一種旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，特征是:包括由半圓形低壓室上殼體和半圓形低壓室下殼體組裝成的圓筒狀低壓室，在低壓室下殼體內(nèi)安裝固定臂，固定臂上分別固定伺服電機、噴槍行走裝置和轉(zhuǎn)床，噴槍行走裝置和轉(zhuǎn)床沿低壓室的長度方向并排布置，伺服電機位于轉(zhuǎn)床的一端；所述轉(zhuǎn)床包括沿低壓室長度方向布置的轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌的一端安裝主傳動箱，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌的另一端設(shè)置可沿轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌移動的尾座，尾座上設(shè)置裝夾端頭，所述伺服電機通過皮帶與主傳動箱的動力輸入端連接，主傳動箱的動力輸出端連接卡盤，卡盤和裝夾端頭之間裝夾工件；所述噴槍行走裝置包括沿低壓室長度方向布置的噴槍行走裝置導(dǎo)軌，噴槍行走裝置導(dǎo)軌上設(shè)置可沿噴槍行走裝置導(dǎo)軌移動的噴槍座，噴槍座上設(shè)有噴槍固定板，噴槍固定板上安裝噴槍。
[0006]進一步的，所述低壓室上殼體和低壓室下殼體的結(jié)合面為密封面，在密封面設(shè)有密封圈，密封面外部由緊固裝置固定。
[0007]進一步的，在所述低壓室下殼體上設(shè)有抽氣口，抽氣口連接抽氣管。
[0008]進一步的，在所述低壓室下殼體的端部設(shè)有全功能接口。
[0009]進一步的，在所述低壓室上殼體上設(shè)有觀察窗。
[0010]本實用新型具有以下優(yōu)點:本實用新型產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡單、構(gòu)思巧妙合理，可以實現(xiàn)低氣壓和保護性氣氛，降低了產(chǎn)品的氧含量，提高了產(chǎn)品的密度。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2為圖1的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合具體附圖對本實用新型作進一步說明。
[0014]如圖1?圖2所示:所述旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室包括伺服電機1、主傳動箱2、卡盤3、觀察窗4、噴槍支架5、工件6、裝夾端頭7、尾座8、低壓室上殼體9、緊固裝置10、轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌11、固定臂12、噴槍行走裝置導(dǎo)軌13、噴槍座14、噴槍15、噴槍固定板16、抽氣口 17、密封圈18、抽氣管19、全功能接口 20、低壓室下殼體21、噴槍行走裝置22、轉(zhuǎn)床23等。
[0015]如圖1、圖2所示，本實用新型由半圓形低壓室上殼體9和半圓形低壓室下殼體21組裝成圓筒狀的低壓室，低壓室上殼體9和低壓室下殼體21的結(jié)合面為密封面，在密封面設(shè)有密封圈18，密封面外部由緊固裝置10固定；在所述低壓室下殼體21內(nèi)安裝固定臂12，固定臂12上分別固定伺服電機1、噴槍行走裝置22和轉(zhuǎn)床23，噴槍行走裝置22和轉(zhuǎn)床23沿低壓室的長度方向并排布置，伺服電機I位于轉(zhuǎn)床23的一端；
[0016]所述轉(zhuǎn)床23包括沿低壓室長度方向布置的轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌11，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌11的一端安裝主傳動箱2，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌11的另一端設(shè)置可沿轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌11移動的尾座8，尾座8上設(shè)置裝夾端頭7 ;所述伺服電機I通過皮帶與主傳動箱2的動力輸入端連接，主傳動箱2的動力輸出端連接卡盤3，卡盤3和裝夾端頭7之間裝夾工件6 ；
[0017]所述噴槍行走裝置22包括沿低壓室長度方向布置的噴槍行走裝置導(dǎo)軌13，噴槍行走裝置導(dǎo)軌13上設(shè)置可沿噴槍行走裝置導(dǎo)軌13移動的噴槍座14，噴槍座14上設(shè)有噴槍固定板16，噴槍固定板16上安裝噴槍15 ；
[0018]在所述低壓室下殼體21上設(shè)有抽氣口 17，抽氣口 17連接抽氣管19 ;在所述低壓室下殼體21的端部設(shè)有全功能接口 20，水、電、氣通過全功能接口 20連接到所需設(shè)備；
[0019]在所述低壓室上殼體9上設(shè)有3個觀察窗4，方便于生產(chǎn)過程中進行觀察。
[0020]本實用新型新型的工作原理及工作過程:吊起低壓室上殼體9，將工件6裝夾在轉(zhuǎn)床23上，調(diào)整噴槍座14和噴槍固定板16，使噴槍15到工件6的高度和距離符合工藝要求；在低壓室下殼體21的密封圈18上涂好真空硅脂，放下低壓室上殼體9，使其密封面與低壓室下殼體21通過密封面結(jié)合起來，安裝并擰緊緊固裝置10。開動真空泵，通過抽氣管19和抽氣口 17把低壓室內(nèi)壓強降低到l-100Pa。開動伺服電機1，使轉(zhuǎn)床23帶動工件6以一定的速度旋轉(zhuǎn)，隨后啟動噴槍行走裝置22，使噴槍15以一定的速度沿工件6的軸向方向往復(fù)運動，啟動噴槍15，把熔融態(tài)的粉末噴射到工件6上。保護性氣體可根據(jù)需要通過全功能接口 20以一定的流量通入低壓室。由于真空泵持續(xù)運轉(zhuǎn)，能夠保證低壓室內(nèi)的壓強穩(wěn)定的保持在工藝需要的水平。
【主權(quán)項】
1.一種旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，其特征是:包括由半圓形低壓室上殼體(9)和半圓形低壓室下殼體(21)組裝成的圓筒狀低壓室，在低壓室下殼體(21)內(nèi)安裝固定臂(12)，固定臂(12)上分別固定伺服電機(1)、噴槍行走裝置(22)和轉(zhuǎn)床(23)，噴槍行走裝置(22)和轉(zhuǎn)床(23)沿低壓室的長度方向并排布置，伺服電機(I)位于轉(zhuǎn)床(23)的一端；所述轉(zhuǎn)床(23)包括沿低壓室長度方向布置的轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌(11 )，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌(11)的一端安裝主傳動箱(2)，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌(11)的另一端設(shè)置可沿轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌(11)移動的尾座(8)，尾座(8)上設(shè)置裝夾端頭(7)，所述伺服電機(I)通過皮帶與主傳動箱(2)的動力輸入端連接，主傳動箱(2)的動力輸出端連接卡盤(3)，卡盤(3)和裝夾端頭(7)之間裝夾工件(6);所述噴槍行走裝置(22)包括沿低壓室長度方向布置的噴槍行走裝置導(dǎo)軌(13)，噴槍行走裝置導(dǎo)軌(13)上設(shè)置可沿噴槍行走裝置導(dǎo)軌(13)移動的噴槍座(14)，噴槍座(14)上設(shè)有噴槍固定板(16)，噴槍固定板(16)上安裝噴槍(15)。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，其特征是:所述低壓室上殼體(9)和低壓室下殼體(21)的結(jié)合面為密封面，在密封面設(shè)有密封圈(18)，密封面外部由緊固裝置(10)固定。
3.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，其特征是:在所述低壓室下殼體(21)上設(shè)有抽氣口(17)，抽氣口(17)連接抽氣管(19)。
4.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，其特征是:在所述低壓室下殼體(21)的端部設(shè)有全功能接口(20)。
5.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，其特征是:在所述低壓室上殼體(9)上設(shè)有觀察窗(4)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶用低壓等離子噴涂室，特征是：包括由低壓室上殼體和低壓室下殼體組裝成的圓筒狀低壓室，在低壓室下殼體內(nèi)安裝固定臂，固定臂上固定伺服電機、噴槍行走裝置和轉(zhuǎn)床；所述轉(zhuǎn)床包括轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌的一端安裝主傳動箱，在轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌的另一端設(shè)置可沿轉(zhuǎn)床導(dǎo)軌移動的尾座，尾座上設(shè)置裝夾端頭，所述伺服電機通過皮帶與主傳動箱的動力輸入端連接，主傳動箱的動力輸出端連接卡盤，卡盤和裝夾端頭之間裝夾工件；所述噴槍行走裝置包括噴槍行走裝置導(dǎo)軌，噴槍行走裝置導(dǎo)軌上設(shè)置噴槍座，噴槍座上設(shè)有噴槍固定板，噴槍固定板上安裝噴槍。本實用新型可以實現(xiàn)低氣壓和保護性氣氛，降低了產(chǎn)品的氧含量，提高了產(chǎn)品的密度。
【IPC分類】C23C4-12, C23C14-35
【公開號】CN204385280
【申請?zhí)枴緾N201420861005
【發(fā)明人】秦國強, 張志祥
【申請人】江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月30日