一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，包括下盤工作盤，所述下盤工作盤的下方設(shè)有水冷盤，所述水冷盤與所述下盤工作盤之間設(shè)有冷卻腔，所述水冷盤上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述水冷盤上設(shè)有扇形冷卻腔，所述扇形冷卻腔內(nèi)設(shè)有分流筋。本發(fā)明采用特殊的水冷盤結(jié)構(gòu)避免了冷卻水走捷徑，只有在冷卻水充滿腔體后才能從出水口流出，確保了冷卻水能對(duì)拋盤進(jìn)行充分冷卻，及時(shí)帶走因加工而產(chǎn)生的熱量，對(duì)拋盤起到了強(qiáng)制冷卻的作用，較傳統(tǒng)的被動(dòng)式冷卻更可靠；結(jié)合精密的測溫系統(tǒng)及冷卻水流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了拋盤溫度的精密控制。
【專利說明】
一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)，具體涉及一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]用于拋光機(jī)的下拋光盤，由于在拋光過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱，溫度的變化必然會(huì)導(dǎo)致拋光盤發(fā)生形變，進(jìn)而影響加工質(zhì)量，因此必須嚴(yán)格控制拋光盤的溫度。近年來IC芯片硅片的尺寸趨向大直徑化，對(duì)硅片的質(zhì)量要求也越來越嚴(yán)，對(duì)于用來進(jìn)行硅片及其它高精度薄脆材料單面拋光加工的拋光設(shè)備，必須嚴(yán)格控制拋盤的形變。
[0003]此前生產(chǎn)的單面拋光機(jī)的下拋盤也配有水冷盤，冷卻效果不好，拋盤溫度的變化不可控。傳統(tǒng)的設(shè)備也大多應(yīng)用在非IC行業(yè)，對(duì)下盤的溫度控制要求不高，而IC行業(yè)對(duì)硅片的要求比較高，對(duì)上下拋光盤進(jìn)行精密溫度控制是必需的，因此必須采用新的下盤結(jié)構(gòu)，以便對(duì)拋盤進(jìn)行冷卻，達(dá)到溫度精確控制的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種涉及藍(lán)寶石、硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片以及光學(xué)材料等金屬，非金屬硬脆材料的單面拋光機(jī)水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，在拋盤內(nèi)部強(qiáng)制通冷卻介質(zhì)，對(duì)下拋光盤進(jìn)行強(qiáng)制冷卻，實(shí)現(xiàn)拋盤溫度的精密控制，達(dá)到控制拋盤變形的目的。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，包括下盤工作盤，所述下盤工作盤的下方設(shè)有水冷盤，所述水冷盤與所述下盤工作盤之間設(shè)有冷卻腔，所述水冷盤上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述水冷盤上設(shè)有扇形冷卻腔，所述扇形冷卻腔內(nèi)設(shè)有分流筋。
[0006]進(jìn)一步的，所述水冷盤與所述下盤工作盤之間的外圈設(shè)有外圈密封圈，內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)圈密封圈。
[0007]優(yōu)選的，所述水冷盤的內(nèi)部中間位置設(shè)有分水盤，所述分水盤的兩端分別設(shè)有進(jìn)水槽和回水槽，所述回水槽上設(shè)有回水管，所述分水盤與所述下盤工作盤之間通過設(shè)在所述分流筋上的鏈接螺釘連接。
[0008]進(jìn)一步的，所述進(jìn)水口和所述出水口分別與所述冷卻腔連通。
[0009]進(jìn)一步的，所述扇形冷卻腔有12個(gè)，且是下凹的，所述分流筋是樹葉型的。
[0010]進(jìn)一步的，所述進(jìn)水口與進(jìn)水槽相通，所述出水口與回水槽相通。
[0011]本發(fā)明的有益效果:
本發(fā)明本發(fā)明采用特殊的水冷盤結(jié)構(gòu)避免了冷卻水走捷徑，只有在冷卻水充滿腔體后才能從出水口流出，確保了冷卻水能對(duì)拋盤進(jìn)行充分冷卻，及時(shí)帶走因加工而產(chǎn)生的熱量，對(duì)拋盤起到了強(qiáng)制冷卻的作用，較傳統(tǒng)的被動(dòng)式冷卻更可靠;結(jié)合精密的測溫系統(tǒng)及冷卻水流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了拋盤溫度的精密控制。
【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)的機(jī)構(gòu)的剖視圖A-A。
[0013]圖中:1、水冷盤，2、外圈密封圈，3、下盤工作盤，4、冷卻腔，5、內(nèi)圈密封圈，6、進(jìn)水口，7、扇形冷卻腔，8、出水口，9、分流筋，1、分水盤，11、連接螺釘，12、回水管。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0015]參照?qǐng)D1和圖2所示，一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，包括下盤工作盤3，所述下盤工作盤3的下方設(shè)有水冷盤I，所述水冷盤I與所述下盤工作盤3之間設(shè)有冷卻腔4，所述水冷盤I上設(shè)有進(jìn)水口 6和出水口 8，所述水冷盤I上設(shè)有扇形冷卻腔7，所述扇形冷卻腔7內(nèi)設(shè)有分流筋9。
[0016]進(jìn)一步的，所述水冷盤I與所述下盤工作盤3之間的外圈設(shè)有外圈密封圈2，內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)圈密封圈5。
[0017]優(yōu)選的，所述水冷盤I的內(nèi)部中間位置設(shè)有分水盤10，所述分水盤10的兩端分別設(shè)有進(jìn)水槽1001和回水槽1002，所述回水槽1002上設(shè)有回水管12，所述分水盤10與所述下盤工作盤3之間通過設(shè)在所述分流筋9上的鏈接螺釘11連接。
[0018]進(jìn)一步的，所述進(jìn)水口6和所述出水口8分別與所述冷卻腔4連通。
[0019]進(jìn)一步的，所述扇形冷卻腔7有12個(gè)，且是下凹的，所述分流筋9是樹葉型的。
[0020]進(jìn)一步的，所述進(jìn)水口 6與進(jìn)水槽1001相通，所述出水口 8與回水槽1002相通。
[0021]本發(fā)明的原理:
本發(fā)明下拋光盤均采用復(fù)合雙層結(jié)構(gòu)，為中空結(jié)構(gòu)，上層為下盤工作盤3，下層為水冷盤I，中間可通冷卻水。水冷盤I設(shè)有十二個(gè)獨(dú)立的扇形冷卻腔7，內(nèi)布水冷通道，采用獨(dú)特的循環(huán)通道，將冷卻水引入進(jìn)水口 6，進(jìn)入冷卻腔4，對(duì)下盤工作盤3進(jìn)行冷卻，且在進(jìn)水口6處裝有水管將冷卻水由盤體內(nèi)側(cè)導(dǎo)向盤體外側(cè)，保證了冷卻水經(jīng)過的回路較長而不走捷徑，且出水口 8出的回水管12的高度高于復(fù)合盤體的結(jié)合面，冷卻水必須完全充滿冷卻腔4后才能從出水口8經(jīng)由回水管12流出，確保拋盤能得到充分的冷卻，盤體內(nèi)外側(cè)結(jié)合面裝以及螺釘連接處裝有密封圈，用于防止泄露。
[0022]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括下盤工作盤(3)，所述下盤工作盤(3 )的下方設(shè)有水冷盤(I)，所述水冷盤(I)與所述下盤工作盤(3 )之間設(shè)有冷卻腔(4)，所述水冷盤(I)上設(shè)有進(jìn)水口( 6)和出水口( 8)，所述水冷盤(I)上設(shè)有扇形冷卻腔(7 )，所述扇形冷卻腔(7)內(nèi)設(shè)有分流筋(9)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水冷盤(I)與所述下盤工作盤(3)之間的外圈設(shè)有外圈密封圈(2)，內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)圈密封圈(5)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水冷盤(I)的內(nèi)部中間位置設(shè)有分水盤(10)，所述分水盤(10)的兩端分別設(shè)有進(jìn)水槽(1001)和回水槽(1002)，所述回水槽(1002)上設(shè)有回水管(12)，所述分水盤(10)與所述下盤工作盤(3)之間通過設(shè)在所述分流筋(9)上的鏈接螺釘(11)連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)水口(6)和所述出水口(8)分別與所述冷卻腔(4)連通。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述扇形冷卻腔(7)有12個(gè)，且是下凹的，所述分流筋(9)是樹葉型的。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光機(jī)的水冷下拋光盤結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)水口(6)與進(jìn)水槽(1001)相通，所述出水口(8)與回水槽(1002)相通。
【文檔編號(hào)】B24B55/02GK106064350SQ201610601957
【公開日】2016年11月2日
【申請(qǐng)日】2016年7月28日
【發(fā)明人】喬衛(wèi)民, 翟新, 李方俊, 馬艷
【申請(qǐng)人】蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司