半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工裝置，尤其是一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體加工過程中需涉及蒸發(fā)臺的使用，蒸發(fā)臺中需采用熱電偶對其進(jìn)行溫度傳感工作。傳統(tǒng)蒸發(fā)臺的熱電偶僅在其兩端連接有相關(guān)部件，然而，由于熱電偶的特性，蒸發(fā)臺中飛濺的蒸發(fā)源沾覆至熱電偶表面時發(fā)生的熱熔現(xiàn)象極易損壞熱電偶，同時，在清潔蒸發(fā)臺腔體的過程中，熱電偶亦容易被清潔設(shè)備折斷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其可對于溫度傳感用的熱電偶起到良好的保護(hù)作用。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其包括有蒸發(fā)室腔體，蒸發(fā)室腔體內(nèi)部設(shè)置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置包含有熱電偶保護(hù)套，其沿水平方向進(jìn)行延伸，所述熱電偶設(shè)置于熱電偶保護(hù)套內(nèi)部。
[0005]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述熱電偶保護(hù)套的長度至少為熱電偶長度的3/4，其可確保保護(hù)套對熱電偶起到足夠的保護(hù)作用。
[0006]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述熱電偶保護(hù)套之中設(shè)置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板，第一固定端板與蒸發(fā)室腔體的下端面之間通過螺栓進(jìn)行連接。采用上述設(shè)計，其可通過第一固定端板使得熱電偶與蒸發(fā)室腔體之間保持穩(wěn)定連接，從而避免因機(jī)械振動等因素導(dǎo)致熱電偶損壞。
[0007]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述蒸發(fā)室腔體之中設(shè)備多根支撐桿件，支撐桿件于蒸發(fā)室腔體的上端面與下端面之間進(jìn)行延伸；所述熱電偶保護(hù)套之中設(shè)置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板，每一個第二固定端板均位于支撐桿件的側(cè)端部，第二固定端板與支撐桿件之間通過螺栓進(jìn)行連接。采用上述設(shè)計，其一方面可通過支撐桿件使得蒸發(fā)室腔體的穩(wěn)定性得以進(jìn)一步的改善，另一方面，其可通過第二固定端板的設(shè)置使得熱電偶及其保護(hù)套的穩(wěn)定性得以進(jìn)一步的提升。
[0008]采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其可通過熱電偶保護(hù)套以對熱電偶起到良好的保護(hù)作用，從而避免熱電偶受腔體內(nèi)其余部件影響而發(fā)生損壞，同時期亦可避免熱電偶與蒸發(fā)臺其余部件接觸導(dǎo)致短路現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明示意圖；
圖2為本發(fā)明中熱電偶保護(hù)套俯視圖；
附圖標(biāo)記列表: 1 一蒸發(fā)室腔體、2—熱電偶、3—熱電偶保護(hù)套、4 一第一固定端板、5—支撐桿件、6—第二固定端板。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解下述【具體實(shí)施方式】僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。
[0011]實(shí)施例1
如圖1與圖2所示的一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其包括有蒸發(fā)室腔體1，蒸發(fā)室腔體1內(nèi)部設(shè)置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶2 ;所述半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置包含有熱電偶保護(hù)套3，其沿水平方向進(jìn)行延伸，所述熱電偶2設(shè)置于熱電偶保護(hù)套3內(nèi)部。
[0012]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述熱電偶保護(hù)套3的長度為熱電偶2長度的3/4，其可確保保護(hù)套對熱電偶起到足夠的保護(hù)作用。
[0013]作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述熱電偶保護(hù)套3之中設(shè)置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板4，第一固定端板4與蒸發(fā)室腔體1的下端面之間通過螺栓進(jìn)行連接。采用上述設(shè)計，其可通過第一固定端板使得熱電偶與蒸發(fā)室腔體之間保持穩(wěn)定連接，從而避免因機(jī)械振動等因素導(dǎo)致熱電偶損壞。
[0014]采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其可通過熱電偶保護(hù)套以對熱電偶起到良好的保護(hù)作用，從而避免熱電偶受腔體內(nèi)其余部件影響而發(fā)生損壞，同時期亦可避免熱電偶與蒸發(fā)臺其余部件接觸導(dǎo)致短路現(xiàn)象。
[0015]實(shí)施例2
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，如圖1所示，所述蒸發(fā)室腔體1之中設(shè)備多根支撐桿件5，支撐桿件5于蒸發(fā)室腔體的上端面與下端面之間進(jìn)行延伸；所述熱電偶保護(hù)套3之中設(shè)置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板6，每一個第二固定端板6均位于支撐桿件5的側(cè)端部，第二固定端板6與支撐桿件5之間通過螺栓進(jìn)行連接。采用上述設(shè)計，其一方面可通過支撐桿件使得蒸發(fā)室腔體的穩(wěn)定性得以進(jìn)一步的改善，另一方面，其可通過第二固定端板的設(shè)置使得熱電偶及其保護(hù)套的穩(wěn)定性得以進(jìn)一步的提升。
[0016]本實(shí)施例其余特征與優(yōu)勢均與實(shí)施例1相同。
【主權(quán)項】
1.一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其包括有蒸發(fā)室腔體，蒸發(fā)室腔體內(nèi)部設(shè)置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置包含有熱電偶保護(hù)套，其沿水平方向進(jìn)行延伸，所述熱電偶設(shè)置于熱電偶保護(hù)套內(nèi)部。2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其特征在于，所述熱電偶保護(hù)套的長度至少為熱電偶長度的3/4。3.按照權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其特征在于，所述熱電偶保護(hù)套之中設(shè)置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板，第一固定端板與蒸發(fā)室腔體的下端面之間通過螺栓進(jìn)行連接。4.按照權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其特征在于，所述蒸發(fā)室腔體之中設(shè)備多根支撐桿件，支撐桿件于蒸發(fā)室腔體的上端面與下端面之間進(jìn)行延伸；所述熱電偶保護(hù)套之中設(shè)置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板，每一個第二固定端板均位于支撐桿件的側(cè)端部，第二固定端板與支撐桿件之間通過螺栓進(jìn)行連接。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其包括有蒸發(fā)室腔體，蒸發(fā)室腔體內(nèi)部設(shè)置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置包含有熱電偶保護(hù)套，其沿水平方向進(jìn)行延伸，所述熱電偶設(shè)置于熱電偶保護(hù)套內(nèi)部；采用上述技術(shù)方案的半導(dǎo)體蒸發(fā)臺用熱電偶保護(hù)裝置，其可通過熱電偶保護(hù)套以對熱電偶起到良好的保護(hù)作用，從而避免熱電偶受腔體內(nèi)其余部件影響而發(fā)生損壞。
【IPC分類】C23C14/24, C23C14/34, C23C14/56, H01L21/67
【公開號】CN105316644
【申請?zhí)枴緾N201510806322
【發(fā)明人】史進(jìn), 伍志軍
【申請人】蘇州賽森電子科技有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年11月20日