線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種線鋸，該線鋸一邊向鋼線供給漿料一邊壓抵半導(dǎo)體晶棒等工件來進(jìn)行切斷；本發(fā)明尤其涉及一種鋼線切斷時(shí)的線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為將半導(dǎo)體晶棒等工件切割成晶圓狀的裝置，已知有一種線鋸。在該線鋸中，在多個(gè)溝紋輥(溝付? 口一歹；帶凹溝滾筒)的周圍，通過切斷用鋼線多次地卷繞而形成鋼線列，該切斷用鋼線在軸向上被高速驅(qū)動(dòng)，且一邊適當(dāng)?shù)毓┙o漿料一邊相對(duì)于鋼線列切入進(jìn)給工件，由此，該工件在各鋼線位置處同時(shí)地被切斷。
[0003]此處，圖1表示一般的線鋸的一例的概要。
[0004]如圖1所示，在線鋸I中，用于切斷工件W的鋼線2從供給側(cè)的鋼線滾動(dòng)條(7彳個(gè)y —;P) 6陸續(xù)放出，并進(jìn)入溝紋輥3。通過鋼線2在該溝紋輥3上卷繞300?500次程度，從而形成鋼線列。進(jìn)一步地，鋼線2從溝紋輥3退繞，并卷繞在回收側(cè)的鋼線滾動(dòng)條6’上。
[0005]當(dāng)切斷工件W時(shí)，使鋼線2按照預(yù)定的行進(jìn)距離在鋼線軸向上往復(fù)行進(jìn)，鋼線新線被逐漸地從供給側(cè)供給至回收側(cè)。
[0006]因此，在卷繞在溝紋輥3上的鋼線中，相較于供給新線的一側(cè)也就是供給側(cè)，回收鋼線的一側(cè)也就是回收側(cè)的鋼線的磨耗量變大，鋼線直徑變小。因此，存在以下傾向:在回收側(cè)被切斷的晶圓比在供給側(cè)被切斷的晶圓更厚。
[0007]因此，使用一種線鋸，使其溝紋輥的多個(gè)溝槽間的間距(、；/夭)為回收側(cè)比供給側(cè)更窄(專利文獻(xiàn)I)。
[0008]另外，線鋸的鋼線，是使用例如鋼琴線等富有耐磨耗、耐張力性且高硬度的線材，另外，為了防止鋼線的損傷，溝紋輥使用規(guī)定硬度的樹脂輥，但是由于鋼線的持續(xù)的磨耗、疲勞等，在工件的切斷中，鋼線可能會(huì)斷線，而無法繼續(xù)切斷晶圓。
[0009]在這種情況下，以往，在進(jìn)行使工件的切入部從鋼線脫離的脫離作業(yè)后，以手動(dòng)的方式將鋼線拉出，或利用人工的方式來運(yùn)轉(zhuǎn)溝紋輥驅(qū)動(dòng)裝置，將鋼線的斷線處拉至其中一方溝紋輥的適當(dāng)?shù)耐鈧?cè)，并將該斷線部彼此連接。若斷線部分無法再次使用，則將該部分去除，更換為新線后進(jìn)行連接。之后，進(jìn)行拉出作業(yè)，即，將鋼線彼此的連接部再次拉至不直接參與切斷工件的位置處。
[0010]并且，在這種鋼線修復(fù)處理之后，進(jìn)行復(fù)原作業(yè)，S卩，進(jìn)行使工件的各切入處與鋼線的各列相對(duì)應(yīng)并卡合的復(fù)位作業(yè)，然后再次開始工件的切斷，由此完成工件的切斷。
[0011]針對(duì)鋼線的斷線的問題，已知以下方法:改善鋼線的強(qiáng)度(例如，參照專利文獻(xiàn)2)，或者利用線鋸來檢測(cè)斷線的征兆并停止切斷(參照專利文獻(xiàn)3)。通過這樣的技術(shù)，能夠降低鋼線斷線的頻率。
[0012]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)
[0014]專利文獻(xiàn)1:日本專利公開平成10-249701號(hào)公報(bào)
[0015]專利文獻(xiàn)2:日本專利公開2002-256391號(hào)公報(bào)
[0016]專利文獻(xiàn)3:日本專利公開2011-31355號(hào)公報(bào)
[0017](非專利文獻(xiàn))
[0018]非專利文獻(xiàn)1:超精密晶圓表面控制技術(shù)，松下嘉明等人，2000年2月28日科學(xué)論壇股份有限公司出版

【發(fā)明內(nèi)容】

[0019](一)要解決的技術(shù)問題
[0020]但是，伴隨近年來生產(chǎn)性的增加，鋼線的使用負(fù)荷也增大，而無法完全避免斷線。一旦發(fā)生斷線，就會(huì)發(fā)生以下問題:在將高價(jià)工件的切斷再次開始后立刻切割而成的晶圓上，會(huì)產(chǎn)生通過后續(xù)步驟也無法去除的溝槽，而產(chǎn)生大量的不良品。
[0021]本發(fā)明人對(duì)該原因進(jìn)行詳細(xì)調(diào)查后，得以明確以下內(nèi)容。如上所述，在修復(fù)處理中，若將鋼線的斷線部彼此連接，并將連接部分自工件的切斷位置拉出，則工件的切斷位置上的鋼線被替換成新線。工件的切斷位置上的剛剛斷線后的鋼線的直徑因磨耗而比新線的直徑更細(xì)，因此即將斷線之前的鋼線直徑與新線的鋼線直徑產(chǎn)生差異。一般而言，已知工件的切削裕度是鋼線直徑加上漿料的平均直徑的3倍的值(非專利文獻(xiàn)I)，而切斷再次開始后的工件的切削裕度增加，導(dǎo)致在切斷部產(chǎn)生溝槽。
[0022]近年來，為了縮減晶圓的制造成本，而將后續(xù)步驟中的磨光處理時(shí)的磨光裕度設(shè)計(jì)成較小，因此，利用磨光處理無法去除上述溝槽的情況增加。如上所述，在鋼線回收側(cè)的溝紋輥的溝槽間的間距窄于鋼線供給側(cè)的情況下，若使用鋼線新線進(jìn)行切斷，尤其在接近鋼線回收側(cè)的切斷位置處切斷的晶圓的厚度變薄，無法去除所產(chǎn)生的溝槽可能性變大。
[0023]而且，隨著晶圓的直徑變大，產(chǎn)生不良品所導(dǎo)致的影響變得愈發(fā)嚴(yán)重。
[0024]本發(fā)明是鑒于如前所述的問題而完成，目的在于提供一種線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其在通過線鋸所實(shí)施的半導(dǎo)體晶棒等工件切斷中，即便在因鋼線的斷線而導(dǎo)致工件的切斷在中途被中斷的情況下，也能抑制在再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)后切斷的晶圓上產(chǎn)生溝槽，并能夠抑制產(chǎn)品晶圓的質(zhì)量問題。
[0025]( 二 )技術(shù)方案
[0026]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，該線鋸是在多個(gè)溝紋輥上卷繞鋼線，并一邊將該鋼線的新線從供給側(cè)供給至回收側(cè)，一邊使所述鋼線在鋼線軸向上作往復(fù)行進(jìn)，向所述鋼線供給切斷用的漿料，并將工件相對(duì)地壓下，使該工件壓抵并切入進(jìn)給于作往復(fù)行進(jìn)的所述鋼線，而將所述工件切斷成晶圓狀；該線鋸的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，是在該線鋸的運(yùn)轉(zhuǎn)中，所述鋼線斷線而在中途暫時(shí)中斷所述工件的切斷之后，再次開始該切斷的方法，其特征在于，具有以下步驟:修復(fù)步驟，其在中斷所述工件的切斷之后再次開始所述工件的切斷之前，修復(fù)所述斷線的鋼線；切斷準(zhǔn)備步驟，其使所述工件的切斷位置上的所述已修復(fù)的鋼線的直徑與所述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
[0027]若為這樣的再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)方法，由于能夠消除再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)后所使用的鋼線的直徑與斷線前的直徑的差異，因此能夠抑制在切斷的晶圓上產(chǎn)生溝槽，并能夠抑制晶圓成為不良品。
[0028]此時(shí)，在所述切斷準(zhǔn)備步驟中，在所述鋼線的斷線發(fā)生在卷繞在所述溝紋輥上的位置或所述供給側(cè)的位置上的情況下，可通過使所述已修復(fù)的鋼線磨耗，來使其直徑與所述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
[0029]當(dāng)鋼線的斷線發(fā)生在上述位置時(shí)，即便工件的切斷位置上的修復(fù)后的鋼線成為新線，若如此地進(jìn)行切斷準(zhǔn)備步驟，也能夠容易地使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
[0030]另外，在所述切斷準(zhǔn)備步驟中，可將仿真的工件與保持該仿真的工件的保持裝置設(shè)置在所述線鋸上，并以使所述鋼線從所述溝紋輥被退繞至回收側(cè)的位置上的所述鋼線的直徑與所述斷線前相同的方式，利用所述已修復(fù)的鋼線來切斷所述仿真的工件，由此來使所述鋼線磨耗后，將所述仿真的工件和保持裝置去除。
[0031]若這樣做，通過將鋼線從溝紋輥被退繞至回收側(cè)的位置上的鋼線直徑作為標(biāo)準(zhǔn)，能夠更容易地使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。另外，在切斷準(zhǔn)備步驟中，由于無需將中途中斷切斷的工件從線鋸上卸除，工件對(duì)鋼線列的相對(duì)位置不會(huì)變化，因此，能夠防止在再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)后的切斷中由工件的位置變化所導(dǎo)致的影響。
[0032]另外，在所述修復(fù)步驟中，可檢測(cè)從所述斷線發(fā)生時(shí)間點(diǎn)的所述鋼線的斷線處的位置至所述鋼線從所述溝紋輥被退繞至回收側(cè)的位置為止的鋼線長度；在所述切斷準(zhǔn)備步驟中，以使所述鋼線的斷線處的位置成為所述鋼線從所述溝紋輥被退繞至回收側(cè)的位置的方式，對(duì)所述鋼線定位，然后，供給并使用所述所檢測(cè)的鋼線長度以上的長度的所述鋼線的新線，來切斷所述仿真的工件。
[0033]若這樣做，則能夠容易地決定要磨耗的鋼線新線的長度及仿真的工件的切斷時(shí)間，并能夠所需最低限度的步驟時(shí)間，確實(shí)地使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
[0034]另外，可利用測(cè)微計(jì)或激光位移計(jì)來測(cè)量所述鋼線的直徑。
[0035]若這樣做，能夠容易地測(cè)量鋼線的直徑。
[0036](三)有益效果
[0037]本發(fā)明中，在通過線鋸所實(shí)施的工件的切斷中，由于當(dāng)鋼線斷線時(shí)，將斷線的鋼線修復(fù)之后，使工件的切斷位置上的已修復(fù)的