壁IIA包括開口 11D，管狀連接器5從該開口向外延伸，以將蒸發(fā)單元10連接到真空沉積設(shè)備I的真空沉積室20。
[0059]在該配置中(圖1-10和12共用)，外殼11和真空沉積室20相連通并共享相同真空，以當(dāng)真空沉積室20內(nèi)形成真空時(shí)，該真空還位于蒸發(fā)單元10的外殼11內(nèi)。該外殼11中的壓力與真空沉積室20內(nèi)的壓力相等。
[0060]在變化形式中，如圖11所示，可在管狀連接器5和蒸發(fā)單元10的注射管道14之間設(shè)置密封焊縫18，以使蒸發(fā)單元10的外殼11不與真空沉積室20分享相同真空。在該情況下，蒸發(fā)單元10還包括其專用的殼泵19A，用于泵浦外殼11的內(nèi)體積19，以將壓力數(shù)量級(jí)從 ICT2降到 10 ^3Torr0
[0061]如圖2A和2B所示，接下來稱為插口 12的開口開設(shè)于外殼11的下壁IlC中。
[0062]該插口 12具有內(nèi)緣12A，該內(nèi)緣于此處為圓形形狀，其上部向外殼11的內(nèi)部延伸出蒸發(fā)單元10的蒸發(fā)室100。
[0063]蒸發(fā)室100由密封壁界定，該密封壁一方面包括與插口 12同軸的圓柱主體101，另一方面包括使該主體101延續(xù)至蒸發(fā)室100的輸出開孔103的截錐形頸部102。
[0064]蒸發(fā)室100的主體101具有下緣101A，該下緣無中斷地沿插口 12的內(nèi)緣12A的長度延展。下緣1lA被緊密固定在蒸發(fā)單元10的外殼11的下壁IlC上，以使蒸發(fā)單元10的外殼11的內(nèi)體積19不與蒸發(fā)室10的內(nèi)體積104相連通。
[0065]蒸發(fā)室100的輸出開孔103密封地連接到蒸發(fā)單元10的注射管道14，該注射管道于此處在所述輸出開孔103的位置處形成彎折部14A。例如通過焊接實(shí)施該密封連接。
[0066]蒸發(fā)單元10的蒸發(fā)室100用于容置坩禍，如第一坩禍110 (見圖2A)和第二坩禍120 (見圖3)。這些坩禍110、120具有的形狀和尺寸適用于將它們安置在蒸發(fā)室100中。
[0067]以有利的方式，坩禍110、120具有小于I升(L)、優(yōu)選地小于0.5L、例如等于0.33L的小容積。
[0068]它們大體呈現(xiàn)瓶狀并且包括側(cè)向壁111、121，該側(cè)向壁由底部115、125在下方封閉并且向上變窄成頸部112、122以便界定坩禍110、120的噴口 113、123。
[0069]坩禍110、120優(yōu)選地由呈現(xiàn)良好紅外透明性和抗高溫性材料制成為一體件。例如可用諸如熱解氮化硼或PBN的陶瓷材料、或者諸如石英的玻璃型材料形成坩禍110、120。
[0070]這些坩禍110、120旨在被填充待蒸發(fā)材料7，該材料7可呈現(xiàn)液體形式、粉末形式、或甚至錠塊形式。
[0071]在坩禍與蒸發(fā)室接合時(shí)(圖3所示的第一坩禍110的情況，圖8所示的第二坩禍120的情況)，即當(dāng)該坩禍被安置在蒸發(fā)室100的內(nèi)體積104內(nèi)時(shí)，它的側(cè)向壁111、121面對(duì)蒸發(fā)室100的主體101。
[0072]為將與蒸發(fā)室100相接合的坩禍110、120設(shè)置在蒸發(fā)條件下，蒸發(fā)單元還具有布置在接納所述坩禍110、120的蒸發(fā)室100周圍的蒸發(fā)裝置。
[0073]在圖2至12描述的所有示例中，所述蒸發(fā)裝置首先包括電阻131，該電阻圍繞蒸發(fā)室100并且從外殼11的底部IlC基本平行于蒸發(fā)室100的主體101延伸到該蒸發(fā)室的頸部 102。
[0074]這些電阻131被供電且被設(shè)在較高溫度上，以使電阻主要以紅外形式散發(fā)熱量。
[0075]在變化形式中，蒸發(fā)裝置可包括紅外燈，該紅外燈抵靠蒸發(fā)室的主體直接安置在蒸發(fā)室的內(nèi)體積中，以直接照射接合于蒸發(fā)室中的坩禍。
[0076]蒸發(fā)裝置還包括隔熱屏132，該隔熱屏位于外殼11內(nèi)并且插設(shè)在蒸發(fā)室100的主體101和電阻131之間。
[0077]如圖9B所示，該隔熱屏132為“伸縮”式的并且于此處包括圓柱體形且共軸的五個(gè)移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E，它們可彼此嵌接，以便能隨意調(diào)節(jié)隔熱屏132的高度。
[0078]例如，圖2A示出在全部移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E被展開時(shí)的最大高度的隔熱屏132。圖6示出在全部移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E彼此嵌接時(shí)的隔熱屏 132,230ο
[0079]在此，由用相同的材料、例如諸如鋼或鋁的金屬材料制成的圓柱體來形成移動(dòng)構(gòu)件 132A、132B、132C、132D、132E。
[0080]在變化形式中，例如可用石英、玻璃或硅材料的圓柱體構(gòu)成移動(dòng)構(gòu)件，其朝向電阻的外表面涂覆有反射層，反射由電阻發(fā)射的熱輻射，該反射層例如為金屬層，例如銀層、鋁層或金層。
[0081]蒸發(fā)裝置還具有致動(dòng)裝置，以便能使移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E相對(duì)于彼此滑動(dòng)，以調(diào)節(jié)隔熱屏132的高度。
[0082]雖然圖2到12示出的移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E的數(shù)量為五個(gè)并具有相同的高度，但可以考慮這樣的變型，即，蒸發(fā)裝置包括更多或更少的移動(dòng)裝置且這些移動(dòng)裝置呈現(xiàn)不同高度。這是尤其有利的，以使隔熱屏的高度適應(yīng)蒸發(fā)室的高度并或多或少地精確調(diào)整該高度。
[0083]蒸發(fā)裝置最后于此處包括蒸發(fā)室100的圓柱形主體101，該主體具有透明的壁，該壁選擇成傳送由電阻131發(fā)射的紅外福射。
[0084]在外殼11內(nèi)部的加壓環(huán)境中，由于外殼11內(nèi)的真空強(qiáng)烈限制對(duì)流交換，因此主要通過輻射在電阻131和與蒸發(fā)室100相接合的坩禍110、120的主體111、121之間進(jìn)行熱交換。
[0085]該透明壁例如由用石英、玻璃或娃制成的空心圓柱體形成，任選地涂覆有改善透明壁的紅外傳送的涂層。
[0086]布置在電阻131和蒸發(fā)室100的主體101的該透明壁之間的隔熱屏132因此用作鏡面，以使由電阻131輻射的紅外光朝向位于蒸發(fā)室100中的坩禍110、120的主體111、121。
[0087]因此，由于隔熱屏132，覆蓋全部或部分電阻131是可能的，以根據(jù)蒸發(fā)室中的壓力，使容納在坩禍110、120的上部部分114、124中的僅材料部分7承受由電阻發(fā)射的輻射且被加熱到足夠進(jìn)行蒸發(fā)的加熱溫度。
[0088]進(jìn)而，由于使移動(dòng)構(gòu)件132A、132B、132C、132D、132E滑動(dòng)的致動(dòng)裝置，有可能精確地調(diào)節(jié)隔熱屏132的高度，以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)通過坩禍110、120的噴口 113、123的蒸汽流116、126 (見圖4和8) ο
[0089]更具體地，得到蒸發(fā)環(huán)境是可能的，其中的蒸汽流116、126沿被容納在坩禍110、120中的材料7的蒸發(fā)保持基本連續(xù)。這對(duì)在安置于真空沉積室20中的基質(zhì)2上沉積均勻涂層是有益的。
[0090]由于蒸發(fā)裝置131、132、101加熱位于蒸發(fā)室100中的坩禍110、120而生成的材料7的蒸汽流116、126經(jīng)過蒸發(fā)室100的輸出開孔103并接下來沿蒸發(fā)單元10的注射管道14被傳送到注射器13，如前所述，注射器13生成在安置于真空沉積室20中的基質(zhì)2方向上的上游蒸汽流4。
[0091]如圖2到12所示，蒸發(fā)單元10還具有加載室200，該加載室鄰接蒸發(fā)室100并且于此處位于蒸發(fā)單元10的外殼11的下方。
[0092]該加載室200通過密封殼202界定且具有艙門201，該艙門201能夠:
[0093]-處于開啟位置，以使加載室200的內(nèi)體積209與蒸發(fā)單元10的外部相連通，例如與存放真空沉積設(shè)備I的房間相連通，和
[0094]-處于關(guān)閉位置，以隔離蒸發(fā)單元10外部和加載室200的內(nèi)體積209。
[0095]以有利的方式，可在加載室的上游鄰近該加載室設(shè)置處于中性氣氛中的減壓室(隔艙)，例如具有與大氣壓接近的惰性氣體。該減壓室可向旨在被導(dǎo)入加載室中的坩禍填充被自由空氣氧化的材料例如有機(jī)材料。
[0096]至于蒸發(fā)單元10的外殼11，在密封殼202的內(nèi)表面上設(shè)置有加熱構(gòu)件，例如加熱電阻206，用于以基本均勻的方式加熱加載殼的內(nèi)體積209，尤其加熱它所含有的諸如坩禍
110、120的不同構(gòu)件。
[0097]加載室200的密封殼202在其上壁上包括開口，該開口與承載蒸發(fā)室100的插口12相面對(duì)，以在插口 12未被阻塞時(shí)通過該插口 12而使加載室200與蒸發(fā)室100相連通。
[0098]加載室200還具有經(jīng)由泵送通道221接通在密封殼202上的附加泵222，以例如在加載室200已被通過艙門201的開口而放回空氣中時(shí)，將所述加載室200置于真空中。
[0099]在加載室200中，還設(shè)置有坩禍110、120的加載裝置和卸載裝置，此處為循環(huán)輸送裝置和活塞。
[0100]更確切地，加載室200首先在上端部具有被固定在板體212上的活塞212A，該板體212用于容置第一坩禍110和第二坩禍120。
[0101]該活塞212A可豎直平移移動(dòng)，以使板體212可沿活塞212A的軸線在下列位置之間上升和下降:
[0102]-“底部”位置(圖2，6和7的情況)，其中板體212接近密封殼202的下壁，和
[0103]頂部”位置(圖3，4，5，8，10，11和12的情況)，其中板體212位于蒸發(fā)單元10的插口 12處。
[0104]底部位置允許對(duì)板體212加載或卸載坩禍110、120。
[0105]一旦坩禍110、120位于板體212上，該板體可通過活塞212A豎直上升，并因此通過蒸發(fā)單元10的插口 12使坩禍110、120與蒸發(fā)室100接合。
[0106]加載室200還具有循環(huán)輸送裝置211，該循環(huán)輸送裝置211安裝在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)循環(huán)輸送裝置211的旋轉(zhuǎn)軸21IA上。
[0107]循環(huán)輸送裝置211用于接收坩禍110、120，以使它們加載和卸載于板體212。
[0108]循環(huán)輸送裝置211