本申請涉及真空鍍膜設(shè)備，特別是涉及一種真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)以及真空鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜設(shè)備通常包括工件架、上磁導(dǎo)以及傳送輪，其中工件架用于承載和轉(zhuǎn)移工件，傳送輪用于承載和傳送工件架，上磁導(dǎo)位于工件架上方起到輔助工件架運動的作用。

2、例如專利cn204325488u公開了一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，包括上磁導(dǎo)、車體(工件架)以及傳送輪，車體的底部設(shè)有與傳送輪滑動配合的導(dǎo)桿，通過固定在真空腔室頂部的強(qiáng)磁s極吸引小車上端的強(qiáng)磁n極，雖然在一定程度上可以保證小車不會在運行中有很大擺幅和震動，可以達(dá)到較快的運行速度和比較平穩(wěn)的運行效果，但在運行過程中車體的導(dǎo)桿與傳送輪之間仍存在一定的摩擦，容易產(chǎn)生灰塵而污染產(chǎn)品；此外車體一般較大，車體在行進(jìn)過程中容易發(fā)生左右傾倒，影響穩(wěn)定運行。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于現(xiàn)有技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┮环N真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)以及真空鍍膜設(shè)備，以實現(xiàn)平穩(wěn)輸送工件架，同時減少部件之間的相互碰撞。

2、本申請?zhí)峁┑恼婵沾艖腋鲃訖C(jī)構(gòu)，包括：

3、上磁導(dǎo)，設(shè)置有與工件行進(jìn)方向并行布置且極性相反的第一磁性件和第二磁性件；

4、工件架，設(shè)置于所述上磁導(dǎo)的下方，所述工件架具有相背對的頂側(cè)和底側(cè)，所述頂側(cè)設(shè)置有并行布置且極性相反的第三磁性件和第四磁性件，所述第一磁性件與所述第三磁性件對正設(shè)置且相互吸引，以及與所述第四磁性件錯位布置且相互排斥，所述第二磁性件與所述第四磁性件對正設(shè)置且相互吸引，以及與所述第三磁性件錯位布置且相互排斥；

5、驅(qū)動組件，用于驅(qū)使所述工件架沿著所述上磁導(dǎo)運動。

6、以下還提供了若干可選方式，但并不作為對上述總體方案的額外限定，僅僅是進(jìn)一步的增補或優(yōu)選，在沒有技術(shù)或邏輯矛盾的前提下，各可選方式可單獨針對上述總體方案進(jìn)行組合，還可以是多個可選方式之間進(jìn)行組合。

7、可選的，所述第一磁性件與所述第二磁性件之間設(shè)置有第一間隔件，所述第三磁性件與所述第四磁性件之間設(shè)置有第二間隔件。

8、可選的，所述上磁導(dǎo)具有與所述工件架頂側(cè)間隙配合的導(dǎo)向槽，所述第一磁性件與所述第二磁性件設(shè)置于所述導(dǎo)向槽的槽頂。

9、可選的，各磁性件為雙極性磁鐵。

10、可選的，各磁性件沿高度方向具有極性相反的頂部和底部；所述頂部和所述底部對正設(shè)置。

11、可選的，所述工件架的底側(cè)設(shè)置有底座，所述底座帶有沿工件架移動方向延伸的磁板，所述驅(qū)動組件包括與底座滑動配合的承托架以及多個固定在承托架且作用于所述磁板的電磁驅(qū)動器。

12、可選的，所述承托架上設(shè)置有一排水平布置的滾輪，所述底座上設(shè)置有與所述滾輪配合的限位槽。

13、可選的，所述滾輪的輪面為凹面，所述限位槽的上下兩側(cè)均設(shè)置有與滾輪的輪面配合的定位筋。

14、可選的，所述承托架與所述底座之間設(shè)置有極性相反且位置上下布置的第一磁導(dǎo)和第二磁導(dǎo)。

15、本申請還提供一種真空鍍膜設(shè)備，包括任一所述真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請通過在上磁導(dǎo)和工件架的頂部之間設(shè)置相互吸引和相互排斥的磁性件組，不僅能夠使工件架處在懸浮狀態(tài)，而且能夠防止工件架傾倒，有利于提升工件架的運行穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一磁性件與所述第二磁性件之間設(shè)置有第一間隔件，所述第三磁性件與所述第四磁性件之間設(shè)置有第二間隔件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上磁導(dǎo)具有與所述工件架頂側(cè)間隙配合的導(dǎo)向槽，所述第一磁性件與所述第二磁性件設(shè)置于所述導(dǎo)向槽的槽頂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，各磁性件為雙極性磁鐵。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，各磁性件沿高度方向具有極性相反的頂部和底部；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述工件架的底側(cè)設(shè)置有底座，所述底座帶有沿工件架移動方向延伸的磁板，所述驅(qū)動組件包括與底座滑動配合的承托架以及多個固定在承托架且作用于所述磁板的電磁驅(qū)動器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承托架上設(shè)置有一排水平布置的滾輪，所述底座上設(shè)置有與所述滾輪配合的限位槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述滾輪的輪面為凹面，所述限位槽的上下兩側(cè)均設(shè)置有與滾輪的輪面配合的定位筋。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承托架與所述底座之間設(shè)置有極性相反且位置上下布置的第一磁導(dǎo)和第二磁導(dǎo)。

10.真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1～9任一所述真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開一種真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)以及真空鍍膜設(shè)備，真空磁懸浮傳動機(jī)構(gòu)包括上磁導(dǎo)，設(shè)置有與工件行進(jìn)方向并行布置且極性相反的第一磁性件和第二磁性件；工件架，設(shè)置于所述上磁導(dǎo)的下方，所述工件架具有相背對的頂側(cè)和底側(cè)，所述頂側(cè)設(shè)置有并行布置且極性相反的第三磁性件和第四磁性件，所述第一磁性件與所述第三磁性件對正設(shè)置且相互吸引，以及與所述第四磁性件錯位布置且相互排斥，所述第二磁性件與所述第四磁性件對正設(shè)置且相互吸引，以及與所述第三磁性件錯位布置且相互排斥；驅(qū)動組件，用于驅(qū)使所述工件架沿著所述上磁導(dǎo)運動。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本申請能夠提高工件架的運行穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：軒家鑫,婁國明,徐建柱,沈緯徵,鄭博鴻
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽越好電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240415
技術(shù)公布日：2025/1/9