本申請(qǐng)屬于原子層沉積，更具體地說(shuō)，是涉及一種托底板的固定結(jié)構(gòu)及原子層沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、光伏設(shè)備中，目前太陽(yáng)能電池硅片表面鍍膜原子層沉積設(shè)備，承載舟進(jìn)入反應(yīng)腔室主要由托底板送至反應(yīng)腔體。相關(guān)技術(shù)中，反應(yīng)腔體設(shè)置內(nèi)外兩層，對(duì)應(yīng)的設(shè)置了內(nèi)腔門(mén)板和外腔門(mén)板以分別封閉內(nèi)外兩層反應(yīng)腔體。而托底板固定于內(nèi)腔門(mén)板上，爐內(nèi)原子沉積反應(yīng)時(shí)，托底板和承載舟均在反應(yīng)腔室中，承載舟的重量置于托底板，從而使內(nèi)腔門(mén)板上存在較大的下壓力，易導(dǎo)致內(nèi)腔門(mén)板輕微形變，容易出現(xiàn)關(guān)不嚴(yán)實(shí)情況，從而使工藝氣體泄漏至外腔室中，使得工藝受影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種托底板的固定結(jié)構(gòu)，避免內(nèi)腔門(mén)板形變，避免工藝氣體泄漏。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例采用的技術(shù)方案是：提供一種托底板的固定結(jié)構(gòu)，包括：

3、外腔門(mén)板；

4、內(nèi)腔門(mén)板，位于所述外腔門(mén)板的一側(cè)并與所述外腔門(mén)板具有間距，所述內(nèi)腔門(mén)板包括第一通孔；

5、托底板，位于所述內(nèi)腔門(mén)板背離所述外腔門(mén)板的一側(cè)，所述托底板的一端穿過(guò)所述第一通孔并連接所述外腔門(mén)板；以及

6、密封管，套裝在所述托底板與所述外腔門(mén)板連接的一端上，所述密封管的一端與所述外腔門(mén)板連接，另一端罩住所述第一通孔的一端并與所述內(nèi)腔門(mén)板連接固定。

7、進(jìn)一步地，所述托底板包括連接桿和托底主板，所述連接桿包括桿體和固定在所述桿體一端的連接塊，所述連接塊位于所述外腔門(mén)板和所述內(nèi)腔門(mén)板之間并連接于所述外腔門(mén)板，所述桿體穿過(guò)所述第一通孔與所述托底主板連接。

8、進(jìn)一步地，所述桿體靠近所述托底主板的一端設(shè)有與所述托底主板厚度匹配的開(kāi)槽，所述開(kāi)槽沿徑向水平貫穿所述桿體；

9、所述托底主板的一端插入所述開(kāi)槽并固定。

10、進(jìn)一步地，所述桿體設(shè)有所述開(kāi)槽的一端的外周表面上設(shè)有兩相互背離的鎖緊平面，所述鎖緊平面設(shè)有貫穿的連接孔，所述托底主板設(shè)有與所述連接孔對(duì)應(yīng)的穿孔，一連接件穿過(guò)所述通孔和所述穿孔將所述桿體與所述托底主板連接固定，所述連接件的上下端抵緊所述鎖緊平面。

11、進(jìn)一步地，所述托底板還包括設(shè)置在所述托底主板沿長(zhǎng)度方向兩側(cè)的加強(qiáng)筋。

12、進(jìn)一步地，所述托底板的固定結(jié)構(gòu)還包括伸縮機(jī)構(gòu)，所述伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述外腔門(mén)板并連接所述內(nèi)腔門(mén)板，所述伸縮機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述間距，所述密封管為第一波紋管。

13、進(jìn)一步地，所述第一波紋管包括依次連接的第一法蘭、波紋管體和第二法蘭，所述連接塊與所述第一法蘭連接，所述第二法蘭與所述內(nèi)腔門(mén)板連接。

14、進(jìn)一步地，所述外腔門(mén)板還包括第二通孔；

15、所述伸縮機(jī)構(gòu)包括伸縮驅(qū)動(dòng)器和第二波紋管，所述伸縮驅(qū)動(dòng)器固定在所述外腔門(mén)板背離所述內(nèi)腔門(mén)板的一面，所述伸縮驅(qū)動(dòng)器的輸出端穿過(guò)所述第二通孔與所述內(nèi)腔門(mén)板連接，所述第二波紋管套裝在所述輸出端上，所述第二波紋管的一端與所述外腔門(mén)板連接，另一端罩住所述第二通孔的一端并與所述內(nèi)腔門(mén)板連接固定。

16、進(jìn)一步地，所述伸縮機(jī)構(gòu)還包括屏蔽蓋和導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的一端與所述內(nèi)腔門(mén)板連接，另一端延伸穿過(guò)所述外腔門(mén)板，所述外腔門(mén)板對(duì)應(yīng)設(shè)有供所述導(dǎo)向桿穿過(guò)的導(dǎo)向孔，所述屏蔽蓋固定在所述外腔門(mén)板背離所述內(nèi)腔門(mén)板的一側(cè)并罩住所述導(dǎo)向孔，所述屏蔽蓋的深度大于所述導(dǎo)向桿在所述導(dǎo)向孔中滑動(dòng)的行程。

17、本申請(qǐng)實(shí)施例還提供了一種原子層沉積設(shè)備，包括如上所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)。

18、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的托底板的固定結(jié)構(gòu)的有益效果在于：本申請(qǐng)實(shí)施例的托底板的固定結(jié)構(gòu)中，在內(nèi)腔門(mén)板上設(shè)置了第一通孔，托底板的一端穿過(guò)第一通孔連接到外腔門(mén)板上，并且還設(shè)置了密封管，將第一通孔罩住而避免工藝氣體從第一通孔處泄漏，從而將托底板的重量從內(nèi)腔門(mén)板轉(zhuǎn)移到由外腔門(mén)板承受，從而可以避免內(nèi)腔門(mén)板發(fā)生形變而導(dǎo)致的工藝氣體的泄漏。

技術(shù)特征：

1.一種托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托底板包括連接桿和托底主板，所述連接桿包括桿體和固定在所述桿體一端的連接塊，所述連接塊位于所述外腔門(mén)板和所述內(nèi)腔門(mén)板之間并連接于所述外腔門(mén)板，所述桿體穿過(guò)所述第一通孔與所述托底主板連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述桿體靠近所述托底主板的一端設(shè)有與所述托底主板厚度匹配的開(kāi)槽，所述開(kāi)槽沿徑向水平貫穿所述桿體；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述桿體設(shè)有所述開(kāi)槽的一端的外周表面上設(shè)有兩相互背離的鎖緊平面，所述鎖緊平面設(shè)有貫穿的連接孔，所述托底主板設(shè)有與所述連接孔對(duì)應(yīng)的穿孔，一連接件穿過(guò)所述通孔和所述穿孔將所述桿體與所述托底主板連接固定，所述連接件的上下端抵緊所述鎖緊平面。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托底板還包括設(shè)置在所述托底主板沿長(zhǎng)度方向兩側(cè)的加強(qiáng)筋。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托底板的固定結(jié)構(gòu)還包括伸縮機(jī)構(gòu)，所述伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述外腔門(mén)板并連接所述內(nèi)腔門(mén)板，所述伸縮機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述間距，所述密封管為第一波紋管。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一波紋管包括依次連接的第一法蘭、波紋管體和第二法蘭，所述連接塊與所述第一法蘭連接，所述第二法蘭與所述內(nèi)腔門(mén)板連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外腔門(mén)板還包括第二通孔；

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述伸縮機(jī)構(gòu)還包括屏蔽蓋和導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿的一端與所述內(nèi)腔門(mén)板連接，另一端延伸穿過(guò)所述外腔門(mén)板，所述外腔門(mén)板對(duì)應(yīng)設(shè)有供所述導(dǎo)向桿穿過(guò)的導(dǎo)向孔，所述屏蔽蓋固定在所述外腔門(mén)板背離所述內(nèi)腔門(mén)板的一側(cè)并罩住所述導(dǎo)向孔，所述屏蔽蓋的深度大于所述導(dǎo)向桿在所述導(dǎo)向孔中滑動(dòng)的行程。

10.一種原子層沉積設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的托底板的固定結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N托底板的固定結(jié)構(gòu)及原子層沉積設(shè)備，托底板的固定結(jié)構(gòu)，包括：外腔門(mén)板；內(nèi)腔門(mén)板，位于外腔門(mén)板的一側(cè)并與外腔門(mén)板具有間距，內(nèi)腔門(mén)板包括第一通孔；托底板，位于內(nèi)腔門(mén)板背離外腔門(mén)板的一側(cè)，托底板的一端穿過(guò)第一通孔并連接外腔門(mén)板；以及密封管，套裝在托底板與外腔門(mén)板連接的一端上，密封管的一端與外腔門(mén)板連接，另一端罩住第一通孔的一端并與內(nèi)腔門(mén)板連接固定。本申請(qǐng)實(shí)施例的托底板的固定結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⑼械装宓闹亓哭D(zhuǎn)移到外腔門(mén)板上，避免內(nèi)腔門(mén)板形變，避免工藝氣體泄漏。

技術(shù)研發(fā)人員：黃政,孫家興,劉勁麟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231221
技術(shù)公布日：2025/1/9