1.一種帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括轉(zhuǎn)筒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、定軸、繞定軸轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)筒、罩體以及可固定在鍍膜機(jī)頂部的環(huán)形底盤，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪，所述罩體固定在底盤上，其特征在于：所述轉(zhuǎn)筒和定軸穿過環(huán)形底盤伸入鍍膜機(jī)的真空鍍膜腔，所述定軸的上端部固定在罩體的頂部，所述轉(zhuǎn)筒的外周面上固定設(shè)置一個(gè)減速齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪由外部電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)齒輪與減速齒輪嚙合從而驅(qū)動(dòng)減速齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動(dòng)，所述環(huán)形底盤上方設(shè)置一個(gè)軸向支撐轉(zhuǎn)筒的推力球軸承，所述罩體的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)筒外周面之間還設(shè)置防止轉(zhuǎn)筒徑向偏移的球軸承，轉(zhuǎn)筒下端固定設(shè)置一個(gè)傳動(dòng)齒輪和一個(gè)旋轉(zhuǎn)板，旋轉(zhuǎn)板設(shè)置多個(gè)膜片行星盤機(jī)構(gòu)，所述行星盤機(jī)構(gòu)包括自轉(zhuǎn)軸以及對(duì)自轉(zhuǎn)軸進(jìn)行徑向和軸向支撐的支撐部件，支撐部件安裝在旋轉(zhuǎn)板上，所述自轉(zhuǎn)軸上端固定設(shè)有與自轉(zhuǎn)軸同軸心的從動(dòng)齒輪，從動(dòng)齒輪可與傳動(dòng)齒輪嚙合帶動(dòng)自轉(zhuǎn)軸的自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸的下端設(shè)置錐形主動(dòng)齒輪，旋轉(zhuǎn)板下端與支撐部件對(duì)應(yīng)位置固定設(shè)置一個(gè)連接上座，連接上座上固定設(shè)置一個(gè)與自轉(zhuǎn)軸垂直的橫軸，橫軸上同軸心設(shè)置有與錐形主動(dòng)齒輪嚙合的錐形傳動(dòng)齒輪，連接上座連接一個(gè)連接下座，連接下座可繞橫軸相對(duì)連接上座轉(zhuǎn)動(dòng)，連接下座上設(shè)置與橫軸垂直的從動(dòng)軸以及支撐從動(dòng)軸的支撐部件，從動(dòng)軸的上端設(shè)置與錘形傳動(dòng)齒輪相配合的錘形從動(dòng)齒輪，錘形從動(dòng)齒輪帶動(dòng)從動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)軸的下端用于安裝工件架裝載基片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述推力球軸承包括座圈、軸圈和鋼球保持架組成，軸圈與減速齒輪或者轉(zhuǎn)筒固定，座圈固定在環(huán)形底盤上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述罩體靠近環(huán)形底盤的端部與推力球軸承對(duì)應(yīng)位置設(shè)置環(huán)形空腔用于注入冷卻水，罩體在環(huán)形空腔處設(shè)置注水孔和出水孔用于水循環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述球軸承設(shè)置在罩體頂部，罩體頂部設(shè)置冷卻水循環(huán)網(wǎng)路用于給球軸承降溫。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括一個(gè)磁流體密封裝置，磁流體密封裝置一端連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，另一端伸入鍍膜機(jī)真空腔連接驅(qū)動(dòng)齒輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述定軸為中部結(jié)構(gòu)，設(shè)置貫穿定軸的用于測(cè)量基片鍍膜厚度的晶控探頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤(rùn)滑脂。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述上連接座上設(shè)置弧形槽，連接下座設(shè)置處于同一條弧線上且與弧形槽相配的螺孔，弧形槽的圓心位置橫軸上，弧形槽中設(shè)置鎖緊螺釘將上連接座和下連接座固定。