本發(fā)明涉及拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于拋光設(shè)備中的供液裝置。

背景技術(shù)：

目前，在拋光設(shè)備在進(jìn)行拋光工藝操作時(shí)，可通過該拋光設(shè)備中的供液裝置對(duì)拋光盤進(jìn)行供液，以使拋光液通過供液裝置滴落在拋光盤上。相關(guān)技術(shù)中，該供液裝置通常是采用固定在某一點(diǎn)，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)供液管路以調(diào)節(jié)供液位置。例如，如圖1所示，該供液裝置100固定某一點(diǎn)，該固定點(diǎn)與拋光盤200具有一定的距離，其中，供液裝置100通過軸承300進(jìn)行左右旋轉(zhuǎn)移動(dòng)來調(diào)節(jié)對(duì)拋光盤200的供液位置。然而，通過這種軸承方式來移動(dòng)供液裝置以實(shí)現(xiàn)供液位置的調(diào)節(jié)，由于只能對(duì)供液裝置進(jìn)行左右方向的移動(dòng)，導(dǎo)致供液裝置的可調(diào)范圍有限。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的旨在至少在一定程度上解決上述的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種用于拋光設(shè)備中的供液裝置。該供液裝置可以擴(kuò)大供液位置的可調(diào)節(jié)范圍。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明一方面實(shí)施例提出的用于拋光設(shè)備中的供液裝置，包括：供液管路，用于在所述拋光設(shè)備進(jìn)行拋光操作時(shí)，為所述拋光設(shè)備的拋光盤進(jìn)行供液；第一支撐部，所述第一支撐部的一端指向所述拋光盤方向，所述第一支撐部用于支撐所述供液管路；第二支撐部，所述第二支撐部的一端與所述第一支撐部的另一端相連，所述第二支撐部具有可移動(dòng)組件，所述第二支撐部通過所述可移動(dòng)組件在所述拋光設(shè)備中的擋板上可移動(dòng)。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置，通過在擋板上設(shè)有第二支撐部，該第二支撐部通過可移動(dòng)組件在該擋板上可移動(dòng)，并通過第一支撐部支撐供液管路，使得供液管路伸向拋光盤，其中，第二支撐部與第一支撐部相連，這樣，第二支撐部通過可移動(dòng)組件在擋板上進(jìn)行移動(dòng)，可以帶動(dòng)第一支撐部沿著擋板進(jìn)行移動(dòng)，從而可以帶動(dòng)供液管路沿著擋板進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而使得拋光液落點(diǎn)可以調(diào)節(jié)到拋光盤的任意位置，擴(kuò)大了供液位置的可調(diào)節(jié)范圍。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述供液裝置還包括：伸縮架；其中，所述伸縮架包括：第一結(jié)構(gòu)，所述第一結(jié)構(gòu)與所述第一支撐部的形狀一致，所述第一結(jié)構(gòu)用于固定所述供液管路；第二結(jié)構(gòu)，所述第二結(jié)構(gòu)與所述第一結(jié)構(gòu)一體成型為t型，其中，所述第二結(jié)構(gòu)開腰形槽，且所述第二結(jié)構(gòu)通過調(diào)整螺絲與所述第一支撐部相連，并通過所述調(diào)整螺絲對(duì)所述第一結(jié)構(gòu)與所述第一支撐部之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述供液裝置還包括：第一固定裝置，所述第一固定裝置設(shè)置于第一支撐部之上，所述第一固定裝置用于將經(jīng)過所述第一支撐部上的供液管路進(jìn)行固定；第二固定裝置，所述第二固定裝置設(shè)置于所述第一結(jié)構(gòu)之上，所述第二固定裝置用于將經(jīng)過所述第一結(jié)構(gòu)上的供液管路進(jìn)行固定。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一支撐部開至少一個(gè)條形半圓槽，所述至少一個(gè)條形半圓槽用于將所述經(jīng)過所述第一支撐部上的供液管路鑲嵌在內(nèi)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一支撐部與所述第二支撐部垂直。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一支撐部與所述第二支撐部一體成型。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第二支撐部進(jìn)行弧形處理，并開深槽；其中，所述可移動(dòng)組件為所述深槽，以使所述第二支撐部通過所述深槽架在所述擋板上。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第二支撐部的外側(cè)設(shè)有螺紋孔，通過螺絲穿過所述螺紋孔以將所述第二支撐部固定在所述擋板上。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述擋板的外壁設(shè)有第一磁鐵部，其中，所述可移動(dòng)組件為第二磁鐵部，所述第一磁鐵部與所述第二磁鐵部相互吸引以使所述第二支撐部固定在所述擋板上。

本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中用于拋光設(shè)備中的供液裝置的示例圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的第一支撐部與第二支撐部連接的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的伸縮架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的第二結(jié)構(gòu)與第一支撐部之間的連接關(guān)系的示意圖；

圖7是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的第一固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：

100：供液裝置；200、11：拋光盤；300：軸承；10：供液管路；20：第一支撐部；30：第二支撐部；12：擋板；31：螺紋孔；40：伸縮架；41：第一結(jié)構(gòu)；42：第二結(jié)構(gòu)；43：調(diào)整螺絲；50：第一固定裝置；60：第二固定裝置；32：第二磁鐵部。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

下面參考附圖描述本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，該用于拋光設(shè)備中的供液裝置可以包括：供液管路10、第一支撐部20和第二支撐部30。其中，如圖2所示，第一支撐部20的一端指向拋光盤11方向，第一支撐部20可用于支撐供液管路10；第二支撐部30的一端與第一支撐部20的另一端相連，第二支撐部30可具有可移動(dòng)組件，第二支撐部30可通過該可移動(dòng)組件在拋光設(shè)備中的擋板12上可移動(dòng)。

具體地，供液管路10可用于在拋光設(shè)備進(jìn)行拋光操作時(shí)，為拋光設(shè)備的拋光盤11進(jìn)行供液。第一支撐部20可支撐供液管路10，第一支撐部20的另一端與第二支撐部30的一端相連，第二支撐部30通過可移動(dòng)組件在擋板12上進(jìn)行移動(dòng)，這樣，第二支撐部30在可移動(dòng)組件與擋板12的配合下，可帶動(dòng)第一支撐部20的移動(dòng)，從而可以使得供液管路10圍繞擋板12進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)供液管路10對(duì)拋光盤的供液，由此，通過第一支撐部和第二支撐部將供液管路支撐在拋光盤上方，并通過第二支撐部與擋板的配合來使得供液管路可以圍繞擋板進(jìn)行移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光盤的大范圍供液。

為了方便第一支撐部對(duì)供液管路的支撐，優(yōu)選地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，該第一支撐部可開至少一個(gè)條形半圓槽，至少一個(gè)條形半圓槽可用于將經(jīng)過第一支撐部上的供液管路鑲嵌在內(nèi)。其中，該條形半圓槽的數(shù)量可由實(shí)際應(yīng)用中供液管路的個(gè)數(shù)來決定。例如，如圖3所示，以兩條半圓槽為例，該第一支撐部20開兩條半圓槽，通過該半圓槽可將供液管路10鑲嵌在內(nèi)，以方便第一支撐部對(duì)供液管路的支撐。

為了更好地實(shí)現(xiàn)第一支撐部對(duì)供液管路的支撐，優(yōu)選地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，該第一支撐部20與第二支撐部30垂直。其中，第一支撐部20與第二支撐部30一體成型。此外，第一支撐部20的長(zhǎng)度可以大于第二支撐部30的長(zhǎng)度，也還可以等于第二支撐部30的長(zhǎng)度，具體情況可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用來確定，在此不作具體限定。

舉例而言，在本實(shí)施例中，該第一支撐部20與第二支撐部30可一體成型為l型支架，其中該l型支架的長(zhǎng)邊即為第一支撐部20，該l型支架的短邊即為第二支撐部30。

需要說明的是，上述給出的將第一支撐部20與第二支撐部30設(shè)置為一體成型的示例為一種優(yōu)選方案，而第一支撐部20與第二支撐部30還可以是兩個(gè)個(gè)體，即通過螺紋聯(lián)接、鍵聯(lián)接、花鍵聯(lián)接、成形聯(lián)接、銷聯(lián)接、鉚接、焊接、粘接等中的任意一種連接方式，將第一支撐部20與第二支撐部30組裝在一起。

可以理解，由于第二支撐部30與擋板12的連接方式的不同，所以會(huì)使得第二支撐部30與擋板12的工藝結(jié)構(gòu)也會(huì)不同，例如，第二支撐部30可通過深槽與擋板12的配合，以實(shí)現(xiàn)第二支撐部30與擋板12的連接；又如，利用磁吸原理，實(shí)現(xiàn)第二支撐部30與擋板12的連接，具體實(shí)現(xiàn)方式可參見下面兩種示例的描述：

作為一種示例，如圖3所示，第二支撐部30進(jìn)行弧形處理，并開深槽。其中，在本示例中，該可移動(dòng)組件可以是該深槽，以使第二支撐部30通過該深槽架在擋板12上。其中，第二支撐部30的外側(cè)設(shè)有螺紋孔31，通過螺絲穿過螺紋孔31以將第二支撐部30固定在擋板12上。

也就是說，第二支撐部30可做弧形處理，并開深槽，使第二支撐部30能夠與擋板12配合，以使第二支撐部30可以固定在擋板12的任意位置上。并且，通過將第二支撐部30的外側(cè)設(shè)有螺紋孔31，這樣，可用螺絲將第二支撐部30固定在擋板12上。其中，在本示例中，擋板12的外壁開槽，這樣，通過第二支撐部30的深槽與擋板12外壁上的槽之間的配合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)第二支撐部30的固定。

作為另一種示例，如圖4所示，該擋板12的外壁設(shè)有第一磁鐵部，其中，可移動(dòng)組件可以是第二磁鐵部32，第一磁鐵部與第二磁鐵部32相互吸引以使第二支撐部30固定在擋板上。例如，擋板12的外壁與第二支撐部30的外壁可分別具有磁鐵部(如磁鐵)，這樣，可通過擋板12外壁的磁鐵部與第二支撐部30外壁的磁鐵部之間的相互吸引，使得第二支撐部30能夠固定在擋板12上?？梢岳斫猓捎趽醢?2外壁設(shè)有第一磁鐵部，這樣，可以通過移動(dòng)第二支撐部30，即可帶動(dòng)對(duì)供液管路的移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)供液位置的調(diào)節(jié)。

其中，在本示例中，第二磁鐵部32的形狀不限于圓形，還可以是其他形狀，如長(zhǎng)方形等，在此不作具體限定。還可以理解，在此實(shí)施例中擋板無需開槽，通過磁鐵部之間的相互吸引即可實(shí)現(xiàn)將第二支撐部固定在擋板上的目的。

需要說明的是，上述兩種示例僅是為了方便本領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的理解，并不能作為對(duì)本發(fā)明的具體限定。

為了進(jìn)一步擴(kuò)大對(duì)拋光盤進(jìn)行供液的位置，擴(kuò)大供液位置的可調(diào)節(jié)范圍，進(jìn)一步地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，該供液裝置還可包括：伸縮架。如圖2所示，該伸縮架可包括：第一結(jié)構(gòu)41和第二結(jié)構(gòu)42。如圖5所示，為伸縮架40的結(jié)構(gòu)示意圖，該第一結(jié)構(gòu)41與第二結(jié)構(gòu)42可一體成型為t型，其中，該第一結(jié)構(gòu)41與第一支撐部20的形狀一致，用于固定供液管路，第二結(jié)構(gòu)42開腰形槽。

如圖6所示，為第二結(jié)構(gòu)42與第一支撐部20之間的連接關(guān)系的示意圖。其中，第一結(jié)構(gòu)41與第一支撐部20的形狀一致，第一結(jié)構(gòu)41用于固定供液管路；第二結(jié)構(gòu)42與第一結(jié)構(gòu)41一體成型為t型，其中，第二結(jié)構(gòu)42開腰形槽，且第二結(jié)構(gòu)42通過調(diào)整螺絲43與第一支撐部20相連，并通過調(diào)整螺絲43對(duì)第一結(jié)構(gòu)41與第一支撐部20之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)。優(yōu)選地，該第二結(jié)構(gòu)42的厚度可小于第一結(jié)構(gòu)41的厚度，這樣，可以使得第二結(jié)構(gòu)42通過調(diào)整螺絲43連接在第一支撐部20上時(shí)，第二結(jié)構(gòu)42上的供液管路不會(huì)太高于第一支撐部20上的供液管路，以使得供液管路基本保持在同一水平面上。

這樣，在調(diào)整螺絲43被松開后，可拉動(dòng)伸縮架40，實(shí)現(xiàn)伸縮架的可伸縮，從而可以實(shí)現(xiàn)供液管路在拋光盤上的供液位置的調(diào)整，調(diào)整螺絲43擰緊后可起到緊固作用，以固定伸縮架40。

為了避免第一支撐部以及第一結(jié)構(gòu)上供液管路的脫落，進(jìn)一步地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖2所示，該供液裝置還可包括：第一固定裝置50和第二固定裝置60。其中，第一固定裝置50設(shè)置于第一支撐部20之上，第一固定裝置50可用于將經(jīng)過第一支撐部20上的供液管路10進(jìn)行固定；第二固定裝置60設(shè)置于第一結(jié)構(gòu)41之上，第二固定裝置60可用于將經(jīng)過第一結(jié)構(gòu)41上的供液管路10進(jìn)行固定。

可以理解，在本發(fā)明的實(shí)施例中，該第一固定裝置50與第二固定裝置60的結(jié)構(gòu)可相同，例如，該第一固定裝置50的形狀可為如圖7所示，即可具有兩個(gè)半圓槽，這樣，第一固定裝置50通過該半圓槽與第一支撐部20的半圓槽的配合下，固定供液管路。此外，該第一固定裝置50還可具有兩個(gè)螺紋孔，該兩個(gè)螺紋孔分別位于半圓槽的兩側(cè)，這樣，第一固定裝置50可以以螺絲對(duì)第一支撐部20上的供液管路進(jìn)行加固。還可以理解，該第一固定裝置50與第二固定裝置60的結(jié)構(gòu)也可以不相同，具體情況可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用來確定，本發(fā)明對(duì)此不作具體限定。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于拋光設(shè)備中的供液裝置，通過在擋板上設(shè)有第二支撐部，該第二支撐部通過可移動(dòng)組件在該擋板上可移動(dòng)，并通過第一支撐部支撐供液管路，使得供液管路伸向拋光盤，其中，第二支撐部與第一支撐部相連，這樣，第二支撐部通過可移動(dòng)組件在擋板上進(jìn)行移動(dòng)，可以帶動(dòng)第一支撐部沿著擋板進(jìn)行移動(dòng)，從而可以帶動(dòng)供液管路沿著擋板進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而使得拋光液落點(diǎn)可以調(diào)節(jié)到拋光盤的任意位置，擴(kuò)大了供液位置的可調(diào)節(jié)范圍。

為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例，本發(fā)明還提出了一種拋光設(shè)備，該拋光設(shè)備可包括：上述任一個(gè)實(shí)施例所述的供液裝置。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。