本發(fā)明屬于高分子材料及其制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種TFT減薄拋光用吸附墊。
背景技術(shù)：
液晶TFT顯示屏目前主要采用化學(xué)薄化的辦法，其工作流程包括化學(xué)薄化、水洗機(jī)清潔、拋光研磨、研磨后清洗、水洗機(jī)清洗等步驟。隨著技術(shù)的發(fā)展，超大超薄TFT玻璃的研磨將成為主流，而研磨上下片就成為難題。
TFT顯示屏在進(jìn)行研磨之前，需要將TFT顯示屏放置在研磨機(jī)臺(tái)的吸附墊表面上，并將TFT顯示屏放入置研磨裝置內(nèi)，并對(duì)TFT顯示屏進(jìn)行研磨；現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)的吸附墊可以實(shí)現(xiàn)對(duì)TFT顯示屏的研磨，但是現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)的吸附墊，其吸附性較差，TFT顯示屏在進(jìn)行研磨時(shí)，吸附墊容易脫落，使用壽命比較短，不利于吸附墊的長(zhǎng)期使用；TFT顯示屏在進(jìn)行研磨時(shí)，需要將TFT顯示屏放置在水中進(jìn)行研磨，因此，吸附墊需要一定的防水性，現(xiàn)有技術(shù)中生產(chǎn)的吸附墊，防水性能比較差，不利于研磨墊的長(zhǎng)期使用。
聚氨酯作為一種優(yōu)異物理力學(xué)性能的聚合物材料，具有良好的柔韌性、耐寒性、耐水性、耐有機(jī)溶劑等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用最為廣泛的一類高分子材料。近年也已作為電子顯示屏精拋材料用于平板等電子產(chǎn)品顯示屏玻璃拋光處理過程中，但采用普通聚氨酯材料制作的顯示屏玻璃研磨吸附墊，因需要使用大量小分子表面活性才能形成多孔膜，使得本身極性較強(qiáng)的聚氨酯多孔膜容易吸入拋光液和水，嚴(yán)重影響吸附墊的使用壽命，同時(shí)拋光液也容易粘附在拋光的玻璃邊緣難于清洗，吸附墊表面的不平整性易導(dǎo)致產(chǎn)品加工過程中有質(zhì)量缺陷。
氟原子具有強(qiáng)的誘導(dǎo)效應(yīng)和體積排斥效應(yīng)，將它引入聚合物分子結(jié)構(gòu)中，聚合物展現(xiàn)了獨(dú)特的低表面自由能，低摩擦系數(shù)、低介電常數(shù)和低功耗，低吸水率，潤(rùn)滑性，熱穩(wěn)定性，突出的憎水憎油和抗粘附特性。含氟聚氨酯是一類具有特殊功能的高分子材料，將含氟基團(tuán)引入聚氨酯結(jié)構(gòu)中, 既保留了聚氨酯優(yōu)異的機(jī)械性能和微相分離特征, 又在很大程度上改善了聚氨酯的表面性能和整體性能。另外，丙烯酰雙季銨鹽具有較長(zhǎng)的疏水鏈和高表面活性，且在一定溫度下可聚合成高分子表面活性劑，使其具有極高的表面活性，且水溶性低。
鑒于現(xiàn)有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，如何生產(chǎn)出一種具有優(yōu)異的表面性能、耐熱及耐化學(xué)品性、低吸水性、自清潔性的吸附墊成為眾多廠家所要解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供了一種TFT減薄拋光用吸附墊，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層、第一發(fā)泡層、第二發(fā)泡層、第三隔離層以及第四發(fā)泡層，所述表面吸附層為致密層；所述第一發(fā)泡層以及第二發(fā)泡層均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層的水滴形孔大于第一發(fā)泡層的水滴形孔。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述第四發(fā)泡層為平均孔徑在200-400μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層為孔徑2-20μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝的步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱10-15秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓20-40秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉15-20份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷3-9份、有機(jī)硅膠樹脂30-55份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌10-15分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠4-7份加熱至118-120℃后加入至混合物中，并在60-105℃下進(jìn)行反應(yīng)4-9分鐘；
（2）將交聯(lián)劑6-8份、成膜助劑11-17份、耐高溫填充劑6-13份、阻燃劑4-8份、抗氧劑2-6份在65-70℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在85-97℃下進(jìn)行反應(yīng)20-30分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在90-100℃下進(jìn)行烘干1-3分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在90-105℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50-53℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置6-8小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦4-6份、二氧化硅2-5份、硼酸鋅1-4份進(jìn)行混合后，加入甘油5-8份、乙醇15-20份進(jìn)行攪拌，并在95-120℃下進(jìn)行攪拌14-20分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置30-45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置12-18分鐘后，將膜取出并靜置45-60分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干8-10分鐘；
（9）將二氧化硅1-5份、甲基乙烯基硅橡膠4-6份、硅酸鈉2-3份、熱穩(wěn)定劑3-7份進(jìn)行混合后，加入去離子水30-45份、粘合劑1-2份后攪拌22-27分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散4-7分鐘后，向混合物中加入乙醇5-9份，并將混合物在30-35℃下進(jìn)行陳化2-4小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至50-60℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至110-125℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置40-60分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干30-40分鐘，即可得到PET膜。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為55-65℃。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟2）中加熱裝置的溫度為100-115℃。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟2）中熱壓壓力為0.3-0.5Mpa。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將0.8-18%含氟聚氨酯和0-9.2%熱塑性聚氨酯溶解在有機(jī)溶劑中，配制成20%的聚氨酯溶液，隨后加入0.02-0.06%的丙烯酰雙季銨鹽、0.24-2.0%炭黑，再次加入有機(jī)溶劑，并將有機(jī)溶劑含量補(bǔ)充至含氟聚氨酯樹脂組合物的80-92%；隨后加入0.05-0.08%的親水表面活性劑、0.0005-0.001%的自由基引發(fā)劑以及0.012-0.03%的流平劑的溶液，并在50-60℃下研磨1-2小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為8-20%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為500-2000厘泊；
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，在含有機(jī)溶劑和水的凝固浴中凝固，得到內(nèi)部形成多層孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，經(jīng)洗凈、干燥后，得到含氟聚氨酯多孔膜。
作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為10-15%。
所述含氟聚氨酯為含氟聚酯聚氨酯、含氟聚醚聚氨酯、含氟聚碳酸酯聚氨酯中的任意一種或以上的組合，通過在聚氨酯的末端和/或側(cè)鏈引入氟碳鏈段，從而使聚氨酯成為含氟聚氨酯，所述含氟聚氨酯中氟的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為1-10%，所述含氟聚氨酯具有30 ,000-80 ,000的數(shù)均分子量，硬度為85-95邵A，含氟聚氨酯可按照專利CN03117652.6所公開的方法制備，但不局限于以上方法制備含氟聚氨酯彈性體。
本發(fā)明提供的含氟聚氨酯多孔膜，它由含氟聚氨酯樹脂組合物通過凝膠相轉(zhuǎn)化法成膜成型制備，凝膠相轉(zhuǎn)化法是將高分子溶液浸入非溶劑浴中，高分子聚合物在界面快速析出，形成極薄的致密層，而在致密層的下面形成多孔層。針對(duì)本發(fā)明也就是含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，在含有機(jī)溶劑和水的凝固浴中凝固，利用樹脂組合物中所含有的溶劑向凝固浴中的擴(kuò)散以及不良溶劑水向樹脂中的浸入，從而可得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，經(jīng)洗凈、干燥后，得到含氟聚氨酯多孔膜，并由此可提供可呈現(xiàn)優(yōu)異的壓縮率和高壓縮恢復(fù)率的玻璃研磨吸附墊，具有優(yōu)異的阻尼防滑性能。
在本發(fā)明的含氟聚氨酯樹脂組合物凝固過程中，高表面活性的聚丙烯酰雙季銨鹽高分子表面活性劑使不良溶劑水向樹脂中快速浸入，使樹脂快速凝固，同時(shí)含氟聚氨酯的存在調(diào)節(jié)了組合物的親疏水平衡，迅速穩(wěn)定了孔膜結(jié)構(gòu)，抑制了從底部向上形成跨整個(gè)多孔膜的通孔結(jié)構(gòu)的產(chǎn)生，在底層第四發(fā)泡層形成了較大的橢圓形孔結(jié)構(gòu)，在第二發(fā)泡層和第四發(fā)泡層之間形成了一層隔離層，能有效地減緩下層大孔吸收的水分向上層的快速滲透，這樣的結(jié)構(gòu)可以避免通孔結(jié)構(gòu)造成的吸水率高，減少最終產(chǎn)品產(chǎn)生滑片現(xiàn)象。同時(shí)含氟聚氨酯能有效改善聚氨酯多孔膜的表面性能，成膜后非常易于脫膜，且使多孔膜的表面更為平整。更重要的是其能有效提高聚氨酯多孔膜吸附墊的防水性能，其強(qiáng)疏水性能夠防止拋光液吸入多孔膜、從而有效提高吸附墊的使用壽命。
由于采用了以上技術(shù)，本發(fā)明較現(xiàn)有技術(shù)相比，具有的有益效果如下：
1、由本發(fā)明提供的TFT減薄拋光用吸附墊具有較強(qiáng)的疏水性，能夠減緩拋光液的滲透，能很好地將拋光盤摩擦產(chǎn)生的熱量散去，使研磨吸附墊的使用壽命達(dá)到220-240小時(shí)，比使用先前已知的聚氨酯樹脂組合物制備的TFT減薄拋光用吸附墊使用壽命延長(zhǎng)了25-35小時(shí)；
2、由本發(fā)明提供的TFT減薄拋光用吸附墊中設(shè)有含氟聚氨酯多孔膜，生成的含氟聚氨酯多孔膜可以減少表面活性劑的使用量，并有效改善含氟聚氨酯多孔膜的表面性能，成膜后非常易于脫膜，且使多孔膜的表面更為平整；
3、由本發(fā)明提供的TFT減薄拋光用吸附墊能有效提高吸附墊的防水性能，其強(qiáng)疏水性能夠減緩拋光液吸入多孔膜、從而有效提高吸附墊的使用壽命；
4、由本發(fā)明提供的TFT減薄拋光用吸附墊具有較強(qiáng)的吸附力，可以使TFT減薄拋光用吸附墊更好的固定在支撐基材上，可以使TFT減薄拋光用吸附墊更好的用于玻璃、金屬的拋光；
5、本發(fā)明提供的含氟聚氨酯多孔膜采用丙烯酰雙季銨鹽表面活性劑，此丙烯酰雙季銨鹽在一定溫度下可聚合成高分子表面活性劑，生成的聚丙烯酰雙季銨鹽高分子表面活性劑具有較長(zhǎng)的疏水鏈，極高的表面活性，又具有較低的水溶性，既可以減少表面活性劑的用量，又能保證孔泡的正常形成；
6、本發(fā)明將含氟聚氨酯材料和聚丙烯酰雙季銨鹽制備平板等電子產(chǎn)品顯示屏玻璃在減薄處理過程中使用的吸附墊，使得產(chǎn)品生產(chǎn)工藝中最重要的凝固成膜工序能將關(guān)鍵功能組份固定在聚合物鏈中，使得產(chǎn)品呈現(xiàn)多層發(fā)泡結(jié)構(gòu)，吸附性更好，成膜后非常易于脫膜，更重要的是其疏水性強(qiáng)能夠防止拋光液吸入多孔膜、從而有效改善使用壽命短和污染被拋光的玻璃等問題，具有更加優(yōu)異的阻尼防滑性能，能保護(hù)吸附鏡面免遭擦痕、劃傷，且耐磨性好、防滑性好、抗老化、使用壽命長(zhǎng)；
7、本發(fā)明中生產(chǎn)的PET膜，通過將硅酸鈉、乙烯基三異丙烯氧基硅烷、有機(jī)硅膠樹脂、甲基乙烯基硅橡膠進(jìn)行反應(yīng)，并經(jīng)過離心裝置進(jìn)行離心、烘干后，加入將交聯(lián)劑、成膜助劑、耐高溫填充劑、阻燃劑、抗氧劑進(jìn)行離心攪拌，即可生成具有高阻燃性、耐高溫的混合物，將生成的混合物制成膜，即可得到具有高阻燃性、耐高溫、高抗氧化性的PET膜；將納米二氧化鈦、二氧化硅、硼酸鋅、甘油、乙醇進(jìn)行攪拌、過濾后，將過濾物中加入乙醇、丙酮，并使過濾物中的納米二氧化鈦、二氧化硅、硼酸鋅充分溶解至乙醇、丙酮中，并對(duì)混合物進(jìn)行通電，即可生成具有高活性的混合物；將膜進(jìn)行電暈后，并放入至具有高活性的混合物中進(jìn)行靜置，電暈后的膜上的硅酸鈉、乙烯基三異丙烯氧基硅烷、有機(jī)硅膠樹脂、甲基乙烯基硅橡膠與電解后的高活性混合物中的納米二氧化鈦、二氧化硅、硼酸鋅進(jìn)行反應(yīng)，加快了混合物中物質(zhì)的電解速度，有效加快了反應(yīng)速度，并生成具有高阻燃性、耐高溫、高耐磨性的膜；將二氧化硅、甲基乙烯基硅橡膠、硅酸鈉、熱穩(wěn)定劑、去離子水、粘合劑進(jìn)行混合后超聲分散后，向混合物中加入乙醇，并進(jìn)行陳化，再將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，即可得到具有高耐磨性、高穩(wěn)定性的溶液，將生成的溶液通入至高壓噴射裝置中，溶液中的二氧化硅、甲基乙烯基硅橡膠、硅酸鈉、粘合劑與熱壓后膜表面的納米二氧化鈦、硼酸鋅、硅酸鈉、乙烯基三異丙烯氧基硅烷、有機(jī)硅膠樹脂、甲基乙烯基硅橡膠進(jìn)行混合反應(yīng)，即可生成具有高阻燃性、耐高溫、高耐磨性、高抗氧化性、高粘合性的PET膜，生成的PET膜可以快速的與含氟聚氨酯多孔膜進(jìn)行粘合，可以有效增加TFT減薄拋光用吸附墊的高阻燃性、耐高溫、高耐磨性、高疏水性、高抗氧化性。
附圖說(shuō)明
圖1是含氟聚氨酯多孔膜的截面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中：1、表面吸附層，2、第一發(fā)泡層，3、第二發(fā)泡層，4、第三隔離層，5、第四發(fā)泡層。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡明本發(fā)明。
實(shí)施例中用到的含氟聚氨酯按照專利CN03117652.6所公開的方法制備，包括含氟聚酯聚氨酯95A、含氟聚醚聚氨酯85A、含氟聚碳酸酯聚氨酯90A和含氟聚醚聚氨酯90A。
實(shí)施例中用到的熱塑性聚氨酯市場(chǎng)購(gòu)得，包括聚醚聚氨酯85A和聚醚聚氨酯90A。
實(shí)施例中用到的熱塑性聚氨酯按通常熱塑性聚氨酯預(yù)聚方法制備，包括聚碳酸酯聚氨酯90A和聚酯聚氨酯95A。
實(shí)施例中用到的丙烯酰雙季銨鹽按照專利CN200810045996.2所公開的方法制備。
炭黑由市場(chǎng)購(gòu)得，粒徑約在100nm。
其他添加劑選用市場(chǎng)常用產(chǎn)品，親水性表面活性劑選用Brij 35聚氧乙烯月桂醚、疏水性表面活性劑選用Brij? L4 聚氧乙烯月桂醚、消泡劑和流平劑選用改性聚硅氧烷流平滑感劑SA-748。
自由基引發(fā)劑選用過氧化苯甲酰。
熱穩(wěn)定劑為硬脂酸鈣、硬脂酸鋇、硬脂酸鉛的混合物。
阻燃劑為溴化苯乙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物、四溴雙酚A雙(2,3-二溴-2-甲基丙基)醚的混合物。
成膜助劑為苯甲醇、十二碳醇酯、乙二醇丁醚的混合物。
實(shí)施例1：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在200μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑9-20μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱10秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓40秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為55℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為115℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.3Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將8.000g的氟含量為1%的含氟聚酯聚氨酯（硬度為95A）和68.775g聚醚聚氨酯（硬度為85A）室溫溶于307.100g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入2.400g炭黑，0.200g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.005g的過氧化苯甲酰，0.500g的親水性表面活性劑， 0.120g的流平劑，并補(bǔ)充612.9g DMF，隨后將組合物的溶液在50℃下研磨1.2小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為8.00%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為500厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含10%DMF和90%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為0.1%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為10%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉20份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷3份、有機(jī)硅膠樹脂55份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌10分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠7份加熱至118℃后加入至混合物中，并在105℃下進(jìn)行反應(yīng)4分鐘；
（2）將交聯(lián)劑8份、成膜助劑11份、耐高溫填充劑13份、阻燃劑4份、抗氧劑6份在65℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在97℃下進(jìn)行反應(yīng)20分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在100℃下進(jìn)行烘干1分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在105℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置8小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦4份、二氧化硅5份、硼酸鋅1份進(jìn)行混合后，加入甘油8份、乙醇15份進(jìn)行攪拌，并在120℃下進(jìn)行攪拌14分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置12分鐘后，將膜取出并靜置60分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干8分鐘；
（9）將二氧化硅5份、甲基乙烯基硅橡膠4份、硅酸鈉3份、熱穩(wěn)定劑3份進(jìn)行混合后，加入去離子水45份、粘合劑1份后攪拌27分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散4分鐘后，向混合物中加入乙醇9份，并將混合物在30℃下進(jìn)行陳化4小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至50℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至125℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置40分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干40分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例2：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在243μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑4.2-17.8μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱15秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓20秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為65℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為100℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.5Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將25.000g的氟含量為2%的含氟聚醚聚氨酯（硬度為85A）和69.700g聚碳酸酯聚氨酯（硬度為90A）室溫溶于378.800g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入5.000g炭黑，0.300g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.005g的過氧化苯甲酰，0.500g的親水性表面活性劑，0.150g的流平劑，并補(bǔ)充520.545g DMF，隨后將組合物的溶液在50℃下研磨1.5小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為10.07%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為850厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含10%DMF和90%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為0.5%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為10%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉15份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷9份、有機(jī)硅膠樹脂30份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌15分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠4份加熱至120℃后加入至混合物中，并在60℃下進(jìn)行反應(yīng)9分鐘；
（2）將交聯(lián)劑6份、成膜助劑17份、耐高溫填充劑6份、阻燃劑8份、抗氧劑2份在70℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在85℃下進(jìn)行反應(yīng)30分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在90℃下進(jìn)行烘干3分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在90℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至53℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置6小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦6份、二氧化硅2份、硼酸鋅4份進(jìn)行混合后，加入甘油5份、乙醇20份進(jìn)行攪拌，并在95℃下進(jìn)行攪拌20分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置30分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置18分鐘后，將膜取出并靜置45分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干10分鐘；
（9）將二氧化硅1份、甲基乙烯基硅橡膠6份、硅酸鈉2份、熱穩(wěn)定劑7份進(jìn)行混合后，加入去離子水30份、粘合劑2份后攪拌22分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散7分鐘后，向混合物中加入乙醇5份，并將混合物在35℃下進(jìn)行陳化2小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至60℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至110℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置60分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干30分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例3：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在205μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑2-14.3μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱13秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓22秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為55℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為112℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.3Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將50.000g的氟含量為3%的含氟聚碳酸酯聚氨酯（硬度為90A）和92.000g聚酯聚氨酯（硬度為95A）室溫溶于568.000g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入8.000g炭黑，0.400g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.006g的過氧化苯甲酰，0.800g的親水性表面活性劑，0.220g的流平劑，并補(bǔ)充280.574g DMF，隨后將組合物的溶液在50℃下研磨1.5小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為15.10%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為1250厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含10%DMF的90%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為1.0%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為10%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉20份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷3份、有機(jī)硅膠樹脂34份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌15分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠6份加熱至119℃后加入至混合物中，并在70℃下進(jìn)行反應(yīng)4分鐘；
（2）將交聯(lián)劑7份、成膜助劑15份、耐高溫填充劑10份、阻燃劑4份、抗氧劑6份在68℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在88℃下進(jìn)行反應(yīng)20分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在96℃下進(jìn)行烘干1分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在100℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置7小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦4份、二氧化硅5份、硼酸鋅1份進(jìn)行混合后，加入甘油5份、乙醇15份進(jìn)行攪拌，并在97℃下進(jìn)行攪拌14分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置17分鐘后，將膜取出并靜置45分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干10分鐘；
（9）將二氧化硅1份、甲基乙烯基硅橡膠4份、硅酸鈉2份、熱穩(wěn)定劑7份進(jìn)行混合后，加入去離子水45份、粘合劑2份后攪拌27分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散4分鐘后，向混合物中加入乙醇8份，并將混合物在34℃下進(jìn)行陳化2小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至57℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至110℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置40分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干30分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例4：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在279μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑2.0-20.0μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱11秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓21秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為56℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為105℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.3Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將90.000g的氟含量為5%的含氟聚醚聚氨酯（硬度為85A）和51.600 g聚碳酸酯聚氨酯（硬度為90A）室溫溶于566.400g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入8.000g炭黑，0.400g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.006g的過氧化苯甲酰，0.800g的親水性表面活性劑，0.220g的流平劑，并補(bǔ)充282.574g DMF，隨后將組合物的溶液在50℃下研磨1.5小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為15.10%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為1250厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含15%DMF的85%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為3.0%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為15%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉17份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷5份、有機(jī)硅膠樹脂34份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌13分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠4份加熱至119℃后加入至混合物中，并在80℃下進(jìn)行反應(yīng)5分鐘；
（2）將交聯(lián)劑6份、成膜助劑11份、耐高溫填充劑13份、阻燃劑8份、抗氧劑2份在65℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在90℃下進(jìn)行反應(yīng)20分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在100℃下進(jìn)行烘干2分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在100℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置7小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦4份、二氧化硅5份、硼酸鋅1份進(jìn)行混合后，加入甘油8份、乙醇15份進(jìn)行攪拌，并在115℃下進(jìn)行攪拌14分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置12分鐘后，將膜取出并靜置52分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干8分鐘；
（9）將二氧化硅4份、甲基乙烯基硅橡膠4份、硅酸鈉3份、熱穩(wěn)定劑3份進(jìn)行混合后，加入去離子水45份、粘合劑2份后攪拌22分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散7分鐘后，向混合物中加入乙醇5份，并將混合物在30℃下進(jìn)行陳化2小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至60℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至120℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置50分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干39分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例5：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在307μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑2.4-18.0μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱14秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓26秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為55℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為114℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.4Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將86.000g的氟含量為7%的含氟聚酯聚氨酯（硬度為95A）和23.600g聚醚聚氨酯（硬度為90A）室溫溶于438.400g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入10.000g炭黑，0.400g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.006g的過氧化苯甲酰，0.800g的親水性表面活性劑，0.180g的流平劑，并補(bǔ)充440.614g DMF，隨后將組合物的溶液在55℃下研磨1小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為12.10%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為1050厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含15 %DMF的85%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為5.0%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為15%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉15份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷9份、有機(jī)硅膠樹脂30份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌13分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠4份加熱至120℃后加入至混合物中，并在60℃下進(jìn)行反應(yīng)4分鐘；
（2）將交聯(lián)劑6份、成膜助劑11份、耐高溫填充劑10份、阻燃劑4份、抗氧劑5份在70℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在97℃下進(jìn)行反應(yīng)20分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在100℃下進(jìn)行烘干3分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在104℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至50℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置6小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦4份、二氧化硅5份、硼酸鋅1份進(jìn)行混合后，加入甘油8份、乙醇20份進(jìn)行攪拌，并在95℃下進(jìn)行攪拌14分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置18分鐘后，將膜取出并靜置48分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干9分鐘；
（9）將二氧化硅4份、甲基乙烯基硅橡膠5份、硅酸鈉3份、熱穩(wěn)定劑3份進(jìn)行混合后，加入去離子水42份、粘合劑1份后攪拌22分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散7分鐘后，向混合物中加入乙醇5份，并將混合物在35℃下進(jìn)行陳化3小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至60℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至121℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置46分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干30分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例6：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在400μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑2.2-16.8μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱12秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓22秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為57℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為112℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.3Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將120.000g的氟含量為10%的含氟聚醚聚氨酯（硬度為85A）和13.500g聚酯聚氨酯（硬度為95A）室溫溶于534.000g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入20.000g炭黑，0.500g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.008g的過氧化苯甲酰，0.800g的親水性表面活性劑，0.220g的流平劑，并補(bǔ)充310.972g DMF，隨后將組合物的溶液在60℃下研磨2.0小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為15.50%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為1450厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含15%DMF的85%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為7.7%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為15%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉17份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷9份、有機(jī)硅膠樹脂30份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌13分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠5份加熱至118℃后加入至混合物中，并在80℃下進(jìn)行反應(yīng)9分鐘；
（2）將交聯(lián)劑7份、成膜助劑6份、耐高溫填充劑11份、阻燃劑6份、抗氧劑2份在68℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在92℃下進(jìn)行反應(yīng)20分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在100℃下進(jìn)行烘干2分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在99℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至51℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置7小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦6份、二氧化硅2份、硼酸鋅4份進(jìn)行混合后，加入甘油5份、乙醇20份進(jìn)行攪拌，并在95℃下進(jìn)行攪拌19分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置42分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置17分鐘后，將膜取出并靜置58分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干9分鐘；
（9）將二氧化硅1份、甲基乙烯基硅橡膠6份、硅酸鈉2份、熱穩(wěn)定劑6份進(jìn)行混合后，加入去離子水30份、粘合劑2份后攪拌22分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散4分鐘后，向混合物中加入乙醇8份，并將混合物在31℃下進(jìn)行陳化2小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至57℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至123℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置40分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干40分鐘，即可得到PET膜。
實(shí)施例7：
TFT減薄拋光用吸附墊，所述吸附墊從下到上依次設(shè)有離型紙、雙面膠、PET膜、雙面膠、含氟聚氨酯多孔膜以及保護(hù)膜；所述含氟聚氨酯多孔膜從上到下依次是表面吸附層1、第一發(fā)泡層2、第二發(fā)泡層3、第三隔離層4以及第四發(fā)泡層5，所述表面吸附層1為致密層；所述第一發(fā)泡層2以及第二發(fā)泡層3均為水滴形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第二發(fā)泡層3的水滴形孔大于第一發(fā)泡層2的水滴形孔。
所述第四發(fā)泡層5為平均孔徑在389μm的橢圓形多孔狀結(jié)構(gòu)，所述第三隔離層4為孔徑2.8-15.2μm的圓形微米孔形成的網(wǎng)狀孔結(jié)構(gòu)。
TFT減薄拋光用吸附墊的加工工藝，步驟如下：
1）將PET膜通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜的下方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
2）將含氟聚氨酯多孔膜放置在滾筒式熱壓機(jī)中，并對(duì)含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓；將熱壓后的含氟聚氨酯多孔膜放入至加熱裝置中進(jìn)行加熱13秒，將保護(hù)膜進(jìn)行加熱，并將保護(hù)膜通過熱壓30秒，并將保護(hù)膜熱壓至含氟聚氨酯多孔膜上方，得到含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板；
3）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板裁切成一定的尺寸；
4）將含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板表面進(jìn)行加工、剪裁，得到研磨層加工板；
5）將離型紙通過雙面膠進(jìn)行粘貼在含氟聚氨酯多孔膜復(fù)合板的下端，即得到吸附墊半成品；
6）將吸附墊半成品的邊緣進(jìn)行裁切，并將多余部分去除，得到TFT減薄拋光用吸附墊。
所述步驟2）中含氟聚氨酯多孔膜的上方進(jìn)行熱壓的溫度為60℃。
所述步驟2）中加熱裝置的溫度為112℃。
所述步驟2）中熱壓壓力為0.3Mpa。
所述步驟1）中含氟聚氨酯多孔膜的加工工藝如下：
a）將180.000g的氟含量為10%的含氟聚醚聚氨酯（硬度為90A）室溫溶于720.000g N,N-二甲基甲酰胺（DMF）中配制成濃度為20%的聚氨酯溶液，隨后加入18.290g炭黑，0.600g的丙烯酰雙季銨鹽，再加入0.010g的過氧化苯甲酰，0.800g的親水性表面活性劑，0.300g的流平劑，并補(bǔ)充80.000g DMF，隨后將組合物的溶液在60℃下研磨2.0小時(shí)，所得的溶液進(jìn)行脫泡處理，得到濃度為20.00%的含氟聚氨酯樹脂組合物，粘度為2000厘泊。
b）將含氟聚氨酯樹脂組合物涂布在基材或模具上，浸入含15%DMF的85%水的凝固浴中凝固再生，經(jīng)洗凈、干燥后得到內(nèi)部形成多個(gè)連續(xù)氣孔結(jié)構(gòu)的含氟聚氨酯多孔膜，其中氟的質(zhì)量份數(shù)為9.0%。
所述步驟b）中凝固浴中有機(jī)溶劑為N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺的混合物，所述凝固浴中有機(jī)溶劑的含量為15%。
所述PET膜的加工工藝如下：
（1）將硅酸鈉19份、乙烯基三異丙烯氧基硅烷8份、有機(jī)硅膠樹脂51份進(jìn)行混合，并在80℃下進(jìn)行攪拌10分鐘，將甲基乙烯基硅橡膠7份加熱至119℃后加入至混合物中，并在70℃下進(jìn)行反應(yīng)4分鐘；
（2）將交聯(lián)劑7份、成膜助劑15份、耐高溫填充劑6份、阻燃劑8份、抗氧劑2份在70℃下進(jìn)行攪拌；
（3）將步驟（1）的混合物放入至離心機(jī)中，并在85℃下進(jìn)行反應(yīng)30分鐘后，將離心后的混合液放入至烘箱內(nèi)，并在90℃下進(jìn)行烘干3分鐘；
（4）將步驟（3）的混合物放在100℃的離心機(jī)中進(jìn)行攪拌，并在攪拌的過程中加入步驟（2）反應(yīng)后的混合物；
（5）將上述步驟中制得的溶液均勻涂抹在膜載體表面，通過加熱至52℃后進(jìn)行固化，將加熱之后的膜載體靜置6小時(shí)，待膜載體冷卻至室溫后，將薄膜從膜載體上剝離；
（6）將納米二氧化鈦6份、二氧化硅5份、硼酸鋅4份進(jìn)行混合后，加入甘油5份、乙醇19份進(jìn)行攪拌，并在112℃下進(jìn)行攪拌14分鐘后，將混合物放入至離心裝置中進(jìn)行離心過濾，將過濾物在常溫下進(jìn)行靜置45分鐘；
（7）將步驟（6）反應(yīng)后的過濾物放入乙醇、丙酮中進(jìn)行混合，并對(duì)混合物進(jìn)行通電,所述步驟（7）中乙醇、丙酮的體積比為2:5；
（8）將步驟（5）生成的膜放入至電暈裝置內(nèi)進(jìn)行電暈，并將電暈后的膜放入至步驟（7）的混合物中，并靜置18分鐘后，將膜取出并靜置60分鐘后，將膜放置在烘干裝置中，并進(jìn)行烘干8分鐘；
（9）將二氧化硅4份、甲基乙烯基硅橡膠4份、硅酸鈉2份、熱穩(wěn)定劑7份進(jìn)行混合后，加入去離子水45份、粘合劑1份后攪拌25分鐘后，將混合物放入至超聲裝置中進(jìn)行超聲分散6分鐘后，向混合物中加入乙醇7份，并將混合物在34℃下進(jìn)行陳化2小時(shí)后，將混合物放入離心裝置中進(jìn)行過濾，并將過濾物加熱至58℃；
（10）將步驟（8）反應(yīng)后的膜放入至125℃的熱壓機(jī)中進(jìn)行熱壓，將步驟（9）反應(yīng)后的過濾液放入至高壓噴射裝置中，并向熱壓后的反應(yīng)膜進(jìn)行噴射，并將經(jīng)過步驟（9）反應(yīng)后的混合液噴至膜的兩側(cè)后，常溫下靜置40分鐘后，放入至烘干裝置中進(jìn)行烘干40分鐘，即可得到PET膜。
對(duì)實(shí)施例1-7中的生成的TFT減薄拋光用吸附墊的性能進(jìn)行檢測(cè)，TFT減薄拋光用吸附墊的性能檢測(cè)結(jié)果如表1所示。
表1 TFT減薄拋光用吸附墊的性能檢測(cè)
上述實(shí)施例僅為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，而不應(yīng)視為對(duì)于本發(fā)明的限制，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求記載的技術(shù)方案，包括權(quán)利要求記載的技術(shù)方案中技術(shù)特征的等同替換方案為保護(hù)范圍，即在此范圍內(nèi)的等同替換改進(jìn)，也在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。