本實(shí)用新型是一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置，屬于PECVD設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中，PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD),實(shí)驗(yàn)機(jī)理：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

位置檢測(cè)裝置主要用于閉環(huán)和半閉環(huán)系統(tǒng)， 檢測(cè)裝置通過直接或間接測(cè)量檢測(cè)出執(zhí)行部件的實(shí)際的位移量，然后反饋到數(shù)控裝置，并與指令位移進(jìn)行比較，如果有差值，就發(fā)出運(yùn)動(dòng)控制信號(hào)，控制數(shù)控機(jī)床移動(dòng)部件向消除該差值的方向移動(dòng)。不斷比較指令信號(hào)與反饋信號(hào)，然后進(jìn)行控制，直到差值為0，運(yùn)動(dòng)停止，增量式檢測(cè)方式只測(cè)量位移增量，每移動(dòng)一個(gè)測(cè)量單位就發(fā)出一個(gè)測(cè)量信號(hào)。其優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)裝置比較簡(jiǎn)單，任何一個(gè)對(duì)中點(diǎn)都可以作為測(cè)量起點(diǎn)。移動(dòng)距離是靠對(duì)測(cè)量信號(hào)計(jì)數(shù)后讀出的，一旦計(jì)數(shù)有誤，此后的測(cè)量結(jié)果將全錯(cuò)。另外在發(fā)生故障時(shí)(如斷電等)不能再找到事故前的正確位置，事故排除后，必須將工作臺(tái)移至起點(diǎn)重新計(jì)數(shù)才能找到事故前的正確位置。

然而現(xiàn)有的管式PECVD設(shè)備進(jìn)料口在使用過程中仍然存在一些不合理的因素，現(xiàn)有的進(jìn)料口沒有檢測(cè)裝置，而且進(jìn)料口的進(jìn)料環(huán)節(jié)是手動(dòng)控制的，需要人工干預(yù)，不能夠做到自動(dòng)化，降低了生產(chǎn)的效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的進(jìn)料口沒有檢測(cè)裝置，而且進(jìn)料口的進(jìn)料環(huán)節(jié)是手動(dòng)控制的，需要人工干預(yù)，不能夠做到自動(dòng)化，降低了生產(chǎn)的效率的問題，本實(shí)用新型使用方便，便于操作，穩(wěn)定性好，可靠性高。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置，包括進(jìn)料槽，所述進(jìn)料槽的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)料管，且進(jìn)料槽的底部設(shè)置有入料口，所述入料口內(nèi)壁的一側(cè)設(shè)置有紅外發(fā)射管，且入料口內(nèi)壁的另一側(cè)設(shè)置有光敏信號(hào)接收器，所述進(jìn)料槽的上方設(shè)置有鋼化玻璃保護(hù)罩，所述鋼化玻璃保護(hù)罩的外壁上設(shè)置有攝像頭固定螺紋，且鋼化玻璃保護(hù)罩的內(nèi)部設(shè)置有紅外線攝像頭，所述紅外線攝像頭的上方設(shè)置有攝像頭旋轉(zhuǎn)把手，所述紅外發(fā)射管、光敏信號(hào)接收器和紅外線攝像頭均與外部控制器電性連接。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)料槽與鋼化玻璃保護(hù)罩通過攝像頭固定螺紋旋合連接。

進(jìn)一步地，所述紅外發(fā)射管與光敏信號(hào)接收器電性連接。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)料槽為密封結(jié)構(gòu)，且進(jìn)料槽與鋼化玻璃保護(hù)罩的連接處設(shè)置有密封膠圈。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)料管為圓柱形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)料槽的內(nèi)壁拐角處為平滑曲面結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置，進(jìn)料槽與鋼化玻璃保護(hù)罩通過攝像頭固定螺紋旋合連接之后，鋼化玻璃保護(hù)罩的拆卸清洗與安裝就會(huì)更加的方便，而且設(shè)置有密封膠圈之后，增加了進(jìn)料槽與鋼化玻璃保護(hù)罩的接觸面的密封性，使用起來更加的安全放心；當(dāng)紅外發(fā)射管開始依次發(fā)射信號(hào)后，工件隨小車推至上料機(jī)械手下方待加工時(shí)剛好阻隔了發(fā)射器的紅外線，觸發(fā)上料機(jī)械手的啟動(dòng)開關(guān)，光敏信號(hào)接收器就能依次接收到信號(hào)，也就可以完成自動(dòng)啟動(dòng)操作；進(jìn)料槽的內(nèi)壁拐角處設(shè)計(jì)為平滑曲面結(jié)構(gòu)，這樣的機(jī)構(gòu)在進(jìn)料時(shí)，物料就不會(huì)卡在拐角處，使用起來更加的方便快速；紅外線攝像頭可以時(shí)刻的監(jiān)測(cè)到物料的進(jìn)入情況，使用起來更加的方便。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置的正視圖；

圖3為本實(shí)用新型一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置的俯視圖；

圖中： 1-進(jìn)料管、2-紅外發(fā)射管、3-入料口、4-光敏信號(hào)接收器、5-進(jìn)料槽、6-鋼化玻璃保護(hù)罩、7-紅外線攝像頭、8-攝像頭旋轉(zhuǎn)把手、9-攝像頭固定螺紋。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種管式PECVD設(shè)備進(jìn)料檢測(cè)裝置，包括進(jìn)料槽5，進(jìn)料槽5的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)料管1，且進(jìn)料槽5的底部設(shè)置有入料口3，入料口3內(nèi)壁的一側(cè)設(shè)置有紅外發(fā)射管2，且入料口3內(nèi)壁的另一側(cè)設(shè)置有光敏信號(hào)接收器4，進(jìn)料槽5的上方設(shè)置有鋼化玻璃保護(hù)罩6，鋼化玻璃保護(hù)罩6的外壁上設(shè)置有攝像頭固定螺紋9，且鋼化玻璃保護(hù)罩6的內(nèi)部設(shè)置有紅外線攝像頭7，紅外線攝像頭7的上方設(shè)置有攝像頭旋轉(zhuǎn)把手8，紅外發(fā)射管2、光敏信號(hào)接收器4和紅外線攝像頭7均與外部控制器電性連接。

進(jìn)料槽5與鋼化玻璃保護(hù)罩6通過攝像頭固定螺紋9旋合連接；進(jìn)料槽5為密封結(jié)構(gòu)，且進(jìn)料槽5與鋼化玻璃保護(hù)罩6的連接處設(shè)置有密封膠圈，進(jìn)料槽5與鋼化玻璃保護(hù)罩6通過攝像頭固定螺紋9旋合連接之后，鋼化玻璃保護(hù)罩6的拆卸清洗與安裝就會(huì)更加的方便，而且設(shè)置有密封膠圈之后，增加了進(jìn)料槽5與鋼化玻璃保護(hù)罩6的接觸面的密封性，使用起來更加的安全放心。

紅外發(fā)射管2與光敏信號(hào)接收器4電性連接，且紅外發(fā)射管2發(fā)出的信號(hào)，光敏信號(hào)接收器4能夠接收到，并且反饋給外部控制器，當(dāng)紅外發(fā)射管2開始依次發(fā)射信號(hào)后，工件隨小車推至上料機(jī)械手下方待加工時(shí)剛好阻隔了發(fā)射器的紅外線，觸發(fā)上料機(jī)械手的啟動(dòng)開關(guān)，光敏信號(hào)接收器4就能依次接收到信號(hào)，也就可以完成自動(dòng)啟動(dòng)操作。

進(jìn)料槽5的內(nèi)壁拐角處為平滑曲面結(jié)構(gòu)，進(jìn)料槽5的內(nèi)壁拐角處設(shè)計(jì)為平滑曲面結(jié)構(gòu)，這樣的機(jī)構(gòu)在進(jìn)料時(shí)，物料就不會(huì)卡在拐角處，使用起來更加的方便快速。

本實(shí)用新型中的紅外發(fā)射管2是由紅外發(fā)光二極管組成發(fā)光體，用紅外輻射效率高的材料（常用砷化鎵）制成PN結(jié)，正向偏壓向PN結(jié)注入電流激發(fā)紅外光，其光譜功率分布為中心波長(zhǎng)830～950nm。發(fā)光二極管表現(xiàn)是正溫度系數(shù)，電流越大溫度越高，溫度越高電流越大，LED紅外二極管的功率和電流大小有關(guān)，但正向電流超過最大額定值時(shí)，紅外二極管發(fā)射功率反而下降。

本實(shí)用新型中的紅外線攝像頭7中在光譜中波長(zhǎng)自0.76至400微米的一段稱為紅外線，紅外線是不可見光線。所有高于絕對(duì)零度（-273.15℃）的物質(zhì)都可以產(chǎn)生紅外線。現(xiàn)代物理學(xué)稱之為熱射線，因此在物料進(jìn)入到入料口3時(shí)，就可以被紅外線攝像頭7所檢測(cè)到，也就完成了對(duì)進(jìn)料的檢測(cè)。

具體實(shí)施方式：在進(jìn)行使用時(shí)，首先工作人員對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行檢查，檢查是否存在缺陷，如果存在缺陷的話就無法進(jìn)行使用了，此時(shí)需要通知維修人員進(jìn)行維修，如果不存在問題的話就可以進(jìn)行使用，經(jīng)過工件的上料等待位置，紅外發(fā)射管2發(fā)出的信號(hào)，光敏信號(hào)接收器4能夠接收到，并且反饋給外部控制器，當(dāng)紅外發(fā)射管2開始依次發(fā)射信號(hào)后，工件隨小車推至上料機(jī)械手下方待加工時(shí)剛好阻隔了發(fā)射器的紅外線，觸發(fā)上料機(jī)械手的啟動(dòng)開關(guān)，光敏信號(hào)接收器4就能依次接收到信號(hào)，也就可以完成自動(dòng)啟動(dòng)操作，而紅外線攝像頭7的作用是可以時(shí)刻的監(jiān)測(cè)到物料的進(jìn)入情況，使用起來更加的方便。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn),對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。