1.一種磁性復(fù)合流體集群式拋光頭，包括連接支架(3)、磁鐵轉(zhuǎn)軸(4)、載液盤轉(zhuǎn)軸(5)、載液盤轉(zhuǎn)軸底部端蓋(6)、帶輪機構(gòu)(7)、V帶(8)、載液盤(26)、驅(qū)動電機，其特征在于：所述連接支架(3)內(nèi)裝有三個磁鐵轉(zhuǎn)軸(4)，每個磁鐵轉(zhuǎn)軸(4)設(shè)有可調(diào)磁鐵以及可調(diào)磁鐵自轉(zhuǎn)的偏心距機構(gòu)，并連接一個驅(qū)動電機，通過調(diào)節(jié)磁體轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速、調(diào)整磁鐵轉(zhuǎn)軸攜帶的磁鐵磁性大小、改變磁鐵自轉(zhuǎn)的偏心距來控制拋光過程材料的去除率；所述連接支架(3)下端通過載液盤轉(zhuǎn)軸底部端蓋(6)連接用于攜帶磁性拋光液旋轉(zhuǎn)的載液盤轉(zhuǎn)軸(5)，載液盤轉(zhuǎn)軸(5)通過V帶(8)連接帶輪機構(gòu)(7)，帶輪機構(gòu)(7)連接驅(qū)動電機。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性復(fù)合流體集群式拋光頭，其特征在于：所述連接支架(3)內(nèi)設(shè)有連接支架通孔(9)，連接支架環(huán)形腔(10)，連接支架圓柱腔(11)，三個連接支架圓柱腔(11)內(nèi)通過三對上下配合使用的轉(zhuǎn)軸底部端蓋(6)和螺栓(1)安裝三個磁鐵轉(zhuǎn)軸(4)；連接支架環(huán)形腔(10)內(nèi)部裝有載液盤轉(zhuǎn)軸(5)，載液盤轉(zhuǎn)軸(5)通過載液盤轉(zhuǎn)軸底部端蓋(6)和螺栓(1)與連接支架(3)連接，所述連接支架環(huán)形腔(10)上側(cè)端面銑有淺槽，用于載液盤轉(zhuǎn)軸(5)中的軸承定位固定；所述連接支架通孔(9)為沉頭孔，用于驅(qū)動電機的安裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性復(fù)合流體集群式拋光頭，其特征在于：所述磁鐵轉(zhuǎn)軸(4)包括磁鐵(13)、磁鐵盤(14)、磁鐵轉(zhuǎn)軸主軸(15)、角接觸球軸承(16)，所述磁鐵盤(14)通過方形沉頭槽與磁鐵轉(zhuǎn)軸主軸(15)配合連接，并用磁鐵轉(zhuǎn)軸用螺栓(12)固定；所述磁鐵盤(14)上設(shè)置三個用于調(diào)節(jié)磁鐵(13)偏心離的不同位置的螺紋孔，磁鐵盤(14)通過磁鐵轉(zhuǎn)軸用螺栓(12)與磁鐵盤(14)固定連接；所述磁鐵轉(zhuǎn)軸主軸(15)通過一對角接觸球軸承(16)與連接支架(3)的連接支架圓柱腔(11)配合連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性復(fù)合流體集群式拋光頭，其特征在于：所述載液盤轉(zhuǎn)軸(5)包括深溝球軸承(21)，載液盤轉(zhuǎn)軸擋圈(22)，帶連接支架(23)，帶傳動擋圈(24)，載液盤轉(zhuǎn)軸用螺栓(25)，載液盤(26)；所述連接支架(23)通過載液盤轉(zhuǎn)軸用螺栓(25)固定連接帶傳動擋圈(24)，帶連接支架(23)的軸肩兩側(cè)設(shè)有一對深溝球軸承(21)，兩個深溝球軸承(21)之間設(shè)有載液盤轉(zhuǎn)軸擋圈(22)，用于兩個深溝球軸承間輔助固定，下側(cè)的深溝球軸承的內(nèi)圈與帶傳動擋圈(24)上邊緣定位固定連接；所述帶連接支架(23)下端通過載液盤轉(zhuǎn)軸用螺栓(25)固定連接用于攜帶磁性拋光液的載液盤(26)。