一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，其特征在于：所述分割筋板的近端固定連接于所述鍍膜傘架內(nèi)圈外表面，所述分割筋板的遠端設(shè)置有分支結(jié)構(gòu)，所述分支結(jié)構(gòu)由兩個分支段構(gòu)成，所述分支段分別向所述主支架延伸并與其構(gòu)成連接固定，所述翻轉(zhuǎn)鍍膜治具安裝于相鄰的所述分割筋板之間，以及所述分割筋板上的兩個所述分支段之間。本實用新型的優(yōu)點是：具有分支和分割性；通過對治具分割形狀的優(yōu)化，解決大腔體真空鍍膜機鍍膜翻轉(zhuǎn)治具過重的問題，同時避免了扇形工件治具在靠近傘架中心端載片量受限的缺陷；相比于完全是扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的鍍膜傘架，在治具面積相同的情況下，本實用新型中的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)具有更多的載片量。
【專利說明】一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展，對薄膜質(zhì)量和鍍膜效率提出了更高的要求。許多鍍膜產(chǎn)品，比如光學(xué)鏡頭、光學(xué)鏡片等，在通常情況下需要進行雙面鍍膜。
[0003]目前的常規(guī)雙面鍍膜工藝是通過先后兩次鍍膜來完成工件兩個表面的薄膜制備。兩次鍍膜之間，真空鍍膜室需要放氣和重新抽真空，也就是依次進行如下A、B、C、D四個步驟:A、將待鍍膜工件裝入治具，并對其一個表面進行真空鍍膜；B、鍍膜完成后將鍍膜腔體破真空；C、把工件從治具中取出，對工件進行翻面和再裝治具，某些情況下，將工件翻面前還需要一道清洗工序，以消除翻面工序帶來的污染；D、鍍膜腔體抽真空，并對工件的另一個表面鍍膜。以上流程存在如下缺陷:兩次鍍膜之間的破真空、工件翻面和再抽真空工序的存在不利于生產(chǎn)效率的提高；另外，鍍膜工序的增加不利于成膜工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率的提聞。
[0004]對于上述雙面鍍膜工藝流程存在的缺陷，可以采用雙面連續(xù)鍍膜加以避免，即采用翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)。在真空鍍膜機中，承載鍍膜工件的鍍膜治具構(gòu)成鍍膜工件傘架的主體部分。工件傘架一般位于真空腔體的頂部，如圖4所示。這種配置下，為實現(xiàn)雙面連續(xù)鍍膜而實施的鍍膜工件傘架存在整體翻轉(zhuǎn)的空間不足；另外，由于工件傘架重量較大，整體翻轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性不易控制。因此，在采用翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)的鍍膜機中，用于放置鍍膜工件的傘架通常被等分成數(shù)個近似扇形區(qū)域，這些扇形區(qū)域的圓心均為鍍膜傘架的中心，每個扇形區(qū)域即為一個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具單元，如圖3所示。通過機械驅(qū)動可以使翻轉(zhuǎn)鍍膜治具發(fā)生翻轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)在鍍膜腔體不破真空的情況下完成雙面鍍膜。
[0005]近來，隨著人們對于鍍膜設(shè)備的產(chǎn)能要求越來越高，將腔體做大并實現(xiàn)自動翻轉(zhuǎn)基片成為很好的選擇。但腔體做大時，如果不相應(yīng)增加工件傘架上的鍍膜治具單元的數(shù)量，從而減輕每個鍍膜治具單元的重量，就會產(chǎn)生如下問題:因翻轉(zhuǎn)板過大、過重，導(dǎo)致使用性能不穩(wěn)定。并且，如果為了使每個翻轉(zhuǎn)治具的重量減輕，而一味地將前述的鍍膜工件傘架進一步細分成更多的扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具單元，就會使這些扇形治具單元靠近工件傘架中心端的區(qū)域變得很狹窄而明顯影響工件傘架的載片量，尤其是在鍍膜工件較大的情況下。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實用新型的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，通過在分割筋板上設(shè)置分支結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)對翻轉(zhuǎn)鍍膜治具分割形狀的優(yōu)化，解決大腔體真空鍍膜機中翻轉(zhuǎn)鍍膜治具過重的問題，避免其過重時所導(dǎo)致的翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定問題，同時避免了扇形工件治具在靠近傘架中心端載片量受限的缺陷。
[0007]本實用新型目的實現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成:
[0008]一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，設(shè)置于真空鍍膜機內(nèi)的鍍膜傘架上，所述鍍膜傘架由鍍膜傘架內(nèi)圈、主支架與若干分割筋板構(gòu)成，所述鍍膜傘架內(nèi)圈位于所述主支架中心且通過若干所述分割筋板與所述主支架連接固定，其特征在于:所述分割筋板的近端固定連接于所述鍍膜傘架內(nèi)圈外表面，所述分割筋板的遠端設(shè)置有分支結(jié)構(gòu)，所述分支結(jié)構(gòu)由兩個分支段構(gòu)成，所述分支段分別向所述主支架延伸并與其構(gòu)成連接固定，所述翻轉(zhuǎn)鍍膜治具安裝于相鄰的所述分割筋板之間，以及所述分割筋板上的兩個所述分支段之間。
[0009]對于所述分支結(jié)構(gòu)具有如下描述:所述分割筋板的遠端設(shè)置有所述分支結(jié)構(gòu)，構(gòu)成所述分支機構(gòu)的兩個分支段的遠端分別設(shè)置有所述分支結(jié)構(gòu)，以此類推，在所述鍍膜傘架內(nèi)圈與所述主支架之間設(shè)置具有若干所述分支結(jié)構(gòu)的所述分割筋板。
[0010]所述安裝于所述分割筋板之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的近端固定設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的另一端搭載在所述鍍膜傘架內(nèi)圈表面，兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合；所述安裝于所述分支段之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的近端固定設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述分割筋板上的所述分支結(jié)構(gòu)的分支口處開設(shè)有一凹槽，所述轉(zhuǎn)軸的另一端搭載在凹槽內(nèi)，兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合。
[0011]所述翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的遠端固定連接有一翻轉(zhuǎn)驅(qū)動撥盤。
[0012]本實用新型的優(yōu)點是:具有分支和分割性；通過對治具分割形狀的優(yōu)化，解決大腔體真空鍍膜機中翻轉(zhuǎn)鍍膜治具過重導(dǎo)致的翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定問題，同時避免了扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具在靠近鍍膜傘架中心端載片量受限的缺陷；相比于完全是扇形的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的鍍膜傘架，在治具面積相同的情況下，本實用新型中的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)具有更多的載片量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實用新型的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖4為翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0017]以下結(jié)合附圖通過實施例對本實用新型特征及其它相關(guān)特征作進一步詳細說明，以便于同行業(yè)技術(shù)人員的理解:
[0018]如圖1-4所示，圖中標記1-19分別為:主支架1、鍍膜傘架中心2、鍍膜傘架內(nèi)圈3、翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4、分割筋板5、轉(zhuǎn)軸6、驅(qū)動撥盤7、防污板8、中心回轉(zhuǎn)軸9、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)10、膜厚修正板驅(qū)動機構(gòu)11、鍍膜機腔體12、配重塊13、鍍膜傘架14、膜厚修正板15、鍍膜源16、第一分支段17、第二分支段18、凹槽19。
[0019]實施例一:本實施例中的用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)設(shè)置于鍍膜機腔體12內(nèi)，用于承載若干待鍍膜工件。如圖4所示，安裝翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的鍍膜傘架14位于鍍膜腔體12內(nèi)的中心上方。鍍膜傘架14中心設(shè)置有一用于安裝中心回轉(zhuǎn)軸9的圓孔，該圓孔的外壁為鍍膜傘架內(nèi)圈3，以實現(xiàn)承載有待鍍膜工件的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4可隨著鍍膜傘架14繞中心回轉(zhuǎn)軸9進行公轉(zhuǎn)。驅(qū)動撥盤7的翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)10位于鍍膜腔體12的側(cè)壁上。鍍膜機腔體12下部設(shè)置有兩個鍍膜源16，鍍膜源16分別對準鍍膜傘架14 ;鍍膜機腔體12的側(cè)壁還設(shè)置有兩個膜厚修正板15及其驅(qū)動機構(gòu)11，膜厚修正板15位于鍍膜傘架14的下方。鍍膜機腔體12中安裝配重塊11和翻轉(zhuǎn)限位銷釘以實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的穩(wěn)定翻轉(zhuǎn)。如圖3所示的現(xiàn)有技術(shù)中，用于承載若干待鍍膜工件的鍍膜傘架14通常被等分成數(shù)個近似扇形的區(qū)域，這些扇形區(qū)域的圓心均為鍍膜傘架中心2，每個扇形區(qū)域即為一個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4，該翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的外側(cè)設(shè)置有防污板8，用以減少鍍膜過程中膜料污染。而當(dāng)鍍膜機腔體12做大時，在扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的數(shù)量不增加的情況下，每個鍍膜治具4的重量會變大，從而導(dǎo)致其翻轉(zhuǎn)穩(wěn)定性變差；如果增加扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的數(shù)量，這些近似扇形的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4靠近鍍膜傘架14中心端(鍍膜傘架中心2)的區(qū)域變得很狹窄而明顯影響鍍膜傘架14的載片量。
[0020]如圖1所示，本實施例中的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4設(shè)置于鍍膜傘架14上。鍍膜傘架14由鍍膜傘架內(nèi)圈3、分割筋板5以及主支架I連接構(gòu)成，其中鍍膜傘架內(nèi)圈3與主支架I同心設(shè)置，兩者的圓心均為鍍膜傘架中心2，鍍膜傘架內(nèi)圈3的外壁表面通過分割筋板5與主支架I連接固定。分割筋板5和鍍膜傘架內(nèi)圈3、主支架I所配合圍成的區(qū)域即為翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的安裝區(qū)域。在本實施例中，鍍膜傘架內(nèi)圈3與主支架I之間以鍍膜傘架中心2為圓心，圓周陣列設(shè)置有若干分割筋板5，每塊分割筋板5的近端均連接固定于鍍膜傘架內(nèi)圈3的外表面，且指向鍍膜傘架中心2，分割筋板5的近端是指分割筋板5離鍍膜傘架中心2較近的一端。分割筋板5的遠端設(shè)置有由兩個第一分支段17所構(gòu)成的分支結(jié)構(gòu)，該遠端是指分割筋板5離鍍膜傘架中心2較遠的一端；兩個第一分支段17分別向主支架I 一側(cè)延伸并與其內(nèi)側(cè)表面連接固定，翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4安裝于相鄰的分割筋板5之間，以及每個分割筋板5上的兩個第一分支段17之間，以通過分割筋板5的分支結(jié)構(gòu)對鍍膜傘架14上的區(qū)域進行分割優(yōu)化，即在保證每個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4大小均勻(翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的最小區(qū)域應(yīng)能承載待鍍膜工件)的前提下，將鍍膜傘架14分割為若干區(qū)域，每個區(qū)域均為翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的安裝位置，從而實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的輕量化，也就解決了大腔體真空鍍膜機中翻轉(zhuǎn)鍍膜治具過重所導(dǎo)致的翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定問題，同時避免了扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具在靠近鍍膜傘架中心端載片量受限的缺陷。
[0021]安裝于分割筋板5之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的近端固定設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸6，轉(zhuǎn)軸6的另一端搭載在鍍膜傘架內(nèi)圈3的外壁表面,兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合；安裝于兩個第一分支段17之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的近端固定亦設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸6，分割筋板5的分支口上開設(shè)有一凹槽19，轉(zhuǎn)軸6的另一端搭載在該凹槽19內(nèi)，兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合，翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的近端均指其本體離鍍膜傘架中心2較近的一端。在每個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的遠端均固定連接有一驅(qū)動撥盤7，該驅(qū)動撥盤7可被翻轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)10撥動旋轉(zhuǎn)，從而帶動翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4繞各自的轉(zhuǎn)軸6旋轉(zhuǎn)，以實現(xiàn)翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的翻面。此處額外需要說明的是:為了使每個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的翻轉(zhuǎn)穩(wěn)定，轉(zhuǎn)軸6均可設(shè)置在每個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4寬度方向的中線上，該寬度方向是指翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4與鍍膜傘架14的半徑方向相垂直的本體方向。
[0022]實施例二:本實施例相較實施例一的不同之處在于:設(shè)置于分割筋板5遠端的兩個第一分支段17的遠端又分別設(shè)置了由兩個第二分支段18所構(gòu)成的分支結(jié)構(gòu)，第二分支段18分別向主支架I延伸并與其內(nèi)表面連接固定，從而在鍍膜傘架14面積相同的情況下，將鍍膜傘架14分割為與實施例一相比面積更小、但數(shù)量更多的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4安裝區(qū)域，以滿足腔體更大時，通過增加翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的數(shù)量，來相應(yīng)減輕每個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的重量，解決大腔體真空鍍膜機中翻轉(zhuǎn)鍍膜治具過重所導(dǎo)致的翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定問題，同時避免了扇形翻轉(zhuǎn)鍍膜治具在靠近鍍膜傘架中心端載片量受限的缺陷。在第二分支段18之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的轉(zhuǎn)軸設(shè)置方式與第一分支段17之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的轉(zhuǎn)軸設(shè)置方式類同。
[0023]上述實施例在具體實施時:在分割筋板5的遠端設(shè)置由兩個第一分支段17所構(gòu)成分支結(jié)構(gòu)或進而在第一分支段17的遠端再設(shè)置由兩個第二分支段18所構(gòu)成的分支結(jié)構(gòu)，都是可根據(jù)鍍膜機腔體12的體積設(shè)計要求進行選擇的，即當(dāng)鍍膜機腔體12的體積越大，設(shè)置在分割筋板5上的分支結(jié)構(gòu)的數(shù)量可按照上述結(jié)構(gòu)依次增設(shè)，例如，在第二分支段18的遠端再分別設(shè)置分支結(jié)構(gòu)，從而將鍍膜傘架14分割為更多塊的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4，以保證每塊翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的重量并不影響其翻轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。
[0024]上述實施例中的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4具有分支和分割性，即相鄰兩個翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的邊界不一定總是在鍍膜傘架的半徑上，也就是說由分段式的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4所構(gòu)成的鍍膜傘架14的特征可表述為:鍍膜傘架14的部分半徑線(為虛擬線，圖中未標示)可穿越兩個或兩個以上翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4。
[0025]雖然以上述實施例已經(jīng)參照附圖對本實用新型目的的構(gòu)思和實施例做了詳細說明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認識到，上述實施例的實質(zhì)是將鍍膜傘架14通過具有分支結(jié)構(gòu)的分割筋板5將翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4劃分成數(shù)量更多，但面積相對較小的若干部分。所以在沒有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下，仍然可以對本實用新型作出各種改進和變換，
如:增加或減少分支結(jié)構(gòu)的數(shù)量、改變用于翻轉(zhuǎn)鍍膜治具4的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)等，故在此不--贅述。
【權(quán)利要求】
1.一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，設(shè)置于真空鍍膜機內(nèi)的鍍膜傘架上，所述鍍膜傘架由鍍膜傘架內(nèi)圈、主支架與若干分割筋板構(gòu)成，所述鍍膜傘架內(nèi)圈位于所述主支架中心且通過若干所述分割筋板與所述主支架連接固定，其特征在于:所述分割筋板的近端固定連接于所述鍍膜傘架內(nèi)圈外表面，所述分割筋板的遠端設(shè)置有分支結(jié)構(gòu)，所述分支結(jié)構(gòu)由兩個分支段構(gòu)成，所述分支段分別向所述主支架延伸并與其構(gòu)成連接固定，所述翻轉(zhuǎn)鍍膜治具安裝于相鄰的所述分割筋板之間，以及所述分割筋板上的兩個所述分支段之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，其特征在于:對于所述分支結(jié)構(gòu)具有如下描述:所述分割筋板的遠端設(shè)置有所述分支結(jié)構(gòu)，構(gòu)成所述分支機構(gòu)的兩個分支段的遠端分別設(shè)置有所述分支結(jié)構(gòu)，以此類推，在所述鍍膜傘架內(nèi)圈與所述主支架之間設(shè)置具有若干所述分支結(jié)構(gòu)的所述分割筋板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，其特征在于:所述安裝于所述分割筋板之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的近端固定設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的另一端搭載在所述鍍膜傘架內(nèi)圈表面，兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合；所述安裝于所述分支段之間的翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的近端固定設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸，所述分割筋板上的所述分支結(jié)構(gòu)的分支口處開設(shè)有一凹槽，所述轉(zhuǎn)軸的另一端搭載在凹槽內(nèi)，兩者之間構(gòu)成轉(zhuǎn)動配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于雙面連續(xù)鍍膜的分段式翻轉(zhuǎn)鍍膜治具機構(gòu)，其特征在于:所述翻轉(zhuǎn)鍍膜治具的遠端固定連接有一翻轉(zhuǎn)驅(qū)動撥盤。
【文檔編號】C23C14/50GK204174275SQ201420571089
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】龍汝磊, 戴秀海 申請人:光馳科技(上海)有限公司