一種冷卻裝置拋光液的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶，所述冷卻桶為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管，所述冷卻桶側(cè)面安裝有磁力泵，T型三通球閥與所述磁力泵連通，所述T型三通球閥上接口與過(guò)濾器連接，所述T型三通球閥側(cè)面安裝有拋光液回管，所述拋光液回管前端位于所述冷卻桶上方。本實(shí)用新型的有益效果為：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，布局緊湊，易于實(shí)施，對(duì)拋光液的冷卻效果顯著等諸多優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】一種冷卻裝置拋光液

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種冷卻裝置拋光液。

【背景技術(shù)】
[0002]目前在拋光過(guò)程中采用的拋光液是分別加入了納米級(jí)磨料的酸性或堿性的化學(xué)液體。在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中具有熱了的釋放，從而造成溫度的上升，而溫度又是影響反應(yīng)速度的關(guān)鍵因素。在機(jī)械作用后將反應(yīng)物及時(shí)的去除，達(dá)到反應(yīng)速度和機(jī)械去除的合理，不能出現(xiàn)去除不徹底或是過(guò)量的機(jī)械作用造成晶圓劃傷現(xiàn)象的發(fā)生。所以拋光過(guò)程中的溫度控制是非常重要的。
[0003]現(xiàn)有的拋光液冷卻桶，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作不方便，冷卻效果不明顯，導(dǎo)致拋光液的溫差較大，容易造成晶圓的劃傷現(xiàn)象出現(xiàn)。因此需要一種操作簡(jiǎn)單，溫控性能可靠的拋光液冷卻裝置拋光液。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]針對(duì)上述問(wèn)題中存在的不足之處，本實(shí)用新型提供一種冷卻裝置拋光液。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶，所述冷卻桶為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管，所述冷卻桶側(cè)面安裝有磁力泵，T型三通球閥與所述磁力泵連通，所述T型三通球閥上接口與過(guò)濾器連接，所述T型三通球閥側(cè)面安裝有拋光液回管，所述拋光液回管前端位于所述冷卻桶上方。
[0006]作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻金屬軟管后端安裝有進(jìn)水管，所述進(jìn)水管前端與所述冷卻桶外層下部連通，所述金屬軟管前端安裝有出水管，所述出水管前端與所述冷卻桶外層上部連通。
[0007]作為本實(shí)用新型優(yōu)選的，所述冷卻金屬軟管與所述進(jìn)水管、以及所述出水管為剛性連接或螺紋連接。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果為:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，布局緊湊，易于實(shí)施，對(duì)拋光液的冷卻效果顯著等諸多優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型一種冷卻裝置拋光液的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1、冷卻桶；2、冷卻金屬軟管；3、磁力泵；4、T型三通球閥；5、過(guò)濾器；6、拋光液回管；7、進(jìn)水管；8、出水管。

【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種冷卻裝置拋光液，冷卻桶1，所述冷卻桶I為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶I內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管2，所述冷卻桶I側(cè)面安裝有磁力泵3，T型三通球閥4與所述磁力泵3連通，所述T型三通球閥4上接口與過(guò)濾器5連接，所述T型三通球閥4側(cè)面安裝有拋光液回管6，所述拋光液回管6前端位于所述冷卻桶I上方。所述冷卻金屬軟管2后端安裝有進(jìn)水管7，所述進(jìn)水管7前端與所述冷卻桶I外層下部連通，所述金屬軟管2前端安裝有出水管8，所述出水管8前端與所述冷卻桶I外層上部連通，所述冷卻金屬軟管2與所述進(jìn)水管7、以及所述出水管8為剛性連接或螺紋連接。
[0012]具體使用時(shí):冷卻水通過(guò)管路通過(guò)冷卻桶和冷卻金屬軟管形成一個(gè)循環(huán)的冷卻回路，拋光液置于冷卻桶中，由冷卻桶和冷卻金屬軟管對(duì)其進(jìn)行熱交換，磁力泵拋光液對(duì)拋光液提供壓力，使其通過(guò)T型三通球閥，然后分成兩路，一路經(jīng)過(guò)過(guò)濾器輸入至拋光機(jī)中使用，另外一路流回冷卻桶，此回路是可以對(duì)T型三通球閥進(jìn)行調(diào)節(jié)來(lái)控制機(jī)器所需要的拋光液流量。
[0013]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種冷卻裝置拋光液，其特征在于，包括: 冷卻桶(I)，所述冷卻桶⑴為雙層結(jié)構(gòu)，所述雙層之間留有空隙，所述冷卻桶⑴內(nèi)部設(shè)有冷卻金屬軟管(2)，所述冷卻桶(I)側(cè)面安裝有磁力泵(3)，T型三通球閥(4)與所述磁力泵(3)連通，所述T型三通球閥(4)上接口與過(guò)濾器(5)連接，所述T型三通球閥(4)側(cè)面安裝有拋光液回管(6)，所述拋光液回管(6)前端位于所述冷卻桶(I)上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置拋光液，其特征在于:所述冷卻金屬軟管(2)后端安裝有進(jìn)水管(7)，所述進(jìn)水管(7)前端與所述冷卻桶(I)外層下部連通，所述金屬軟管(2)前端安裝有出水管(8)，所述出水管(8)前端與所述冷卻桶(I)外層上部連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻裝置拋光液，其特征在于:所述冷卻金屬軟管(2)與所述進(jìn)水管(7)、以及所述出水管(8)為剛性連接或螺紋連接。
【文檔編號(hào)】B24B55/00GK204195531SQ201420492932
【公開(kāi)日】2015年3月11日 申請(qǐng)日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】岳偉, 毛可勇, 殷華林, 李海寧, 戴安娜, 伊蓮娟, 陳志嵩 申請(qǐng)人:常州貝斯塔德機(jī)械股份有限公司