一種掩模板的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種掩模板。該掩模板包括第一膜層和第二膜層，第二膜層覆疊在第一膜層上，第一膜層采用無紡布或陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。該掩模板通過使掩模板的第一膜層采用無紡布或陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材質(zhì)的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度；同時，上述膜層材質(zhì)的掩模板能使其不容易發(fā)生受熱形變，從而保證了掩模板成膜的精密度。
【專利說明】一種掩模板

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及顯示產(chǎn)品的成膜【技術領域】，具體地，涉及一種掩模板。

【背景技術】
[0002]應用有機電致發(fā)光二極管(OLED,Organic Light-Emitting D1de)的顯示器也被稱為OLED顯示器或者是有機電致發(fā)光顯示器，它是一種新型的平板顯示器，因其具有主動發(fā)光、對比度高以及響應速度快等優(yōu)點，而得到廣泛應用。
[0003]在制作OLED顯示器的過程中需要將有機材料蒸鍍到玻璃基板表面，而蒸鍍有機材料的過程中需要采用掩模板，以便在玻璃基板上得到所需的圖案。
[0004]目前，掩模板一般采用金屬掩模板，金屬掩模板通常包括框架以及通過該框架支撐的設置有成膜圖案的掩模?？蚣芎脱谀５牟馁|(zhì)一般為Invar (因瓦合金，即含有35.4%鎳的鐵合金)，Invar的膨脹系數(shù)為1.2 X 10_6°C，密度為8.1g/cm3，熱傳導系數(shù)為10W/m.k，t匕熱為515J/kg，抗拉伸強度為590Mpa，Invar的上述物理特性使其很適合用作掩模板。
[0005]為了使設置有成膜圖案的掩模具有較高的平坦度，需要將掩模拉伸后固定在框架上，并通過框架張緊，所以框架需要有能滿足掩模張緊的強度，為此框架通常需要具備一定的厚度和重量?？蚣艿牟馁|(zhì)一般為Invar或SUS材料，這些材料的密度相對較大。當框架需要對面積較大的掩模進行張緊時，框架本身的重量通常也會比較大，此時，很容易導致機械手在傳送框架時受到限制。
[0006]另外，采用Invar的框架對掩模進行張緊支撐形成的掩模板平坦度不高，如掩模表面不同位置的高度差會達到10um?150um。當掩模板尺寸較大時，其平坦度會進一步下降，對成膜工藝產(chǎn)生比較嚴重的陰影影響，從而影響OLED的性能。
[0007]同時，掩模板屬于消耗品，當使用一定次數(shù)精度下降時，就需要廢棄處理，而Invar材料及加工的價格非常高昂，導致在大規(guī)模生產(chǎn)中掩模板的成本在產(chǎn)品成本中占有非常大的比重。
實用新型內(nèi)容
[0008]本實用新型針對現(xiàn)有技術中存在的上述技術問題，提供一種掩模板。該掩模板的重量小于采用因瓦合金材質(zhì)的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度。
[0009]本實用新型提供一種用于成膜的掩模板，包括第一膜層和第二膜層，所述第二膜層覆疊在所述第一膜層上，所述第一膜層采用無紡布或陶瓷板，所述第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。
[0010]優(yōu)選地，所述第一膜層和所述第二膜層的材質(zhì)密度均小于8.lg/cm3，膨脹系數(shù)均小于1.2X10_6/°C，熱傳導系數(shù)均小于10ff/m.k。
[0011]優(yōu)選地，所述無紡布的耐受溫度范圍為400°C以內(nèi)，所述陶瓷板的耐受溫度范圍為1400°C 以內(nèi)。
[0012]優(yōu)選地，所述無紡布采用聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、熱塑性彈性體纖維、熱塑性聚烯烴纖維、熱熔接性復合纖維、麻纖維、粘結纖維、銀纖維、環(huán)氧類化合物的聚乳酸纖維、碳纖維、烯烴系聚合物、滌綸化纖、錦綸化纖、粘膠化纖、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纖維、芳香族聚酯、棉纖維和絲纖維中的任意一種材料。
[0013]優(yōu)選地，所述第二膜層的厚度范圍為1-1000 μ m。
[0014]優(yōu)選地，還包括覆疊在所述第二膜層上的第三膜層，所述第三膜層采用UV固化膠或熱固化膠。
[0015]優(yōu)選地，所述掩模板上設置有鏤空的成膜圖案，對應在所述成膜圖案的邊緣，所述第三膜層完全包覆所述第一膜層和所述第二膜層。
[0016]優(yōu)選地，所述第三膜層的厚度范圍為50-3000 μ m。
[0017]優(yōu)選地，其特征在于，所述熱固化膠的固化溫度范圍為10°C -200°C。
[0018]優(yōu)選地，還包括粘貼層，所述粘貼層設置在所述第一膜層的背對所述第二膜層的一側，且位于所述第一膜層的邊緣。
[0019]本實用新型的有益效果:本實用新型所提供的掩模板，通過使掩模板的第一膜層采用無紡布或陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材質(zhì)的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度；同時，上述膜層材質(zhì)的掩模板能使其不容易發(fā)生受熱形變，從而保證了掩模板成膜的精密度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型實施例1中掩模板的結構俯視圖；
[0021]圖2為圖1中掩模板沿A1A2剖切線進行剖切的剖視圖。
[0022]其中的附圖標記說明:
[0023]1.第一膜層；2.第二膜層；3.第三膜層；4.成膜圖案；41.一次切割后的成膜圖案邊緣；42.二次切割后的成膜圖案邊緣；5.粘貼層。

【具體實施方式】
[0024]為使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型所提供的一種掩模板作進一步詳細描述。
[0025]實施例1:
[0026]本實施例提供一種用于成膜的掩模板，如圖1和圖2所示，包括第一膜層I和第二膜層2，第二膜層2覆疊在第一膜層I上，第一膜層I采用無紡布，第二膜層2采用UV固化膠或熱固化膠。
[0027]其中，第一膜層I和第二膜層2的材質(zhì)密度均小于8.lg/cm3，膨脹系數(shù)均小于1.2X10_6/°C，熱傳導系數(shù)均小于10ff/m.k。
[0028]由于第一膜層I和第二膜層2的材質(zhì)密度均小于8.lg/cm3，該密度為目前掩模板通常采用的材質(zhì):因瓦合金的密度，所以在體積相同的情況下，本實施例中掩模板的重量小于采用因瓦合金材質(zhì)的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度；第一膜層I和第二膜層2的膨脹系數(shù)均小于1.2X 10_6/°C、熱傳導系數(shù)均小于10W/m -k,能使第一膜層I和第二膜層2不容易發(fā)生受熱形變，從而保證了掩模板成膜的精密度。
[0029]本實施例中，采用滿足上述物理參數(shù)性能的無紡布、UV固化膠或熱固化膠材料制成的掩模板既能確保重量輕，又能保證成膜所需要滿足的平坦度和精密度。其中，無紡布的耐受溫度范圍為400°C以內(nèi)，而通常成膜的環(huán)境溫度在180°C范圍內(nèi)，熱固化膠的固化溫度范圍為10°C -200°C,UV固化膠的固化溫度低于熱固化膠的固化溫度，因此該耐受溫度能夠確保無紡布在掩模板制作以及成膜過程中不會因溫度超出了其耐受溫度范圍而損壞或變形。另外，采用無紡布、UV固化膠或熱固化膠形成掩模板還大大節(jié)約了成本。
[0030]本實施例中，無紡布采用聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、熱塑性彈性體纖維、熱塑性聚烯烴纖維、熱熔接性復合纖維、麻纖維、粘結纖維、銀纖維、環(huán)氧類化合物的聚乳酸纖維、碳纖維、烯烴系聚合物、滌綸化纖、錦綸化纖、粘膠化纖、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纖維、芳香族聚酯、棉纖維和絲纖維中的任意一種材料。這些材料中任意一種的物理性能均滿足上述第一膜層I的參數(shù)性能。
[0031]其中，第二膜層2的厚度范圍為1-1000μπι。第二膜層2的厚度越厚，則掩模板的強度越好，如此能夠進一步確保掩模板的平坦度，從而進一步確保采用該掩模板成膜的平坦度和精密度。
[0032]本實施例中，掩模板還包括覆疊在第二膜層2上的第三膜層3，第三膜層3采用UV固化膠或熱固化膠。該UV固化膠或熱固化膠的物理性能滿足上述第二膜層2的參數(shù)性能。
[0033]本實施例中，掩模板上設置有鏤空的成膜圖案4，對應在成膜圖案4的邊緣，第三膜層3完全包覆第一膜層I和第二膜層2。由于成膜圖案4通過激光切割首先在第一膜層I和第二膜層2中形成，經(jīng)激光切割后的第一膜層I也即無紡布膜層在成膜圖案4的邊緣(即圖1中一次切割后的成膜圖案邊緣41)容易出現(xiàn)毛邊，所以通常還要在第二膜層2上涂布第三膜層3，并在經(jīng)過二次切割后的成膜圖案4的邊緣(即圖1和圖2中二次切割后的成膜圖案邊緣42)，第三膜層3完全包覆第一膜層I和第二膜層2，這能確保最終形成的成膜圖案4的邊緣精度在5 μ m以下，從而提高了成膜的精度和質(zhì)量。
[0034]其中，第三膜層3的厚度范圍為50-3000 μ m。第三膜層3的厚度越厚，則掩模板的強度越好，如此能夠進一步確保掩模板的平坦度，從而進一步確保采用該掩模板成膜的平坦度和精密度。
[0035]本實施例中，熱固化膠的固化溫度范圍為10°C -200°C,UV固化膠的固化溫度低于熱固化膠的固化溫度，通常，采用掩模板進行成膜的環(huán)境溫度一般在180°C范圍內(nèi)，熱固化膠或UV固化膠的固化溫度一方面能夠確保掩模板在成膜過程中，熱固化膠或UV固化膠不僅不會被熔化，而且能確保熱固化膠或UV固化膠呈具有一定強度的固體狀態(tài)，從而確保成膜過程中掩模板能夠正常發(fā)揮其作用；另一方面還能確保熱固化膠或UV固化膠在固化過程中不會對無紡布造成損壞。
[0036]本實施例中，掩模板還包括粘貼層5,粘貼層5設置在第一膜層I的背對第二膜層2的一側，且位于第一膜層I的邊緣。通常在成膜工藝中，需要將掩模板與成膜基板對位貼合在一起，以便通過蒸鍍或濺射的方法在成膜基板上形成包括成膜圖案4的膜層，粘貼層5的設置，便于掩模板與成膜基板之間的對位貼合，從而確保了成膜的平坦度和精密度。
[0037]其中，粘貼層5可以采用雙面膠等具有粘附作用的材料。將粘貼層5設置在第一膜層I的邊緣，既能使掩模板與成膜基板對位貼合在一起，又不會影響成膜圖案4區(qū)域的正常成膜。
[0038]本實施例中的掩模板的制備方法包括如下步驟:
[0039]步驟1:在無紡布上均勻涂布一層UV固化膠或熱固化膠材料。
[0040]UV固化膠或熱固化膠能夠限制無紡布的延展性，并使掩模板具有一定的強度。通常將無紡布的尺寸設置為與成膜基板的尺寸相同。
[0041]步驟2:UV固化膠或熱固化膠固化后，在鍍膜無紡布上進行激光切割，切割出尺寸略大于成膜圖案4的圖案(如圖1中一次切割后的成膜圖案邊緣41)，且該圖案的形狀與成膜圖案4的形狀相同。
[0042]其中，激光切割需要進行高功率快速切割，以免造成無紡布、UV固化膠或熱固化膠切割邊緣燒蝕。
[0043]步驟3:在切割完成后的UV固化膠或熱固化膠上再涂布一層UV固化膠或熱固化膠材料，待膠固化后進行第二次激光切割，最終切割形成成膜圖案4(如圖1和圖2中二次切割后的成膜圖案邊緣42)。
[0044]步驟4:在無紡布側邊緣區(qū)域貼附雙面膠。
[0045]至此，掩模板制備完畢。成膜時，通過雙面膠將掩模板對應貼附到成膜基板上即可。
[0046]實施例2:
[0047]本實施例提供一種掩模板，與實施例1不同的是，本實施例中的第一膜層采用陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。
[0048]其中，陶瓷板、UV固化膠或熱固化膠的物理性能均滿足實施例1中第一膜層和第二膜層的參數(shù)性能，因此采用陶瓷板和UV固化膠或熱固化膠材質(zhì)制成的掩模板既能確保重量輕，又能保證成膜所需要滿足的平坦度和精密度。其中，陶瓷板的耐受溫度范圍為1400°C以內(nèi)，該耐受溫度能夠確保陶瓷板在掩模板制作以及成膜過程中不會因溫度超出了其耐受溫度范圍而損壞或變形。
[0049]本實施例中掩模板的其他結構、材質(zhì)及制備方法與實施例1中相同，此處不再贅述。
[0050]實施例3:
[0051]本實施例提供一種掩模板，與實施例1-2不同的是，本實施例中的掩模板不包括第三膜層。
[0052]只要確保第一膜層在成膜圖案的邊緣的平整度不會嚴重影響到成膜圖案的精密度即可。
[0053]相應地，本實施例中掩模板的制備方法只需三個步驟，步驟I與實施例1-2任一中的步驟I相同。步驟2只需在UV固化膠或熱固化膠固化后，在鍍膜無紡布或鍍膜陶瓷板上進行激光切割，最終切割形成成膜圖案。步驟3與實施例1-2任一中的步驟4相同。
[0054]本實施例中掩模板的其他結構、材質(zhì)及制備方法與實施例1-2任意一個中相同，此處不再贅述。
[0055]實施例4:
[0056]本實施例提供一種掩模板,與實施例1-3不同的是,本實施例中的掩模板不包括粘貼層。
[0057]如:掩模板與成膜基板之間可以通過靜電吸附裝置進行對位貼合。
[0058]相應地，掩模板的制備方法中也不再包括步驟:在無紡布或陶瓷板側邊緣區(qū)域貼附雙面膠。
[0059]本實施例中掩模板的其他結構、材質(zhì)及制備方法與實施例1-3任意一個中相同，此處不再贅述。
[0060]實施例1-4的有益效果:實施例1-4所提供的掩模板通過使掩模板的第一膜層采用無紡布或陶瓷板，第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠，使掩模板的重量小于采用因瓦合金材質(zhì)的掩模板的重量，從而使掩模板傳送和使用起來更加方便；針對尺寸較大的掩模板，重量的減輕還能進一步確保掩模板的平坦度，進而進一步確保掩模板的精密度；同時，上述膜層材質(zhì)的掩模板能使其不容易發(fā)生受熱形變，從而保證了掩模板成膜的精密度。
[0061]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內(nèi)的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種用于成膜的掩模板，包括第一膜層和第二膜層，所述第二膜層覆疊在所述第一膜層上，其特征在于，所述第一膜層采用無紡布或陶瓷板，所述第二膜層采用UV固化膠或熱固化膠。
2.根據(jù)權利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第一膜層和所述第二膜層的材質(zhì)密度均小于8.lg/cm3，膨脹系數(shù)均小于1.2X 10_6/°C，熱傳導系數(shù)均小于10W/m.k。
3.根據(jù)權利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述無紡布的耐受溫度范圍為400°C以內(nèi)，所述陶瓷板的耐受溫度范圍為1400°C以內(nèi)。
4.根據(jù)權利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述無紡布采用聚酰亞胺纖維、聚苯硫醚纖維、熱塑性彈性體纖維、熱塑性聚烯烴纖維、熱熔接性復合纖維、麻纖維、粘結纖維、銀纖維、環(huán)氧類化合物的聚乳酸纖維、碳纖維、烯烴系聚合物、滌綸化纖、錦綸化纖、粘膠化纖、聚丙烯、聚丙烯腈、聚酰胺、聚酯纖維、芳香族聚酯、棉纖維和絲纖維中的任意一種材料。
5.根據(jù)權利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述第二膜層的厚度范圍為1-1000 μ mD
6.根據(jù)權利要求5所述的掩模板，其特征在于，還包括覆疊在所述第二膜層上的第三膜層，所述第三膜層采用UV固化膠或熱固化膠。
7.根據(jù)權利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上設置有鏤空的成膜圖案，對應在所述成膜圖案的邊緣，所述第三膜層完全包覆所述第一膜層和所述第二膜層。
8.根據(jù)權利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述第三膜層的厚度范圍為50-3000 μ mD
9.根據(jù)權利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述熱固化膠的固化溫度范圍為10C -200。。。
10.根據(jù)權利要求1所述的掩模板，其特征在于，還包括粘貼層，所述粘貼層設置在所述第一膜層的背對所述第二膜層的一側，且位于所述第一膜層的邊緣。
【文檔編號】C23C14/04GK204058584SQ201420472732
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年8月20日 優(yōu)先權日:2014年8月20日
【發(fā)明者】王劭顓 申請人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司