一種化學機械拋光用配料桶的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種化學機械拋光用配料桶，包括料桶，所述料桶底部設置有支架，頂部設置有桶蓋，所述桶蓋上開有投料口，所述桶蓋中心垂直設置有帶有攪拌器的電動攪拌泵，所述料桶下端設置有排料口，排料口處設置有閥門；所述料桶的外圍設置有帶有進水口和出水口的冷卻水套，所述攪拌器表面設置有耐酸堿層。本實用新型結構簡單，方便、快捷、實用，無需將拋光設備停機以更換拋光液，能夠保證化學機械拋光工序的連續(xù)進行，省時省力，提高了工作效率，降低了生產成本；采用此配料桶配制的拋光液化學穩(wěn)定性好，保證了碳化硅晶片良好的拋光效果。
【專利說明】一種化學機械拋光用配料桶
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種配料桶，具體涉及一種化學機械拋光用配料桶。
【背景技術】
[0002]碳化硅晶片進行化學機械拋光時，需要定時更換拋光液，這樣能夠保證拋光液的化學穩(wěn)定性和有效性，保證拋光液對于晶片的化學作用，進而保證晶片表面有良好的拋光效果。目前傳統(tǒng)方法是等到需要更換拋光液的時候，將拋光設備停機，然后將使用過的拋光液排廢，按照拋光液中各個組分的比例進行配料，倒入拋光設備自帶的料桶后再攪拌一定時間。其不足之處在于:需要將拋光設備停機，手工進行配料費時費力，導致工作效率低；并且拋光液混合不充分，化學穩(wěn)定性差，影響碳化硅晶片的拋光效果。

【發(fā)明內容】

[0003]針對現(xiàn)有技術的不足之處，本實用新型提供了一種方便、快捷、實用的化學機械拋光用配料桶，克服了碳化硅晶片進行化學機械拋光時需要將拋光設備停機，手工進行配料費時費力，導致工作效率低，并且拋光液混合不充分，化學穩(wěn)定性差，影響碳化硅晶片拋光效果的問題。
[0004]本實用新型的具體技術方案是:
[0005]一種化學機械拋光用配料桶，包括料桶，所述料桶底部設置有支架，頂部設置有桶蓋，所述桶蓋上開有投料口，所述桶蓋中心垂直設置有帶有攪拌器的電動攪拌泵，所述料桶下端設置有排料口，排料口處設置有閥門。
[0006]所述桶蓋上開有投料口，約占桶蓋的三分之一，之所以這樣設置投料口，一方面是方便投料，另一方面是在攪拌時起到一定的散熱作用，同時防止料液飛濺。
[0007]所述電動攪拌泵由四個螺絲垂直固定于桶蓋中心的表面，這樣可以方便拆卸。
[0008]當對碳化硅晶片進行化學機械拋光時，將帶有支架的配料桶靠近拋光設備放置，使得拋光設備自帶料桶上方正對著配料桶上的排料口，這樣需要更換拋光設備自帶料桶中的拋光液之前，可以先將拋光液各個組分按照一定的比例由投料口投入配料桶內，并按照使用要求開啟攪拌泵攪拌一定時間，使得拋光液各組分混合均勻，形成化學性質穩(wěn)定的溶液；再將拋光設備自帶料桶內的使用過的拋光液進行排廢，當拋光設備自帶料桶內的使用過的拋光液剩余20%體積時，關閉設備排廢閥，開啟配料桶排料口處的閥門，使得配料桶內的新配制的拋光液由排液口進入拋光設備自帶的料桶內，以保證化學拋光工序的連續(xù)進行。
[0009]由于拋光液中大多都是化學酸堿物質，在攪拌過程中容易產生大量熱量，所述料桶的外圍設置有冷卻水套，所述冷卻水套上設置有進水口和出水口，這樣可以起到降溫冷卻的作用。
[0010]由于拋光液中大多都是化學酸堿物質，所述配料桶均是由耐酸堿材料制成，并且所述攪拌器表面設置有耐酸堿層，以保證人身安全，延長配料桶的使用壽命，降低使用成本。
[0011]本實用新型結構簡單，方便、快捷、實用，無需將拋光設備停機以更換拋光液，能夠保證化學機械拋光工序的連續(xù)進行，省時省力，提高了工作效率，降低了生產成本；采用此配料桶配制的拋光液化學穩(wěn)定性好，保證了碳化硅晶片良好的拋光效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0013]圖2是圖1的俯視圖。
[0014]圖中I是料桶，2是閥門，3是排料口，4是冷卻水套，5是投料口，6是攪拌泵，7是桶蓋，8是支架，9是進水口，10是出水口。
【具體實施方式】
[0015]一種化學機械拋光用配料桶，包括料桶I，所述料桶I底部設置有支架8，頂部設置有桶蓋7，所述桶蓋7上開有投料口 5，所述桶蓋7中心垂直設置有帶有攪拌器的電動攪拌泵6，所述料桶I下端設置有排料口 3，排料口 3處設置有閥門2。
[0016]所述電動攪拌泵6由四個螺絲垂直固定于桶蓋7中心的表面，這樣可以方便拆卸。
[0017]由于拋光液中大多都是化學酸堿物質，在攪拌過程中容易產生大量熱量，所述料桶I的外圍設置有冷卻水套4，所述冷卻水套4上設置有進水口 9和出水口 10，這樣可以起到降溫冷卻的作用。
[0018]由于拋光液中大多都是化學酸堿物質，所述配料桶均是由耐酸堿材料制成，并且所述攪拌器表面設置有耐酸堿層，以保證人身安全，延長配料桶的使用壽命，降低使用成本。
[0019]當對碳化硅晶片進行化學機械拋光時，將帶有支架8的配料桶靠近拋光設備放置，使得拋光設備自帶料桶上方正對著配料桶上的排料口 3，這樣需要更換拋光設備自帶料桶中的拋光液之前，可以先將拋光液各個組分按照一定的比例由投料口投入配料桶內，并按照使用要求開啟攪拌泵6攪拌一定時間，使得拋光液各組分混合均勻，形成化學性質穩(wěn)定的溶液；再將拋光設備自帶料桶內的使用過的拋光液進行排廢，當拋光設備自帶料桶內的使用過的拋光液剩余20%體積時，停止設備排廢，開啟配料桶排料口 3處的閥門2，使得配料桶內的新配制的拋光液由排料口 3進入拋光設備自帶的料桶內，以保證化學拋光工序的連續(xù)進行。
【權利要求】
1.一種化學機械拋光用配料桶，包括料桶(1)，其特征在于:所述料桶(I)底部設置有支架(8)，頂部設置有桶蓋(7)，所述桶蓋(7)上開有投料口(5)，所述桶蓋(7)中心垂直設置有帶有攪拌器的電動攪拌泵(6)，所述料桶(I)下端設置有排料口(3)，排料口(3)處設置有閥門(2)。
2.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光用配料桶，其特征在于:所述料桶(I)的外圍設置有冷卻水套(4)。
3.根據(jù)權利要求2所述的化學機械拋光用配料桶，其特征在于:所述冷卻水套(4)上設置有進水口(9)和出水口(10)。
4.根據(jù)權利要求1所述的化學機械拋光用配料桶，其特征在于:所述攪拌器表面設置有耐酸堿層。
【文檔編號】B24B57/02GK203650260SQ201420021216
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年1月14日 優(yōu)先權日:2014年1月14日
【發(fā)明者】王含冠, 梁慶瑞, 張紅巖 申請人:山東天岳先進材料科技有限公司