兩端全開啟式真空室的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及兩端全開啟式真空室，包括腔體、法蘭門板所述腔體上設(shè)有抽氣孔，腔體兩端均設(shè)有開口，腔體兩端采用法蘭門板封閉開口，腔體橫截面呈圓形。本實(shí)用新型安裝、維護(hù)方便，真空室內(nèi)的靶材清潔方便，真空室為兩端開啟結(jié)構(gòu)，鍍膜件可從一端進(jìn)出、靶材可從另一端進(jìn)出，實(shí)現(xiàn)了流水線式加工作業(yè)，提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】?jī)啥巳_啟式真空室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型具體涉及兩端全開啟式真空室，用于真空鍍膜設(shè)備的真空室，屬機(jī)械制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜是需要在較高真空度條件下進(jìn)行的鍍膜，因此鍍膜的關(guān)鍵在與真空室，通常的真空為一端可開啟，另一端為固定封閉式，可開啟的一端采用推拉開啟方式，通常的開啟方式存在鍍膜件的進(jìn)出只能單一從一個(gè)開口出入，進(jìn)出不便，真空室內(nèi)需要清潔時(shí)，封閉一端不易清潔，需要工人進(jìn)入室內(nèi)，帶來(lái)許多不便和安全問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，而提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，安裝維護(hù)方便的兩端全開啟式真空室。
[0004]本實(shí)用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是:該兩端全開啟式真空室，包括腔體、法蘭門板所述腔體上設(shè)有抽氣孔，其特征在于:腔體兩端均設(shè)有開口，腔體兩端采用法蘭門板封閉開口，腔體橫截面呈圓形。
[0005]本實(shí)用新型所述兩個(gè)開口在同一中軸線上。
[0006]本實(shí)用新型還包括移動(dòng)架，所述移動(dòng)架與法蘭門板固定安裝。
[0007]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)及效果:
[0008]1、該結(jié)構(gòu)的真空室安裝、維護(hù)方便，真空室內(nèi)的靶材清潔方便。
[0009]2、真空室為兩端開啟結(jié)構(gòu)，鍍膜件可從一端進(jìn)出、靶材可從另一端進(jìn)出，實(shí)現(xiàn)了流水線式加工作業(yè)，提高了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖并通過實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0012]實(shí)施例:
[0013]參見圖1，本實(shí)用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案是:該端全開啟室真空室，包括腔體1、法蘭門板2所述腔體上設(shè)有抽氣孔3，所述腔體I兩端均設(shè)有開口 11，腔體I兩端采用法蘭門板2封閉開口 11，所述兩端的兩個(gè)開口 11在同一中軸線上，一個(gè)開口 11對(duì)應(yīng)一個(gè)法蘭門板2。
[0014]本實(shí)用新型還包括移動(dòng)架4，法蘭門板2下端與移動(dòng)架4固定連接，移動(dòng)架4支撐法蘭門板2的移動(dòng)，所述移動(dòng)架4包括支撐板41，滾輪42，支撐板41支撐法蘭門板2，滾輪42與支撐板41轉(zhuǎn)動(dòng)連接，因此法蘭門板2的開合更加輕松，便捷。[0015]此外，需要說明的是，本說明書中所描述的具體實(shí)施例，其各部分名稱等可以不同，凡依本實(shí)用新型專利構(gòu)思所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效或簡(jiǎn)單變化，均包括于本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，只要不偏離本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.兩端全開啟式真空室，包括腔體、法蘭門板所述腔體上設(shè)有抽氣孔，其特征在于:腔體兩端均設(shè)有開口，腔體兩端采用法蘭門板封閉開口，腔體橫截面呈圓形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兩端全開啟式真空室，其特征在于:所述兩個(gè)開口在同一中軸線上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兩端全開啟式真空室，其特征在于:還包括移動(dòng)架，所述移動(dòng)架與法蘭門板固定安裝。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK203668507SQ201320767655
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】朱家駿 申請(qǐng)人:嘉興中科奧度新材料有限公司