專利名稱：一種掩?？蚣芗捌鋵难谀＝M件的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及掩模板制造領域，具體而言，涉及一種掩?？蚣芗捌鋵难谀＝M件。
背景技術：
與現行IXD技術相較，利用有機發(fā)光二級管(OLED)技術所制成的顯示器不僅具有可全彩化、反應時間快、高亮度(100-14，000cd/m2)、高流明效率(16_381m/W)、170度以上的視角、無一般LCD殘影、可制作成大尺寸與可撓曲性面板、能夠在攝氏-30度 80度的范圍內作業(yè)等優(yōu)勢，而且制程簡單、整體厚度也能縮小至Imm以下、成本更僅有TFT-1XD的3(Γ40%。因此，利用OLED技術所制成的顯示器在深得社會歡迎。目前，OLED技術所制成的顯示器在小尺寸上已經達到量產技術，而且相對較為成熟。但為了通過同時制造多個OLED顯示器以實現產量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統大襯底的尺寸，相應的就必須增大用于蒸鍍有機材料的掩模組件的尺寸。圖1所示是傳統用于蒸鍍有機材料的掩模組件的結構示意圖，其包括外框11及通過外框焊點120固定在外框11上的掩模部12，掩模部12是通過在兩端施加拉力繃緊后焊接到外框11上，焊接后釋放拉力。掩模組件水平放置時，由于掩模部12沿原來拉力反方向回縮導致外框11上下(圖1中上下方位)支撐部分出現圖中所示內凹現象，從而使得掩模部12出現下垂(特別是掩模部12中間區(qū)域)，如此造成的后果是蒸鍍得到的圖案位置精度、尺寸大小相對都會有一定的偏差，從而影響產品的質量及良率。中國專利申請·號為2010101136655公開了一種掩模組件及用于使用該掩模組件的平板顯示器的沉積設備，其主要結構在于:掩模組件的外框上設置有橫跨外框構成的開口區(qū)域的支撐棒，從而減少掩模部的下垂量。中國專利專利號為01138161.2提供了一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模，其包括:具有多個孔的主框架，自掩模根據要制造的尺寸和圖案而裝配在主框架的孔內。以上方式在實現OLED顯示器量產上有一定的作用，但在制作大尺寸顯示屏上具有一定局限。

實用新型內容有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一種掩?？蚣芗捌鋵难谀＝M件，包括邊框、連接機構、強化槽，所述邊框為兩組對邊構成的中空框架結構，所述強化槽為平行于所述對邊長度方向的長條通孔且設置在所述對邊上，所述對邊上有穿過所述長條通孔的孔，所述孔被所述長條通孔截斷形成內側孔和外側孔，所述外側孔為通孔，所述連接機構是一端具有直徑大于所述外側孔直徑的端部及具有外螺紋的桿部，所述內側孔有螺紋且與所述桿部連接。根據本實用新型背景技術中對現有技術所述，在為了通過同時制造多個OLED顯示器以實現產量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統大襯底的尺寸以及用于蒸鍍有機材料的掩模組件的尺寸，由此則帶來一個掩模板中部下垂的問題，影響產品的最終品質；本實用新型提供的掩?？蚣芡ㄟ^利用強化槽和連接機構強化的作用下，可以再次將掩模板繃緊以克服下垂問題，解決掩模板中部下垂的問題，保證了大尺寸產品的最終品質。另外，根據本實用新型公開的掩?？蚣苓€具有如下附加技術特征:進一步地，所述螺紋是密紋螺紋，密紋螺紋可以對所述框架受力情況進行微調，更容易調節(jié)和控制。進一步，所述邊框是一體成型結構或由所述對邊連接形成的結構。所述邊框一體成型可以保證更高的精度，而由對邊聯接形成的結構可以讓加工更加簡便成本更低。進一步，所述強化槽是與所述對邊一體成型形成的結構或是由所述對邊的內外側部件連接形成的結構?？蛇x地，所述強化槽是至少有一組形成在所述對邊上。強化槽可以只有一組設置在一組對邊上，也可以有兩組分別設置在兩組對邊上?？蛇x地，所述孔是貫穿通孔或所述內側孔是盲孔。所述孔可以是貫穿所述對邊的通孔；也可以是所述內側孔為盲孔的結構，當所述對邊為聯接結構時，此結構可以更大限度的保證所述框架的整體受力情況和整體精度。 進一步地，所述孔在所述對邊上規(guī)律排布。更進一步地，所述孔是中間密集兩端稀疏排布或均勻排布或中間稀疏兩端密集。由于所述對邊受力情況一般是所述對邊中部受力大，所以中間密集兩端稀疏排布對力的分布調節(jié)更有益處。進一步地，所述掩?？蚣馨ㄖ螚U，所述支撐桿與所述對邊的內側連接。所述支撐桿的上表面可以和所述對邊的上表面處于同一平面上，如此可以提供更好的支撐作用。本實用新型還提供一種掩膜組件，所述掩模組件包括上述提及的所述掩?？蚣芎脱谀２考?，所述掩模部件與所述掩?？蚣苡泄潭摻硬课唬龉潭摻硬课还潭摻釉跇嫵伤鲅谀？蚣艿乃鰧叺纳媳砻媲以谒鰪娀鄣膬葌?，所述掩模部件包括掩模圖案區(qū)域，所述掩模部件是整體一塊或多個單元拼接而成的結構。進一步地，所述固定聯接部位為膠聯接結構或焊接結構。進一步地，所述掩模部件是一整塊或多個掩模單元拼接而成的結構。本實用新型附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從
以下結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:圖1所示是傳統用于蒸鍍有機材料的掩模組件的結構示意圖；圖2所示為本實用新型一種掩?？蚣艿膶嵤├疽鈭D；[0030]圖3所示為本實用新型一種掩?？蚣艿钠矫娼Y構示意圖；圖4所示為本實用新型另一種掩?？蚣艿钠矫娼Y構示意圖；圖5所示為圖3中31部分放大示意圖；圖6所示為本實用新型一實施例掩模框架整體平面示意圖；圖7所示為圖6中62部分放大示意圖；圖8所示為圖6中62區(qū)域沿A-A方向截面示意圖；圖9所示是掩模組件的結構示意圖；圖10所示是圖9中S-S方向所示截面示意圖；圖11所示為圖10中101部分放大示意圖；圖12所示為本實用新型的一實施例示意圖；圖13所示為本實用新型的一實施例示意圖；圖1中，外框——11，焊點——120，掩模部——12 ；圖2中，邊框——21，連接機構——22，強化槽——23，對邊——211、212 ；圖3中，待放大區(qū)域一31 ；圖5中，611為內側孔，612為外側孔
圖6中，61——用于連接邊框21與強化槽23的孔，62——待放大部分，A-A方向——待解剖方向；圖7中，d-邊框21上強化槽23的間距；圖9中，24——掩模部件，241——焊點，S-S待解剖觀測方向；圖10中，101-待放大區(qū)域；圖12中，213——固定在邊框上的橫梁；圖13中，214——固定在邊框上的豎梁。
具體實施方式下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、
“內”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術語“聯接”、“連通”、“相連”、“連接”、“相聯”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。本實用新型的發(fā)明構思如下，如技術背景所述，在為了通過同時制造多個OLED顯示器以實現產量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統大襯底的尺寸以及用于蒸鍍有機材料的掩模組件的尺寸，由此則帶來一個掩模板中部下垂的問題，影響產品的最終品質；本實用新型提供的掩?？蚣芡ㄟ^利用強化槽和連接機構強化的作用下，可以再次將掩模板繃緊以克服下垂問題，解決掩模板中部下垂的問題，保證了大尺寸產品的最終品質。下面將參照附圖來描述本實用新型的掩?？蚣?，其中圖2所示為本實用新型一種掩?？蚣艿膶嵤├疽鈭D；圖3、圖4為本實用新型平面結構示意圖；圖6為本實用新型一實施例掩?？蚣苷w平面圖；圖9是掩模組件的結構示意圖；圖12、13為本實用新型的一實施例示意圖。根據本實用新型的實施例，如圖2所示，本實用新型提供了一種掩模框架及其對應的掩模組件，包括邊框21、連接機構22、強化槽23，所述邊框21為兩組對邊211、212構成的中空框架結構，所述強化槽23為平行于所述對邊長度方向的長條通孔且設置在所述對邊上，所述對邊上有穿過所述長條通孔的孔61，所述孔61被所述長條通孔截斷形成內側孔611和外側孔612，如圖3所示，所述外側孔612為通孔，所述連接機構22是一端具有直徑大于所述外側孔612直徑的端部及具有外螺紋的桿部，如圖2-5、8所示，所述內側孔611有螺紋且與所述桿部連接。根據本實用新型的一 些實施例，所述螺紋是密紋螺紋，如圖8所示，密紋螺紋可以對所述框架受力情況進行微調，更容易調節(jié)和控制。根據本實用新型的一些實施例，所述邊框21是一體成型結構或由所述對邊211、212連接形成的結構。所述邊框21 —體成型可以保證更高的精度，而由對邊聯接形成的結構可以讓加工更加簡便成本更低。根據本實用新型的一些實施例，所述強化槽23是與所述對邊一體成型形成的結構或是由所述對邊的內外側部件連接形成的結構?？蛇x地，所述強化槽23是至少有一組形成在所述對邊上，如圖2_4、6、9、12、13所示。強化槽23可以只有一組設置在一組對邊211或212上，也可以有兩組分別設置在兩組對邊211、212上，如圖2-4、6、9、12、13所示。根據本實用新型的一些實施例，所述孔61是貫穿通孔或所述內側孔611是盲孔(如圖6-8、11所示)。根據本實用新型的一些實施例，所述孔61可以是貫穿所述對邊的通孔。根據本實用新型的一些實施例，所述內側孔611為盲孔的結構，當所述對邊211、212為聯接結構時，此結構可以更大限度的保證所述框架的整體受力情況和整體精度。根據本實用新型的一些實施例，所述孔61在所述對邊上規(guī)律排布。根據本實用新型的一些實施例，所述孔61是中間密集兩端稀疏排布或均勻排布或中間稀疏兩端密集。由于所述對邊受力情況一般是所述對邊中部受力大，所以中間密集兩端稀疏排布對力量的分布調節(jié)更有益處。根據本實用新型的一些實施例，所述掩?？蚣馨ㄖ螚U，所述支撐桿包括橫梁213和豎梁214，如圖12、13所示，所述支撐桿與所述對邊的內側連接。[0070]所述支撐桿的上表面可以和所述對邊的上表面處于同一平面上，如此可以提供更好的支撐作用。根據本實用新型的一個實施例，圖6所示的配對孔61具有與連接結構相對應的圓柱階梯通孔結構，作為優(yōu)選，強化槽23上側的邊框(圖8中所示方向)與沒有螺紋的圓柱桿長度相適應，其半徑要比圓柱桿的半徑相應的大一些，以便自由滑動；作為優(yōu)選，強化槽23下側的邊框(圖8中所示方向)設有螺紋盲孔，且其深度、半徑與密紋螺紋長度、半徑相當。本實用新型還提供一種掩膜組件:根據本實用新型的一些實施例，所述掩模組件包括上述提及的所述掩?？蚣芎脱谀２考?4，所述掩模部件24與所述掩模框架有固定聯接部位，所述固定聯接部位固定聯接在構成所述掩?？蚣艿乃鰧?11、212的上表面且在所述強化槽23的內側，如圖11所示，所述掩模部件包括掩模圖案區(qū)域，所述掩模部件是整體一塊或多個單元拼接而成的結構。根據本實用新型的一些實施例，所述固定聯接部位為膠聯接結構或焊接結構，SP焊點241,如圖11所示。根據本實用新型的一些實施例，所述掩模部件24是一整塊或多個掩模單元拼接而成的結構。根據本實用新型的一個實施例，將掩模部件24固定在前面所描述的掩模框架上。掩模部件24可以是多塊條形單元掩模結構拼接而成，亦可以是一體成型的單塊掩模；掩模部件24通過膠水粘接、激光焊接或其它方式固定在構成掩?？蚣艿倪吙?1上。如圖9所示，所述掩模部件24由一組平行排列的條形單元掩模構成，其兩端通過焊點241固定在構成掩?？蚣艿倪吙?1上(固定在強化槽內部的邊框上，焊點焊接位置為圖8所示強化槽23下方的邊框——圖8所示方向)。根據本實用新型的一個實施例，圖10所示是圖9所示S-S方向上的截面示意圖，將圖10中101部分進一步放大如圖11所示，其基本結構是在圖8所示機構基礎上焊接有掩模部24。進一步作如下描述:掩模部24通過激光焊接方式焊接到邊框21的邊211上(強化槽內側——圖11中所示23左側的邊框)，焊點為241。根據本實用新型的一些實施例，即在掩?？蚣艿膬炔吭O置有與構成掩?？蚣苓吙?1的兩組對邊211、212分別平行的支撐桿，從而使得掩模組件可以往更大的尺寸發(fā)展。如圖12、13所示，相對之前實施例，圖12中增加一橫梁213，圖13中增加兩相互垂直的梁213、214 ;圖12、13只是一部分拓展實施例，還可以根據需要設計更多類似213、214的橫梁。另外，本實用新型中，邊框211上強化槽的間距d可根據需要設計。盡管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的具體實施方式
進行了詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本實用新型原理的精神和范圍之內。具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的范圍之內，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本實 用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種掩?？蚣埽ㄟ吙?、連接機構、強化槽，其特征在于，所述邊框為兩組對邊構成的中空框架結構，所述強化槽為平行于所述對邊長度方向的長條通孔且設置在所述對邊上，所述對邊上有穿過所述長條通孔的孔，所述孔被所述長條通孔截斷形成內側孔和外側孔，所述外側孔為通孔，所述連接機構是一端具有直徑大于所述外側孔直徑的端部及具有外螺紋的桿部，所述內側孔有螺紋且與所述桿部連接。
2.根據權利要求1所述的掩模框架，其特征在于，所述邊框是一體成型結構或由所述對邊連接形成的結構。
3.根據權利要求1所述的掩?？蚣埽涮卣髟谟?，所述強化槽是與所述對邊一體成型形成的結構或是由所述對邊的內外側部件連接形成的結構。
4.根據權利要求1所述的掩?？蚣埽涮卣髟谟?，所述強化槽是至少有一組形成在所述對邊上。
5.根據權利要求1所述的掩?？蚣埽涮卣髟谟?，所述孔是貫穿通孔或所述內側孔是盲孔。
6.根據權利要求1所述的掩?？蚣?，其特征在于，所述孔在所述對邊上規(guī)律排布。
7.根據權利要求6所述的掩?？蚣?，其特征在于，所述孔是中間密集兩端稀疏排布或均勻排布或中間稀疏兩端密集。
8.根據權利要求1所述的掩?？蚣?，其特征在于，所述掩?？蚣馨ㄖ螚U，所述支撐桿與所述對邊的內側連接。
9.一種掩模 組件，其特征在于，所述掩模組件包括權利要求1-7提及的所述掩?？蚣芎脱谀２考鲅谀２考c所述掩?？蚣苡泄潭摻硬课唬龉潭摻硬课还潭摻釉跇嫵伤鲅谀？蚣艿乃鰧叺纳媳砻媲以谒鰪娀鄣膬葌?，所述掩模部件包括掩模圖案區(qū)域，所述掩模部件是整體一塊或多個單元拼接而成的結構。
10.根據權利要求9所述的掩模組件，其特征在于，所述固定聯接部位為膠聯接結構或焊接結構。
專利摘要本實用新型公開了一種掩?？蚣芗捌鋵难谀＝M件，包括邊框、連接機構、強化槽，其特征在于，所述邊框為兩組對邊構成的中空框架結構，所述強化槽為平行于所述對邊長度方向的長條通孔且設置在所述對邊上，所述對邊上有穿過所述長條通孔的孔，所述孔被所述長條通孔截斷形成內側孔和外側孔，所述外側孔為通孔，所述連接機構是一端具有直徑大于所述外側孔直徑的端部及具有外螺紋的桿部，所述內側孔有螺紋且與所述桿部連接；本實用新型提供的掩?？蚣芡ㄟ^利用強化槽和連接機構強化的作用下，可以再次將掩模板繃緊以克服下垂問題，解決掩模板中部下垂的問題，保證了大尺寸產品的最終品質。
文檔編號C23C14/04GK203159697SQ20132009436
公開日2013年8月28日 申請日期2013年3月1日 優(yōu)先權日2013年3月1日
發(fā)明者魏志凌, 高小平, 潘世珎, 張煒平 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司