專利名稱：一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種PVD(Physical Vapor Deposition)鍍膜裝置,特別指一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置。
背景技術(shù)：
PVD (Physical Vapor Deposition),指利用物理過程實(shí)現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移,將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過程，具有廣泛的應(yīng)用，如鏡片的防水膜層的鍍膜過程。目前，鏡片的防水膜是在基片上鍍防水膜形成的，其一般采用蒸發(fā)防水藥的方法，在真空鍍膜機(jī)內(nèi)將防水藥均勻鍍制在基片上。具體是在真空環(huán)境中，把盛有防水藥的銅坩堝放置在薄片式鑰舟中，鑰舟兩端在通電后發(fā)熱升溫，防水藥受熱蒸發(fā)，使防水藥沉積到基片表面形成薄膜。用鑰作為加熱元件，主要由于鑰在真空環(huán)境中耐高溫，其熔點(diǎn)為2610°C，·而防水藥需在較高溫度才能蒸發(fā)。但這種鍍膜技術(shù)操作不方便，加熱蒸發(fā)不均勻，且存在蒸發(fā)發(fā)散角度難以控制的關(guān)鍵性問題。一般的，防水藥會(huì)盛放在一個(gè)直徑18*7mm的銅坩堝內(nèi)，銅坩堝需要平放于鑰舟上方，容易滑落操作危險(xiǎn)，并且由于銅坩堝只有底部與鑰舟接觸，熱量局限于底部向上傳遞，導(dǎo)致防水藥蒸發(fā)速率不均勻，影響了膜層均勻性，并且由于銅坩堝為簡(jiǎn)單向上開口設(shè)計(jì)，直接導(dǎo)致蒸發(fā)發(fā)散角度無法控制。又由于防水藥及銅坩堝尺寸設(shè)計(jì)都為統(tǒng)一規(guī)格，對(duì)于不同型號(hào)真空鍍膜機(jī)，真空腔體體積差距較大，基片與坩堝放置距離各不相同，而防水藥蒸發(fā)發(fā)散角度無法控制，不僅導(dǎo)致大量的浪費(fèi)了價(jià)格昂貴的防水藥，而且防水膜的均勻性也會(huì)受到影響。綜上所述，目前這種采用鑰舟作為鍍膜輔助裝置存在如下缺點(diǎn)I、操作不方便需把銅坩堝平放于鑰舟上，操作危險(xiǎn)；2、加熱蒸發(fā)不均勻銅坩堝只有底面與鑰舟接觸導(dǎo)致蒸發(fā)速率不均勻；3、蒸發(fā)發(fā)散角度難以控制銅坩堝、防水藥規(guī)格已統(tǒng)一化，其簡(jiǎn)單向上開口設(shè)計(jì)，使得蒸發(fā)角度難以控制；4、鑰舟使用壽命低下，需要經(jīng)常更換。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題，在于提供一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，采用組合半封閉式鑰鉗鍋代替現(xiàn)有技術(shù)中的鑰舟，可以很好地解決操作不便，加熱不均勻，蒸發(fā)發(fā)散角度難以控制的問題。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，包括第一鑰配件和第二鑰配件；所述第一鑰配件包括第一內(nèi)腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內(nèi)腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設(shè)有蒸發(fā)孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內(nèi)腔組合壁的一側(cè)；所述第二鑰配件包括底座和第二內(nèi)腔組合壁，第二內(nèi)腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內(nèi)腔組合壁和第二內(nèi)腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內(nèi)腔，并使蓋板上的蒸發(fā)孔位于內(nèi)腔的上方。[0011]所述第一鑰配件的第一內(nèi)腔組合壁設(shè)有第一卡槽和第一卡片，所述第二內(nèi)腔組合壁設(shè)有第二卡槽和第二卡片，且所述第一卡槽與第二卡片的數(shù)量相等、第一卡片和第二卡槽的數(shù)量相等，所述第一卡片伸入第二卡槽卡合，所述第二卡片伸入第一卡槽卡合。所述第一卡槽、第一卡片、第二卡槽、第二卡片的數(shù)量為一，所述第一卡槽位于第二卡槽的上方。所述第一內(nèi)腔組合壁、蓋板以及電源連接柄一體成型，所述第二鑰配件的底座和
第二內(nèi)腔組合壁一體成型。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于通過第一鑰配件和第二鑰配件組合形成用于容置銅鉗鍋的內(nèi)腔，形成組合半封閉式鑰鉗鍋，銅鉗鍋內(nèi)盛有防水藥；在第一鑰配件接上加熱電源電極，置于真空鍍膜機(jī)中，此時(shí)通電加熱本實(shí)用新型的輔助裝置，輔助裝置通過底座及側(cè)面的第一內(nèi)腔組合壁和第二內(nèi)腔組合壁與銅坩堝的接觸，將熱量均勻傳遞給銅坩堝，使銅坩堝內(nèi)防水藥蒸發(fā)鍍到工件(如鏡片)表面上，形成防水膜。由于蒸發(fā)出的防水藥受到蒸發(fā)孔 的約束，從而控制了蒸發(fā)角；銅坩堝置于內(nèi)腔中，各個(gè)方位都會(huì)受到加熱，加熱變得均勻后使防水藥整體蒸發(fā)速率變得均勻；鍍膜結(jié)束后只需取下第二鑰配件就可以帶出置于底座上的銅坩堝，操作方便安全。

下面參照附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。圖I是本實(shí)用新型輔助裝置的組合狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型輔助裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型輔助裝置的第一鑰配件的反面結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是第一鑰配件的剖視示意圖。圖5是第二鑰配件的剖視示意圖。圖6是本實(shí)用新型輔助裝置的使用狀態(tài)的剖視示意圖。
具體實(shí)施方式請(qǐng)參閱圖I至圖6所示，顯示本實(shí)用新型的防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置10的一較佳實(shí)施例，包括第一鑰配件I和第二鑰配件2 ;所述第一鑰配件I包括第一內(nèi)腔組合壁11、蓋板12以及電源連接柄13，所述第一內(nèi)腔組合壁11連接在蓋板12的底部，蓋板12上設(shè)有蒸發(fā)孔122，電源連接柄13連接在蓋板12或第一內(nèi)腔組合壁11的一側(cè)；所述第二鑰配件2包括底座21和第二內(nèi)腔組合壁22，第二內(nèi)腔組合壁22連接于底座21的上方；且所述第一內(nèi)腔組合壁11和第二內(nèi)腔組合壁22相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內(nèi)腔3，并使蓋板12上的蒸發(fā)孔122位于內(nèi)腔3的上方。其中，蒸發(fā)孔122的大小可根據(jù)工件(如鏡片)上的防水膜的大小來設(shè)計(jì)，底座21的高度也可根據(jù)蒸發(fā)角度的需求來設(shè)計(jì)，因?yàn)榈鬃?1高度起到調(diào)整防水藥容器到蒸發(fā)孔122之間距離的作用，從而輔助調(diào)整蒸發(fā)角度。所述第一鑰配件I的第一內(nèi)腔組合壁11設(shè)有第一卡槽111和第一卡片112，所述第二內(nèi)腔組合壁22設(shè)有第二卡槽221和第二卡片222，且所述第一卡槽111與第二卡片222的數(shù)量相等、第一卡片112和第二卡槽221的數(shù)量相等，所述第一卡片112伸入第二卡槽221卡合，所述第二卡片222伸入第一卡槽111卡合。本實(shí)施例中，所述第一卡槽111、第一卡片112、第二卡槽221、第二卡片222的數(shù)量為一，所述第一卡槽111位于第二卡槽221的上方。所述第一鑰配件I的第一內(nèi)腔組合壁11、蓋板12以及電源連接柄12 —體成型，所述第二鑰配件2的底座21和第二內(nèi)腔組合壁22 —體成型。重點(diǎn)如圖6所示，本實(shí)用操作過程為把裝有防水藥30的銅坩堝20放在第二鑰配件2的底座21上，將第一鑰配件I與第二鑰配件2通過第一卡槽11 I、第二卡槽221分別與第二卡片222、第一卡片112卡合，使銅鉗鍋置于第一鑰配件I與第二鑰配件2組合形成的內(nèi)腔3中，在第一鑰配件I接上加熱電源電極，裝配好后，置于真空鍍膜機(jī)中，此時(shí)通電加熱本實(shí)用新型的輔助裝置10，輔助裝置10通過底座21及側(cè)面的第一內(nèi)腔組合壁11和第二內(nèi)腔組合壁22與銅坩堝20的接觸，將熱量均勻傳遞給銅坩堝20，使銅坩堝20內(nèi)防水藥蒸發(fā)通過蓋板12上的蒸發(fā)孔122鍍到工件(如鏡片)表面上，形成防水膜。由于蒸發(fā)出的防水藥受到蒸發(fā)孔122的約束，從而控制了蒸發(fā)角度；銅坩堝20置于內(nèi)腔3中，各個(gè)方位都會(huì) 受到加熱，加熱變得均勻后使防水藥整體蒸發(fā)速率變得均勻；鍍膜結(jié)束后只需取下第二鑰配件2就可以帶出置于底座21上的銅坩堝20，操作方便安全。鍍膜完畢后，先后取下第一鑰配件I和第二鑰配件2，在取出第二鑰配件2同時(shí)能帶出盛防水藥的銅坩堝20，操作方便安全。綜上所述，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，操作方便，壽命長(zhǎng)，加熱快，且蒸發(fā)角度和防水膜的大小可以控制，從而有效提高鍍膜質(zhì)量。雖然以上描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但是熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，我們所描述的具體的實(shí)施例只是說明性的，而不是用于對(duì)本實(shí)用新型的范圍的限定，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在依照本實(shí)用新型的精神所作的等效的修飾以及變化，都應(yīng)當(dāng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求所保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，其特征在于包括第一鑰配件和第二鑰配件；所述第一鑰配件包括第一內(nèi)腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內(nèi)腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設(shè)有蒸發(fā)孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內(nèi)腔組合壁的一側(cè)；所述第二鑰配件包括底座和第二內(nèi)腔組合壁，第二內(nèi)腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內(nèi)腔組合壁和第二內(nèi)腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內(nèi)腔，并使蓋板上的蒸發(fā)孔位于內(nèi)腔的上方。
2.如權(quán)利要求I所述的一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一鑰配件的第一內(nèi)腔組合壁設(shè)有第一卡槽和第一卡片，所述第二內(nèi)腔組合壁設(shè)有第二卡槽和第二卡片，且所述第一卡槽與第二卡片的數(shù)量相等、第一卡片和第二卡槽的數(shù)量相等，所述第—^片伸入第二卡槽卡合，所述第二卡片伸入第—^槽卡合。
3.如權(quán)利要求2所述的一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一卡槽、第一卡片、第二卡槽、第二卡片的數(shù)量為一，所述第一卡槽位于第二卡槽的上方。
4.如權(quán)利要求I所述的一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，其特征在于所述第一內(nèi)腔組合壁、蓋板以及電源連接柄一體成型，所述第二鑰配件的底座和第二內(nèi)腔組合壁一體成型。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種防水藥真空蒸發(fā)鍍膜輔助裝置，包括第一鉬配件和第二鉬配件；所述第一鉬配件包括第一內(nèi)腔組合壁、蓋板以及電源連接柄，所述第一內(nèi)腔組合壁連接在蓋板的底部，蓋板上設(shè)有蒸發(fā)孔，電源連接柄連接在蓋板或第一內(nèi)腔組合壁的一側(cè)；所述第二鉬配件包括底座和第二內(nèi)腔組合壁，第二內(nèi)腔組合壁連接于底座的上方；且所述第一內(nèi)腔組合壁和第二內(nèi)腔組合壁相互卡合定位組合形成一用于容置銅鉗鍋的內(nèi)腔，并使蓋板上的蒸發(fā)孔位于內(nèi)腔的上方。采用組合半封閉式鉬鉗鍋代替現(xiàn)有技術(shù)中的鉬舟，可以很好地解決操作不便，加熱不均勻，蒸發(fā)發(fā)散角度難以控制的問題。
文檔編號(hào)C23C14/24GK202610312SQ20122015286
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月12日
發(fā)明者陳欽忠, 張科, 伊仁杰 申請(qǐng)人:福州阿石創(chuàng)光電子材料有限公司