專利名稱：一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，在國內(nèi)制備鍍膜領(lǐng)域中，比如線列式磁控濺射系統(tǒng)，經(jīng)常需要多個真空室組成的聯(lián)合工作系統(tǒng)，這就需要一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，這種傳輸機(jī)構(gòu)適用于基片托(小車)的雙向傳輸，并適用于熱場環(huán)境，能有效避免因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)。該鏈傳輸機(jī)構(gòu)適用于熱場環(huán)境，能有效避免因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，包括導(dǎo)軌支架、基片托、帶拔齒的傳動鏈、基片及兩個主動鏈輪，其中導(dǎo)軌支架設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述兩個主動鏈輪分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架的下端兩側(cè)、并通過帶拔齒的傳動鏈傳動連接，所述基片托設(shè)置于帶拔齒的傳動鏈上、并與導(dǎo)軌支架滑動連接，所述基片安裝在基片托上；所述主動鏈輪驅(qū)動帶拔齒的傳動鏈水平移動，帶拔齒的傳動鏈上的拔齒帶動基片托在導(dǎo)軌支架上水平移動。所述兩個主動鏈輪之間設(shè)有與帶拔齒的傳動鏈連接的漲緊輪。所述漲緊輪為多個。所述基片托的兩側(cè)設(shè)有多 個與導(dǎo)軌支架滑動連接的運(yùn)動小車輪。所述基片托的一側(cè)安裝有導(dǎo)向小車輪。本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是1.本發(fā)明采用雙向鏈輪機(jī)構(gòu)滿足雙向傳輸?shù)男枰?.本發(fā)明定做帶撥齒的鏈條把動力傳給基片托。3.本發(fā)明采用漲緊輪有效防松。4.本發(fā)明單側(cè)限位解決了因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼難題。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的俯視圖；圖3為圖1的左視圖。其中I為導(dǎo)軌支架，2為基片，3為基片托，4為主動鏈輪，5為漲緊輪，6為帶拔齒的傳動鏈，7為運(yùn)動小車輪，8為導(dǎo)向小車輪。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
如圖1-3所示，本發(fā)明包括導(dǎo)軌支架1、基片托3、帶拔齒的傳動鏈6、基片2、漲緊輪5及兩個主動鏈輪4，其中導(dǎo)軌支架1設(shè)置于真空腔體內(nèi)，兩個主動鏈輪4分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架1的下端兩側(cè)、并通過帶拔齒的傳動鏈6傳動連接，基片托3設(shè)置于帶拔齒的傳動鏈6上、并與導(dǎo)軌支架I滑動連接，基片2安裝在基片托3上。兩個主動鏈輪4之間設(shè)有多個與帶拔齒的傳動鏈6連接的漲緊輪5，防止帶拔齒的傳動鏈6松動。基片托3的兩側(cè)設(shè)有多個與導(dǎo)軌支架1滑動連接的運(yùn)動小車輪7，用于減少基片托3和導(dǎo)軌支架1之間的摩擦運(yùn)動阻力。為了保證傳輸有良好的直線性和解決因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼難題，只在基片托3的一側(cè)安裝有導(dǎo)向小車輪8。通過手動或電動機(jī)的轉(zhuǎn)軸引入到真空腔體內(nèi)驅(qū)動其中一個主動鏈輪4,主動鏈輪4驅(qū)動帶拔齒的傳動鏈6水平移動，帶拔齒的傳動鏈6上的拔齒帶動基片托3在導(dǎo)軌支架1上水平移動。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于包括導(dǎo)軌支架(I)、基片托(3)、帶拔齒的傳動鏈￠)、基片(2)及兩個主動鏈輪(4)，其中導(dǎo)軌支架(I)設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述兩個主動鏈輪(4)分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架(I)的下端兩側(cè)、并通過帶拔齒的傳動鏈(6)傳動連接，所述基片托(3)設(shè)置于帶拔齒的傳動鏈(6)上、并與導(dǎo)軌支架(I)滑動連接，所述基片(2)安裝在基片托(3)上；所述主動鏈輪(4)驅(qū)動帶拔齒的傳動鏈(6)水平移動，帶拔齒的傳動鏈(6)上的拔齒帶動基片托(3)在導(dǎo)軌支架(I)上水平移動。
2.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述兩個主動鏈輪(4)之間設(shè)有與帶拔齒的傳動鏈(6)連接的漲緊輪(5)。
3.按權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述漲緊輪(5)為多個。
4.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述基片托(3)的兩側(cè)設(shè)有多個與導(dǎo)軌支架(I)滑動連接的運(yùn)動小車輪(7)。
5.按權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于所述基片托(3)的一側(cè)安裝有導(dǎo)向小車輪(8)。
全文摘要
本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域的鏈傳輸機(jī)構(gòu)。包括導(dǎo)軌支架、基片托、帶拔齒的傳動鏈、基片及兩個主動鏈輪，其中導(dǎo)軌支架設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述兩個主動鏈輪分別設(shè)置于導(dǎo)軌支架的下端兩側(cè)、并通過帶拔齒的傳動鏈傳動連接，所述基片托設(shè)置于帶拔齒的傳動鏈上、并與導(dǎo)軌支架滑動連接，所述基片安裝在基片托上；所述主動鏈輪驅(qū)動帶拔齒的傳動鏈水平移動，帶拔齒的傳動鏈上的拔齒帶動基片托在導(dǎo)軌支架上水平移動。本發(fā)明適用于熱場環(huán)境，能有效避免因熱形變導(dǎo)致的傳輸卡殼。
文檔編號C23C14/56GK103046017SQ201210589980
公開日2013年4月17日 申請日期2012年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月29日
發(fā)明者劉麗華, 馮彬, 孫影, 佟雷, 馬錦 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司