專利名稱：一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種氣體處理過濾裝置，特別涉及一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置。
技術(shù)背景 目前，化學(xué)氣相沉積過程排出的尾氣包括有多種有害氣體和熱解炭微粒子，直接排向大氣將產(chǎn)生大量的環(huán)境污染。所以目前國內(nèi)外均采用一定的過濾裝置對其進行處理后再排入大氣。而目前大多數(shù)廠家采用的方法多是一級過濾罐的過濾方式，處理方法過于簡單、效率較低，處理尾氣的能力有限，排出的尾氣仍含有大量的污染物，所以開發(fā)一種更高效、尾氣排放物更潔凈的過濾裝置成為當務(wù)之急。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、易實現(xiàn)、過濾效果好、使用持久的化學(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置。本實用新型的技術(shù)方案是處理裝置包括一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐，一級空氣冷卻罐與化學(xué)氣相沉積爐之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐與二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐依次與密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐的下方均設(shè)有排泄口，每個罐均采用下進氣上出氣的結(jié)構(gòu)。所述的循環(huán)式油過濾罐的上方與循環(huán)油泵的出油口相接，循環(huán)式油過濾罐的下方與循環(huán)油泵的進油口相接。本實用新型結(jié)構(gòu)新穎、設(shè)計采用了多個濾罐分開過濾不同的尾氣產(chǎn)物，過濾尾氣時逐級冷卻、不同罐體過濾不同種類的氣體和微粒子，該裝置功能強大、過濾效果高，使用壽命長，并本裝置具有多級過濾體系，即使一級失效，并不影響整體過濾效果。經(jīng)此設(shè)備過濾的化學(xué)氣相沉積爐排出的尾氣可達到排放標準的要求。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型用進一步的描述。如圖I所示的一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣多級處理過濾裝置，包括一級空氣冷卻罐
I、二級空氣冷卻罐2、循環(huán)式油過濾罐3、絲網(wǎng)過濾罐4、活性炭過濾罐5組成。一級空氣冷卻罐I與化學(xué)氣相沉積爐6之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐I與二級空氣冷卻罐2、循環(huán)式油過濾罐3、絲網(wǎng)過濾罐4、活性炭過濾罐5依次密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐I、二級空氣冷卻罐2、循環(huán)式油過濾罐3、絲網(wǎng)過濾罐4、活性炭過濾罐5的下方均設(shè)有排泄口 7，每個罐均采用下進氣上出氣的結(jié)構(gòu)。安裝時，由化學(xué)氣相沉積爐6引出尾氣的管道接在一級空氣冷卻罐I上，先進行一次尾氣冷卻，然后，由管道接入二級空氣冷卻罐2，再由管道接入循環(huán)式油過濾罐3，其后管道再接入絲網(wǎng) 過濾罐4，及后續(xù)的活性炭過濾罐5。最后，完成以上過濾的尾氣排向整個裝置出氣管道。在此過濾裝置中，循環(huán)式油過濾罐3的過濾油是采用油泵抽排，環(huán)循使用的。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置，其特征在于處理裝置包括一級空氣冷卻罐(I)、二級空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)，一級空氣冷卻罐(I)與化學(xué)氣相沉積爐(6)之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐(I)與二級空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)依次與密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐(I)、二級空氣冷卻罐(2)、循環(huán)式油過濾罐(3)、絲網(wǎng)過濾罐(4)、活性炭過濾罐(5)的下方均設(shè)有排泄口，每個罐均采用下進氣上出氣的結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置，其特征是，所述的循環(huán)式油過濾罐(3)的上方與油循環(huán)泵的出油口相接，循環(huán)式油過濾罐(3)的下方與油循環(huán)泵的進油口相接。
專利摘要本實用新型涉及一種氣體處理過濾裝置，特別涉及一種化學(xué)氣相沉積尾氣處理裝置。處理裝置包括一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐。一級空氣冷卻罐與化學(xué)氣相沉積爐之間用密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐與二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐依次密閉金屬管道連接，一級空氣冷卻罐、二級空氣冷卻罐、循環(huán)式油過濾罐、絲網(wǎng)過濾罐、活性炭過濾罐的下方均設(shè)有排泄口，每個罐均采用下進氣上出氣的結(jié)構(gòu)。本實用新型采用了多個濾罐分開過濾不同的尾氣產(chǎn)物，過濾尾氣時逐級冷卻、不同罐體過濾不同種類的氣體和微粒子，該裝置功能強大、過濾效果高，使用壽命長。
文檔編號C23C16/00GK202355972SQ20112043517
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月4日
發(fā)明者劉喬冰, 周志偉, 姜海, 李東生, 閆桂沈 申請人:北京百慕航材高科技股份有限公司