專(zhuān)利名稱：整體式觀察窗機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光學(xué)部件制造設(shè)備，特別是涉及一種用于物理氣相沉積和化 學(xué)氣相沉積設(shè)備中的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在物理氣相沉積(Physical Vapour D印osition，PVD)和化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapour Deposition,CVD)設(shè)備中，觀察窗機(jī)構(gòu)是必不可少的組成部分。觀察窗機(jī)構(gòu)一般包 括觀察窗和觀察窗擋板兩部分，觀察窗擋板是為了防止觀察窗玻璃被鍍制上薄膜而影響其 透光性所加的一塊可旋轉(zhuǎn)的遮擋板。需要使用觀察窗時(shí)打開(kāi)擋板，不使用時(shí)將擋板關(guān)上。觀察窗機(jī)構(gòu)有分離式和整體式兩種。分離式觀察窗機(jī)構(gòu)需要在真空室上開(kāi)兩個(gè) 孔，一個(gè)安裝觀察窗，一個(gè)安裝觀察窗擋板的傳動(dòng)軸，此種結(jié)構(gòu)開(kāi)孔多，占用體積大，而且在 真空室上有兩個(gè)密封點(diǎn)(觀察窗玻璃和擋板)，真空室設(shè)計(jì)和加工成本高。傳統(tǒng)的整體式 觀察窗機(jī)構(gòu)(如圖1所示)是將觀察窗和觀察窗擋板整合到一個(gè)大法蘭上，安裝時(shí)整體固 定在真空室上，雖然便于安裝，但是存在以下缺點(diǎn)1.整體有三個(gè)密封點(diǎn)(法蘭、觀察窗玻 璃、擋板)，不利于維持真空環(huán)境；2.體積龐大，由于需要讓出擋板旋轉(zhuǎn)空間，需要在真空室 上開(kāi)相當(dāng)于觀察窗面積2-3倍的孔；3.傳統(tǒng)的動(dòng)密封式擋板存在密封性能差，耐熱能力低， 易老化等缺點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提高整體式觀察窗機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)緊湊性和密封 性，提高其耐熱能力，延長(zhǎng)其壽命，降低整個(gè)機(jī)構(gòu)對(duì)零部件精度的要求以及裝配的復(fù)雜度。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，包括觀察窗和 觀察窗擋板，其特征在于，所述觀察窗擋板通過(guò)擋板軸安裝在所述觀察窗內(nèi)部，所述擋板軸 穿過(guò)所述觀察窗上開(kāi)設(shè)的孔與所述觀察窗相垂直。其中，所述擋板軸外部設(shè)有導(dǎo)向套，所述導(dǎo)向套與所述觀察窗上開(kāi)設(shè)的孔貼合，所 述導(dǎo)向套采用不銹鋼材料。其中，所述導(dǎo)向套內(nèi)部安裝有一十字形截面的純鐵環(huán)，所述純鐵環(huán)固定在所述擋 板軸上。其中，所述導(dǎo)向套末端由蓋板蓋合。其中，所述導(dǎo)向套和所述蓋板以焊接的方式連接。其中，所述導(dǎo)向套外側(cè)安裝有手輪。其中，所述手輪內(nèi)固定有四塊磁鐵，所述四塊磁鐵與所述純鐵環(huán)的十字形的四個(gè) 凸柱相對(duì)應(yīng)，以使手輪內(nèi)的四塊磁鐵吸附導(dǎo)向套內(nèi)的純鐵環(huán)。其中，所述真空室上開(kāi)設(shè)的孔的直徑等于所述觀察窗的直徑。[0015](三)有益效果上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)(1)整體式結(jié)構(gòu)，僅需要在真空室上開(kāi)一個(gè)孔就可 以安裝；(2)占用空間小，真空室所開(kāi)孔大小相當(dāng)于觀察窗直徑；(3)密封點(diǎn)少，整套觀察窗 僅有觀察窗玻璃一處密封點(diǎn)；(4)不存在動(dòng)密封點(diǎn)，整個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)部分全部焊接在真空側(cè)，理論 上漏率為0(實(shí)際上焊縫和不銹鋼導(dǎo)向套存在極微小滲漏)，可以應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)；(5) 耐熱能力強(qiáng)，由于不使用碗型密封圈，耐熱能力大大提高；(6)無(wú)復(fù)雜定位零件，對(duì)零件的 加工精度要求不高，裝配也相對(duì)簡(jiǎn)單；(7)不存在密封圈磨損，使用壽命極長(zhǎng)，即使磁鐵退 磁更換也僅僅需要拆除外部的手輪，無(wú)需檢漏，簡(jiǎn)單方便。

圖1是傳統(tǒng)整體式觀察窗機(jī)構(gòu)的剖面圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)中的磁鐵的A-A剖面圖。其中，1 觀察窗；2 觀察窗擋板；3 擋板手輪；4 擋板動(dòng)密封裝置；5 擋板軸；6 導(dǎo)向套；7 :純鐵環(huán)；8 手輪；9 磁鐵；10 蓋板；11 :觀察窗；12 觀察窗擋板；13 :真空室； 14 孔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下 實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。本實(shí)用新型提供的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)是一種新型的磁耦合傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，圖2是該機(jī) 構(gòu)的側(cè)視圖，圖3是該機(jī)構(gòu)的俯視圖，圖4是該機(jī)構(gòu)中磁鐵的A-A剖面圖。在本實(shí)施例中，觀察窗擋板機(jī)構(gòu)安裝在真空室13內(nèi)。將觀察窗擋板12安裝在觀 察窗11內(nèi)部，擋板軸5與觀察窗11相垂直，觀察窗擋板12轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)僅占用觀察窗11內(nèi)部空 間。觀察窗擋板12傳動(dòng)采用磁耦合傳動(dòng)，不使用動(dòng)密封。在擋板軸5上固定一十字形截面 的純鐵環(huán)7將此部分裝入導(dǎo)向套6內(nèi)，用蓋板10蓋住，之后將蓋板10和導(dǎo)向套6焊接起來(lái)， 擋板軸5整體在真空室13內(nèi)側(cè)。在手輪8內(nèi)部固定與純鐵環(huán)7相應(yīng)的四塊磁鐵9，將手輪 8安裝在導(dǎo)向套6的外側(cè)，手輪8內(nèi)的磁鐵9能夠吸住導(dǎo)向套6內(nèi)的純鐵環(huán)7，轉(zhuǎn)動(dòng)手輪8 時(shí)內(nèi)部的磁鐵9先后帶動(dòng)純鐵環(huán)7和擋板軸5轉(zhuǎn)動(dòng)以達(dá)到傳動(dòng)效果。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改 進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，包括觀察窗(11)和觀察窗擋板(12)，其特征在于，所述觀察窗擋板(12)通過(guò)擋板軸(5)安裝在所述觀察窗(11)內(nèi)部，所述擋板軸(5)穿過(guò)所述觀察窗(11)上開(kāi)設(shè)的孔(14)與所述觀察窗(11)相垂直。
2.如權(quán)利要求1所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述擋板軸(5)外部設(shè)有導(dǎo)向 套(6)，所述導(dǎo)向套(6)與所述觀察窗(11)上開(kāi)設(shè)的孔(14)貼合，所述導(dǎo)向套(6)采用不 銹鋼材料。
3.如權(quán)利要求2所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)內(nèi)部安裝有 一十字形截面的純鐵環(huán)(7)，所述純鐵環(huán)(7)固定在所述擋板軸(5)上。
4.如權(quán)利要求3所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)末端由蓋板 (10)蓋合。
5.如權(quán)利要求4所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)和所述蓋板 (10)以焊接的方式連接。
6.如權(quán)利要求3所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)外側(cè)安裝有手 輪⑶。
7.如權(quán)利要求6所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述手輪(8)內(nèi)固定有四塊磁 鐵(9)，所述四塊磁鐵(9)與所述純鐵環(huán)(7)的十字形的四個(gè)凸柱相對(duì)應(yīng)，以使手輪(8)內(nèi) 的四塊磁鐵(9)吸附導(dǎo)向套(6)內(nèi)的純鐵環(huán)(7)。
8.如權(quán)利要求1所述的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述真空室(13)上開(kāi)設(shè)的孔 (14)的直徑等于所述觀察窗(11)的直徑。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種整體式觀察窗機(jī)構(gòu)，包括觀察窗和觀察窗擋板，所述觀察窗擋板通過(guò)擋板軸安裝在所述觀察窗內(nèi)部，所述擋板軸穿過(guò)所述觀察窗上開(kāi)設(shè)的孔與所述觀察窗相垂直。本實(shí)用新型的整體式觀察窗機(jī)構(gòu)占用空間小，真空室所開(kāi)孔大小相當(dāng)于觀察窗直徑；密封點(diǎn)少，整套機(jī)構(gòu)只有觀察窗玻璃一處?kù)o密封點(diǎn)；不存在動(dòng)密封點(diǎn)，整個(gè)擋板轉(zhuǎn)動(dòng)部分全部焊接封裝在真空側(cè)，利用磁耦合原理，通過(guò)旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)擋板轉(zhuǎn)動(dòng)部分旋轉(zhuǎn)，可以應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)；耐熱能力強(qiáng)；無(wú)復(fù)雜定位零件，對(duì)零件的加工精度要求不高，裝配簡(jiǎn)單；不存在密封圈磨損，使用壽命極長(zhǎng)，磁鐵退磁更換只需要拆除外部的手輪，無(wú)需檢漏，簡(jiǎn)單方便。
文檔編號(hào)C23C14/52GK201729873SQ20102021418
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者安其, 崔文博, 董玢越, 黃芃 申請(qǐng)人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司