專利名稱：一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，該花 籃采用每次裝一片硅片進(jìn)行腐蝕的設(shè)計。 技術(shù)背景
12英寸硅拋光片一般要經(jīng)過直拉，切片，磨削，腐蝕，拋光， 清洗等工藝，在磨削工藝后要加入腐蝕工藝以便去除磨削工藝留下的 損傷層。加入腐蝕工藝雖然可以去除損傷層，但也帶來一些不利影響， 比如在腐蝕的過程中，硅片邊緣和花籃接觸的地方會留下腐蝕印(由 硅片和花籃接觸的部位腐蝕不充分導(dǎo)致)，留有腐蝕印的地方在拋光 和清洗后發(fā)現(xiàn)是顆粒集中的地方。目前，硅片豎立放置，硅片和花籃 采用面接觸，是半導(dǎo)體工廠采用的比較普遍的方式。硅片豎立放置， 雖然可以增加每次腐蝕的硅片數(shù)，增加產(chǎn)量，但也因為硅片各部位在 進(jìn)入腐蝕槽以及從腐蝕槽取出時時間不一致，帶來各部位腐蝕不均勻 從而導(dǎo)致TTV增加的問題，本實用新型中，采用硅片橫放的方式，減 少了硅片各部位腐蝕時間的不一致，使得硅片TTV得到改善；硅片和 花籃采用點(diǎn)接觸的方式，減少了硅片和花籃接觸的面積，可以讓硅片 腐蝕后減少硅片產(chǎn)生腐蝕印的幾率。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花 籃，該花籃減少硅片和花籃接觸的面積，可以讓硅片腐蝕后減少硅片產(chǎn)生腐蝕印的幾率。
為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案(1)正四 邊形的花籃主體(2)位于花籃主體上方、并與花藍(lán)主體相接的支架， 支架上裝有用來防止腐蝕過程中硅片飄出花籃的阻擋桿。
正四邊形的其中兩個對邊，分別由四根立方形條為支架，兩頭和 中間分別用方塊連結(jié)而成；另外的兩個對邊，分別由兩根立方形條和 以一個方塊連結(jié)而成。
正四邊形花籃主體的四個邊中部各設(shè)一個支撐在硅片下方的支 撐片。
支撐片中的兩個片位于里面下方的那根立方形條的中點(diǎn)，支撐片 的另外兩個片位于下邊的那根立方形條的中點(diǎn)。
本實用新型的優(yōu)點(diǎn)是采用硅片橫放的方式，每次花籃裝一片硅 片進(jìn)行腐蝕，雖然降低了產(chǎn)量，但因為減少了硅片各部位腐蝕時間的 不均勻，可以改善硅片TTV。

圖1是花籃的正視圖。
圖2是花籃的俯視圖。
圖3是支架的俯視圖。
圖4是支架的正視圖。
圖5是支架的掛鉤部分。
具體實施方式

如圖2所示，4為用于支撐在硅片下方的支撐片，它位于正四邊形的四個邊的中點(diǎn)位置，硅片和花籃采用點(diǎn)接觸的方式，減少了硅片 和花籃接觸的面積，可以讓硅片腐蝕后減少硅片產(chǎn)生腐蝕印的幾率。 如圖l所示，花籃主體中的兩個對邊分別分別由四根立方形條l、 三個方塊3連結(jié)而成，2為立方形條，支撐硅片的其中兩個支撐片位 于里面下方的那根立方形柱子的中點(diǎn).，花籃主體的另外兩個對邊分別 由兩根立方形柱子用一個方塊連結(jié)而成，支撐硅片的另外兩個支撐片 位于下邊的那根立方形條的中點(diǎn)。這種設(shè)計增加了花籃內(nèi)外的連通 性，保證腐蝕過程中花籃內(nèi)外的物質(zhì)交流，從而保證腐蝕過程中硅片 周圍的濃度均勻性。
本實用新型還包括連接花籃主體和機(jī)械手的支架，如圖3，圖4
和圖5所示。支架用來防止腐蝕過程中硅片飄出花籃的阻擋桿(圖4 中的標(biāo)注6和標(biāo)注7的部分)，阻擋桿需盡可能的細(xì)，以減少接觸面 積。四個支撐片的長度可均為5mm，面積25mm2。位于花籃上方的支 架上固定有四個阻擋桿，豎直地伸向花籃主體，并分別靠近花籃主體 的四條邊。阻擋桿的伸出的長度可為50mm.
所述的支架上所固定的四個阻擋桿中的相對的兩個阻擋桿旁邊 分別固定有用于鉤住花藍(lán)主體方塊的掛鉤8。其形狀如圖5所示。
該設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約材料，同時制作工藝簡單，因而大大降低 了成本。
所用的材料是用符合潔凈要求的并且不會帶來顆粒的材料制作 而成，例如PP材料、四氟材料等。
使用步驟是先將支架用螺絲固定在機(jī)械手上，取一片硅片平放在花籃主體里，將支架的兩個掛鉤從位于側(cè)面的立方形條和方塊的空 檔部位5 (見圖2)插入并鉤住花籃主體的方塊，即可開始腐蝕工藝。
權(quán)利要求1.一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，其特征在于它包括以下幾部分(1)正四邊形的花籃主體；(2)位于花籃主體上方、并與花藍(lán)主體相接的支架，支架上裝有用來防止腐蝕過程中硅片飄出花籃的阻擋桿。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花 籃，其特征在于正四邊形的其中兩個對邊，分別由四根立方形條為 支架，兩頭和中間分別用方塊連結(jié)而成；另外的兩個對邊，分別由兩 根立方形條和以一個方塊連結(jié)而成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，其特征在于正四邊形花籃主體的四個邊中部各設(shè)一個支撐在硅片下方的支撐片。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，其特征在于支撐片中的兩個片位于里面下方的那根立方形條的中點(diǎn)，支撐片的另外兩個片位于下邊的那根立方形條的中點(diǎn)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片 用花籃，其特征在于四個支撐片的長度均為5讓，面積25mm2。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花 籃，其特征在于位于花籃上方的支架上固定有四個阻擋桿，豎直地 伸向花籃主體，并分別靠近花籃主體的四條邊。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，其特征在于阻擋桿的伸出的長度為50mm.
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃，其特征在于所述的支架上所固定的四個阻擋桿中的相對的兩個阻擋桿旁邊分別固定有用于鉤住花藍(lán)主體方塊的掛鉤。
專利摘要一種12英寸硅片腐蝕機(jī)裝硅片用花籃，它包括(1)正四邊形的花籃主體；(2)位于花籃主體上方、并與花藍(lán)主體相接的支架，支架上裝有用來防止腐蝕過程中硅片飄出花籃的阻擋桿。硅片采用橫放的方式，每次花籃裝一片硅片進(jìn)行腐蝕，可以改善硅片TTV?；ɑ@采用四個邊中部各設(shè)一個支撐在硅片下方的支撐片，硅片和花籃采用點(diǎn)接觸的方式，從而可以減少腐蝕過程中硅片與花籃的接觸面積，讓硅片腐蝕后減少硅片產(chǎn)生腐蝕印的幾率。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，節(jié)約材料，同時制作工藝簡單。
文檔編號C23F1/08GK201309966SQ20082012448
公開日2009年9月16日 申請日期2008年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月11日
發(fā)明者庫黎明, 張國棟, 盛方毓, 索思卓, 鐘 葛, 閆志瑞, 陳海濱, 黃軍輝 申請人:北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司