專利名稱：集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法。
通常大都采用整圈線材置于真空的熱處理爐內(nèi)進(jìn)行或者采用普通溫度控制器控制的管道連續(xù)熱處理，這樣不僅使內(nèi)外線體的一致性差，而且加熱溫度和保溫時(shí)間很難控制，普通溫控器和受熱加熱器的熱慣性較大，當(dāng)需要設(shè)定溫度為300℃時(shí)，儀表和加熱器的正常誤差大于±20℃，這樣大范圍的溫度變動(dòng)對(duì)溫度十分敏感的鋁硅鍵合線熱處理是十分不利的，無法保證產(chǎn)品的批次一致性。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是具有電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線調(diào)速系統(tǒng)。利用經(jīng)放線器后的單絲連續(xù)通過恒溫管形隧道，收線調(diào)速機(jī)構(gòu)以一定的速度連續(xù)放收，采用不同的行線速度和加熱溫度，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同規(guī)格的絲材進(jìn)行連續(xù)熱處理。
權(quán)利要求
1.一種集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于具有電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線調(diào)速系統(tǒng)，利用經(jīng)放線系統(tǒng)后的單絲連續(xù)通過恒溫管形隧道電加熱裝置，收線調(diào)速系統(tǒng)以一定的速度連續(xù)放收，采用不同的行線速度和加熱溫度，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同規(guī)格的絲材進(jìn)行連續(xù)熱處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述集成電路鍵合線是集成電路鍵合用鋁-1％硅細(xì)絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述熱處理方法為恒溫管形隧道的在線連續(xù)處理方法。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述恒溫管形隧道的材料包括石英玻璃管、耐高溫玻璃管、耐熱不銹鋼等，所涉及恒溫管形隧道的直徑為10-60mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述可控硅電壓調(diào)整器，溫度控制器為可控硅給定式溫控儀，驅(qū)動(dòng)可控硅為雙向可控硅。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述電加熱器為普通鎳鉻直絲均勻螺旋地纏繞在管外。
全文摘要
本發(fā)明是由電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線系統(tǒng)組成。主要特征當(dāng)放線系統(tǒng)的線材通過管型隧道電加熱裝置時(shí)，由電壓調(diào)整器對(duì)管型隧道加熱器一個(gè)特定的加熱功率特性進(jìn)行粗調(diào)，在溫度傳感器信號(hào)輸入給可控硅溫控器時(shí)，溫控器在設(shè)定特性和輸入信號(hào)的比較下，由溫控器控制可控硅對(duì)加熱器進(jìn)行電壓精密微調(diào)，達(dá)到加熱能量與耗熱能量的平衡。當(dāng)放線、收線與溫度達(dá)到最佳工藝點(diǎn)時(shí)，達(dá)到恒溫、恒速、恒力學(xué)性能的目的，保持產(chǎn)品批次的一致性。
文檔編號(hào)C21D9/56GK1392282SQ0213805
公開日2003年1月22日 申請(qǐng)日期2002年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月2日
發(fā)明者黃國興, 趙偉旦 申請(qǐng)人:黃國興