專利名稱:薄膜焊料的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于金屬薄膜焊料,特別適用于半導(dǎo)體激光器列陣組裝的薄膜焊料。
背景技術(shù):
目前,市售的焊料厚度大約為50μm,價(jià)格昂貴,大多用機(jī)械擠壓而成。而購買這樣的機(jī)械也非常昂貴。而半導(dǎo)體激光器管芯的組裝所需焊料的厚度大約為3-10μm。而市場上銷售的薄膜焊料根本不能直接用于半導(dǎo)體激光器列陣的組裝。還有一些研究者把焊料直接蒸在熱沉上,這樣厚度雖然能夠控制,但是焊料的面積控制不準(zhǔn)確,且效率低。一次只能蒸十幾個(gè)熱沉。放置時(shí)間長了焊料容易氧化。只能現(xiàn)蒸現(xiàn)裝。按此要求,這種厚度的焊料都無法制作。
本發(fā)明的詳細(xì)內(nèi)容本發(fā)明的目的是解決普通的蒸發(fā)法效率低、不易保存、容易氧化、焊片厚、價(jià)格昂貴的問題,為了達(dá)到上述目的本發(fā)明將提出一種薄膜焊料的制作方法其步驟如下1.首先清洗并烘干玻璃片;2.把玻璃片均勻地涂上載體,然后在70-150℃的烘箱中烘烤5-20分鐘,取出后再涂上載體,最后在70-150℃的烘箱中再烘烤5-20分鐘;3.把有載體的玻璃片放到鍍膜機(jī)中,用熱蒸發(fā)的方法把焊料蒸到玻璃片上并形成薄膜焊料,可根據(jù)薄膜焊料的需要來選擇焊料,利用鍍膜機(jī)的膜厚控制儀讀出厚度并可根據(jù)需要隨意控制焊料的厚度形成所需的薄膜焊料;4.把帶有薄膜焊料的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡,使薄膜焊料從玻璃片上脫落,再根據(jù)需要對(duì)薄膜焊料進(jìn)行清洗;5.可根據(jù)需要將薄膜焊料切成任意尺寸。
本發(fā)明的積極效果背景技術(shù)把焊料直接蒸在熱沉上,這樣厚度雖然能夠控制,但是焊料的面積控制不準(zhǔn)確,且效率低。一次只能蒸十幾個(gè)熱沉。本發(fā)明的效率高即把焊料蒸在玻璃片上,一次可以作出大面積薄膜焊料,形成的薄膜焊料可供幾百支激光器使用,薄膜焊料可以放在化學(xué)試劑中保存起來,可防止焊料氧化,可用化學(xué)試劑、真空或惰性氣體保存,提高工作效率。長時(shí)間不容易氧化,可供長時(shí)間使用。作好一批后可存放起來,隨用隨取。本發(fā)明的方法簡單、實(shí)用,可以對(duì)薄膜焊料的尺寸大小進(jìn)行精確的控制。市售的薄膜焊料厚度大約為50μm,3英尺長1英寸寬的薄膜焊料價(jià)格為3250美元,價(jià)格昂貴,且不能直接用于半導(dǎo)體激光器列陣組裝的金屬焊片,本發(fā)明薄膜焊料的厚度范圍為1-50微米,可直接用于半導(dǎo)體激光器列陣組裝的金屬焊片,并且根據(jù)所需尺寸任意剪裁。這種膜可以根據(jù)所需厚度任意制作,遠(yuǎn)遠(yuǎn)薄于市場上銷售的薄膜焊料。薄膜焊料可以是任何所需金屬成份的組合。因此本發(fā)明提出的薄膜焊料的制作方法效率高、易保存、不易氧化、焊片薄、價(jià)格低。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1生產(chǎn)3微米的薄膜焊料
1、準(zhǔn)備玻璃片,玻璃片在堿水里煮5分鐘,取出后用丙酮浸泡并超聲清洗,然后用去離子水浸泡并超聲清洗,最后用酒精浸泡并超聲清洗,取出后吹干,并且在烘箱中烘干。
2.把玻璃片均勻地涂上載體,然后在70℃的烘箱中烘烤5分鐘,取出后再涂上載體。最后在70℃的烘箱中再烘烤5分鐘。載體可選擇石蠟。
3.把帶有石蠟的玻璃片放到鍍膜機(jī)中,用熱蒸發(fā)的方法把焊料蒸到玻璃片上并形成薄膜焊料,焊料可選擇金和鍺,制備出厚度達(dá)3微米并含有金和鍺的薄膜焊料。
4.把蒸好的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡,化學(xué)試劑可采用乙醇,使含有金和鍺的薄膜焊料從玻璃片上脫落形成薄膜焊料產(chǎn)品,然后可根據(jù)需要用去離子水和乙醇對(duì)薄膜焊料產(chǎn)品進(jìn)行清洗。
5.薄膜焊料產(chǎn)品可以用刀片劃成任意尺寸供使用。
實(shí)施例2生產(chǎn)10微米的薄膜焊料1.準(zhǔn)備玻璃片,玻璃片在堿水里煮5分鐘,取出后用丙酮浸泡并超聲清洗,然后用去離子水浸泡并超聲清洗,最后用酒精浸泡并超聲清洗,取出后吹干,并且在烘箱中烘干。
2.把玻璃片均勻地涂上載體,然后在100℃的烘箱中烘烤1分鐘,取出后再涂上載體。最后在100℃的烘箱中再烘烤10分鐘。載體可選擇樹脂膠。
3.焊料可根據(jù)所需選擇銅和銦。把帶有樹脂膠的玻璃片放到鍍膜機(jī)中,用熱蒸發(fā)的方法把焊料蒸到玻璃片上并形成薄膜焊料,制備出厚度可達(dá)10微米形成含有銅和銦的薄膜焊料。
4.把蒸好的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡,化學(xué)試劑可采用四氯乙烯,使含有銅和銦的薄膜焊料從玻璃片上脫落形成薄膜焊料產(chǎn)品,然后可根據(jù)需要用去離子水和乙醇對(duì)薄膜焊料產(chǎn)品進(jìn)行清洗。
5.薄膜焊料產(chǎn)品可以用刀片劃成任意尺寸供使用。
實(shí)施例3生產(chǎn)50微米的焊料1.準(zhǔn)備玻璃片,玻璃片在堿水里煮10分鐘,取出后用丙酮浸泡并超聲清洗,然后用去離子水浸泡并超聲清洗,最后用酒精浸泡并超聲清洗。取出后吹干,并且在烘箱中烘干。
2.把玻璃片均勻地涂上載體,然后在150℃的烘箱中烘烤20分鐘,取出后再涂上石蠟或其它有機(jī)物。最后在150℃的烘箱中再烘烤20分鐘。
3.焊料可根據(jù)所需選擇錫和鉛。把帶有石蠟或其它有機(jī)物的玻璃片放到鍍膜機(jī)中,用熱蒸發(fā)的方法把焊料蒸到玻璃片上并形成帶有錫和鉛薄膜焊料,可根據(jù)需要制備出薄膜焊料厚度可達(dá)50微米。
4.把蒸好的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡,化學(xué)試劑可采用乙醇或四氯乙烯,使含有錫和鉛的薄膜焊料從玻璃片上脫落形成薄膜焊料產(chǎn)品,然后可根據(jù)需要用去離子水和乙醇對(duì)薄膜焊料產(chǎn)品進(jìn)行清洗。
5.薄膜焊料產(chǎn)品可以用刀片劃成任意尺寸供使用。
權(quán)利要求
1.薄膜焊料的制作方法,其特征在于(1).首先清洗并烘干玻璃片;(2).把玻璃片均勻地涂上載體,然后在70-150℃的烘箱中烘烤5-20分鐘,取出后再涂上載體,最后在70-150℃的烘箱中再烘烤5-20分鐘;(3).把有載體的玻璃片放到鍍膜機(jī)中,用熱蒸發(fā)的方法把焊料蒸到玻璃片上并形成薄膜焊料,可根據(jù)薄膜焊料的需要來選擇焊料,利用鍍膜機(jī)的膜厚控制儀讀出厚度并可根據(jù)需要隨意控制焊料的厚度形成所需的薄膜焊料;(4).把帶有薄膜焊料的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡,使薄膜焊料從玻璃片上脫落,再根據(jù)需要對(duì)薄膜焊料進(jìn)行清洗;(5).可根據(jù)需要將薄膜焊料切成任意尺寸。
全文摘要
本發(fā)明適用于半導(dǎo)體激光器列陣組裝的薄膜焊料。首先清洗并烘干玻璃片;把玻璃片均勻地涂上載體,然后烘烤,再涂上載體,再烘烤;熱蒸發(fā)形成薄膜焊料,把帶有薄膜焊料的玻璃片放在化學(xué)試劑中浸泡并從玻璃片上脫落,據(jù)需要對(duì)薄膜焊料進(jìn)行清洗;對(duì)薄膜焊料的尺寸大小進(jìn)行精確的控制。本發(fā)明的效率高一次可以作出大面積薄膜焊料,可供幾百支激光器使用,薄膜焊料可以放在化學(xué)試劑中保存起來,可防止焊料氧化,可用化學(xué)試劑、真空或惰性氣體保存,提高工作效率。不容易氧化,可供長時(shí)間使用??芍苯佑糜诎雽?dǎo)體激光器列陣組裝的金屬焊片,這種膜可以根據(jù)所需厚度任意制作,因此本發(fā)明提出的薄膜焊料的制作方法效率高、易保存、不易氧化、焊片薄、價(jià)格低。
文檔編號(hào)C23C14/24GK1408505SQ02132840
公開日2003年4月9日 申請(qǐng)日期2002年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月30日
發(fā)明者程?hào)|明, 王立軍 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所