專(zhuān)利名稱(chēng)：內(nèi)裝有光傳感器的拋光墊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶片處理，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體晶片上執(zhí)行化學(xué)機(jī)械拋光操作時(shí)所使用的可處理的拋光墊，該拋光墊包括一光傳感器，在進(jìn)行拋光操作的同時(shí)，所述光傳感器監(jiān)視被拋光表面的狀況，從而確定加工終點(diǎn)。
發(fā)明人為T(mén)ang、公告日為1999年9月7日的美國(guó)專(zhuān)利文獻(xiàn)US5,949,927介紹了若干在拋光操作期間監(jiān)視拋光表面的技術(shù)。在一個(gè)實(shí)施例中，Tang介紹了一種嵌入拋光墊內(nèi)的光纖電纜。這種電纜僅僅是光的導(dǎo)體。進(jìn)行傳感的光源和檢測(cè)器位于拋光墊的外側(cè)。但是Tang沒(méi)有介紹將光源和檢測(cè)器設(shè)置在拋光墊內(nèi)。在Tang的一些實(shí)施例中，使用光纖解耦器將光纖內(nèi)的光從轉(zhuǎn)動(dòng)元件傳送到固定元件。在其它實(shí)施例中，對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)元件上的光信號(hào)進(jìn)行探測(cè)，所獲得的電信號(hào)通過(guò)電滑動(dòng)環(huán)被傳送給固定元件。但是在Tang的專(zhuān)利中沒(méi)有介紹利用無(wú)線電波、聲波、調(diào)制后的光束或磁感應(yīng)將電信號(hào)傳送到固定元件。
發(fā)明人為Schultz、公告日為1992年1月21日的美國(guó)專(zhuān)利US5,081,796介紹了另一種光終點(diǎn)傳感系統(tǒng)，還介紹了一種方法，在部分拋光之后，將晶片移動(dòng)到這樣一個(gè)位置，即一部分晶片從平臺(tái)的邊緣伸出。利用干涉儀測(cè)量該伸出部分上的磨損，以確定是否應(yīng)該繼續(xù)進(jìn)行拋光加工。
總之，雖然在本領(lǐng)域中，有幾種公知的在拋光操作期間監(jiān)視拋光表面的技術(shù)，但是這些技術(shù)中沒(méi)有一種是令人完全滿意的。Tang介紹的光纖束太昂貴同時(shí)易碎；使用Birang等人所介紹的設(shè)置在平臺(tái)下方的干涉儀要求在支承拋光墊的平臺(tái)上制造一通孔。因此本發(fā)明人設(shè)計(jì)出一種監(jiān)視系統(tǒng)，它既經(jīng)濟(jì)又堅(jiān)固，并充分利用了現(xiàn)有技術(shù)中某些零件在小型化方面的發(fā)展。
本發(fā)明的另一目的是提供一種向拋光墊內(nèi)的光傳感器供電的設(shè)備。
本發(fā)明的另一目的是提供一種供電設(shè)備，利用電力將表示光學(xué)特性的電信號(hào)從轉(zhuǎn)動(dòng)的拋光墊傳輸?shù)较噜彽姆寝D(zhuǎn)動(dòng)部分。
本發(fā)明的另一目的是提供一種包含光傳感器的可處理的拋光墊，該拋光墊可拆卸地與一不可處理的集線器相連，所述集線器包含電源和信號(hào)處理電路。
根據(jù)本發(fā)明，一種包含光源和檢測(cè)器的光傳感器被設(shè)置在拋光墊的盲孔內(nèi)，并且面朝正被拋光的表面。光源發(fā)出的光被正被拋光的表面反射，檢測(cè)器檢測(cè)該反射光并產(chǎn)生與反射回檢測(cè)器的光強(qiáng)度相關(guān)的電信號(hào)。
利用位于拋光墊的層之間的薄導(dǎo)體，將檢測(cè)器所產(chǎn)生的電信號(hào)從檢測(cè)器所在位置徑向向內(nèi)地輸送到拋光墊的中央開(kāi)口。
可處理拋光墊與一集線器可拆卸地機(jī)械及電子地連接。該集線器與拋光墊一起轉(zhuǎn)動(dòng)。集線器包括電路，所述電路用于向光傳感器供電，也用于將檢測(cè)器產(chǎn)生的電信號(hào)傳輸?shù)较到y(tǒng)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分?？紤]到電路的成本，不將該集線器當(dāng)作可處理件。當(dāng)拋光墊由于使用而被磨損后，它與光傳感器以及薄導(dǎo)體一起被廢棄。
根據(jù)本發(fā)明，可以采用幾種供電方法以操作集線器內(nèi)的電路以及光傳感器內(nèi)的光源。在最佳實(shí)施例中，變壓器的次級(jí)線圈包含在轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器內(nèi)，初級(jí)線圈位于拋光機(jī)的一個(gè)相鄰的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分上。在第一實(shí)施例中，太陽(yáng)能電池或光伏陣列被安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器內(nèi)，并被位于拋光機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分上的光源照亮。在另一個(gè)實(shí)施例中，電力由集線器內(nèi)的電池提供。在另一個(gè)實(shí)施例中，轉(zhuǎn)動(dòng)拋光墊或轉(zhuǎn)動(dòng)集線器內(nèi)的導(dǎo)線穿過(guò)安置在拋光機(jī)的相鄰的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分上的永久磁鐵所產(chǎn)生的磁場(chǎng)，以構(gòu)成永磁發(fā)電機(jī)。
根據(jù)本發(fā)明，利用幾種技術(shù)中的任一種，將代表正被拋光表面的光學(xué)特性的電信號(hào)從轉(zhuǎn)動(dòng)集線器輸送到拋光機(jī)的一個(gè)相鄰的固定部分。在優(yōu)選實(shí)施例中，利用要被傳輸?shù)碾娦盘?hào)對(duì)位于相鄰非轉(zhuǎn)動(dòng)部分上的檢測(cè)器所接收到的光束進(jìn)行調(diào)頻。在另一個(gè)實(shí)施例中，利用無(wú)線電通信線路或聲傳輸線路輸送電信號(hào)。在另一個(gè)實(shí)施例中，可以將信號(hào)施加到轉(zhuǎn)動(dòng)集線器上的變壓器的初級(jí)線圈，然后位于拋光機(jī)的相鄰非轉(zhuǎn)動(dòng)部分上的變壓器的次級(jí)線圈接收該信號(hào)。該變壓器可以與將電力輸送到集線器的變壓器是同一個(gè)變壓器，或者是不同的變壓器。
通過(guò)下文結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的幾個(gè)優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行的說(shuō)明，本發(fā)明的新穎性特征，即關(guān)于構(gòu)造和操作方法的特征以及其它優(yōu)點(diǎn)和目的將變得更加清楚。然而應(yīng)該理解的是，所述附圖僅用于說(shuō)明本發(fā)明，但是并不限制本發(fā)明的范圍。
圖6是一個(gè)顯示了符合本發(fā)明第二實(shí)施例的集線器的中間橫截面視圖；圖7是一個(gè)顯示了符合本發(fā)明第三實(shí)施例的集線器的中間橫截面視圖。
很明顯，停止拋光機(jī)的操作，將晶片取出進(jìn)行檢測(cè)，然后將晶片重新設(shè)置在拋光機(jī)內(nèi)并重新啟動(dòng)拋光機(jī)，這對(duì)于確定加工是否已足夠充分是一種效率極低的方法。在本發(fā)明中理想的是，拋光操作一直進(jìn)行直到本發(fā)明的光傳感器提供信息確定已經(jīng)到達(dá)加工終點(diǎn)為止。
雖然本發(fā)明的主要目的是檢測(cè)終點(diǎn)，但是也考慮應(yīng)用本發(fā)明的其它可能性。其中包括確定距終點(diǎn)還有多遠(yuǎn)，在晶片的不同區(qū)域上采集數(shù)據(jù)，以及對(duì)晶片表面進(jìn)行測(cè)繪。雖然在下文介紹中僅有一個(gè)光傳感器，應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，本發(fā)明也可以在拋光墊內(nèi)設(shè)置多個(gè)光傳感器。
通過(guò)在拋光墊內(nèi)嵌入光傳感器和其它元件，本發(fā)明對(duì)通用拋光墊進(jìn)行了改進(jìn)。未改進(jìn)的拋光墊很容易在市場(chǎng)上購(gòu)買(mǎi)到，新澤西州Newark的Rodel公司所制造的型號(hào)為IC1000的拋光墊就是一種通用的未改進(jìn)的拋光墊。也可以使用Thomas West公司所制造的墊。通過(guò)下文的介紹，就會(huì)理解在本發(fā)明中如何對(duì)這些墊進(jìn)行改進(jìn)和使用。
在討論中將看到，本發(fā)明的光傳感器檢測(cè)正被拋光表面的光學(xué)特性。通常所述表面的光學(xué)特性是反射率。然而也可以檢測(cè)表面的其它光學(xué)特性，其中包括極化強(qiáng)度、吸收率以及光致發(fā)光性(如果有)。用于檢測(cè)這些不同特性的技術(shù)在光學(xué)領(lǐng)域中是公知的，通常在光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)添加一極化鏡或?yàn)V光器。為此原因，在下文中，使用更通用的術(shù)語(yǔ)“光學(xué)特性”。
在下文中所使用的術(shù)語(yǔ)“光學(xué)”和“光”包括紫外線光、可見(jiàn)光和紅外線光。術(shù)語(yǔ)“無(wú)線電”和“聲學(xué)”也是廣義詞。
如

圖1所示，拋光墊10具有圓形形狀并具有一中央圓形開(kāi)口12，根據(jù)本發(fā)明，在拋光墊上形成一盲孔14，盲孔14向上敞開(kāi)，從而面向要被拋光的表面。根據(jù)本發(fā)明，將光傳感器16設(shè)置在盲孔14內(nèi)，從光傳感器16延伸到中央開(kāi)口12的帶狀導(dǎo)線18被嵌在拋光墊內(nèi)。
當(dāng)使用拋光墊時(shí)，從上方將集線器20插入中央開(kāi)口12內(nèi)，并使位于拋光墊下方的底座22與集線器20的螺紋部分嚙合而固定該集線器。如圖4所示，拋光墊10被夾持在集線器和底座之間。在研磨期間，拋光墊、集線器和底座一起圍繞中心垂直軸線24轉(zhuǎn)動(dòng)。
如圖1和圖4～7所示，顯示了拋光機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26。所述非轉(zhuǎn)動(dòng)部分最好鄰近集線器20并位于集線器20的上方，雖然不是本發(fā)明的一部分，但是非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26是本發(fā)明的附屬部分，它的作用將在下文詳細(xì)說(shuō)明。
圖2是一個(gè)從前方及上方所看到的透視圖，詳細(xì)顯示了在本發(fā)明最佳實(shí)施例中所使用的光傳感器16。該光傳感器16包括一光源28、一檢測(cè)器30、一反射表面32和帶狀導(dǎo)線18。帶狀導(dǎo)線18包括一些大致平行地疊置在一起的導(dǎo)體，用于向光源28供電，并用于將檢測(cè)器30的輸出電信號(hào)傳輸?shù)街醒腴_(kāi)口12。最好光源28和檢測(cè)器30是相匹配的。通常光源28是發(fā)光二極管，檢測(cè)器30是光電二極管。光源28所發(fā)射光束的中央軸線首先沿水平方向被引導(dǎo)，但是當(dāng)?shù)竭_(dá)反射表面32后，光線被向上引導(dǎo)，從而撞擊要被拋光的表面并且被拋光表面反射。反射光線還被反射表面32重新引導(dǎo)，從而反射光進(jìn)入檢測(cè)器30，檢測(cè)器30產(chǎn)生表示檢測(cè)器所接收到的光線強(qiáng)度的電信號(hào)。圖2所示配置用于節(jié)省傳感器的高度。
由于能夠獲得更小的光源和檢測(cè)器，所以可以省去反射表面32，而使用圖3側(cè)視圖所示的布置。
光學(xué)元件和帶狀導(dǎo)線18的端部能夠被密封在薄盤(pán)34內(nèi)，所述薄盤(pán)的大小恰好使其可以被裝配在圖1所示的盲孔14內(nèi)。在圖2和圖3所示布置中，應(yīng)該理解的是，可以使用反射板以減少到達(dá)檢測(cè)器的漫射光數(shù)量。
在帶狀導(dǎo)線18內(nèi)至少包含三種導(dǎo)線電源線36、信號(hào)導(dǎo)線38以及一個(gè)或多個(gè)回路導(dǎo)線或接地導(dǎo)線(未示)。
如圖4所示，電源線36終止于鄰近拋光墊10的中央開(kāi)口12的電力插頭40，信號(hào)導(dǎo)線38同樣終止于信號(hào)插頭42。當(dāng)將集線器20插入中央開(kāi)口12內(nèi)時(shí)，電力插頭40與電插座44電接觸，信號(hào)插頭42與信號(hào)插座46電接觸。一O形密封環(huán)48阻止在拋光操作時(shí)所使用的液體接觸上述插頭和插座。在底座22上設(shè)置大口瓶蓋形密封50，以進(jìn)一步確保集線器20內(nèi)的電路不受污染。
檢測(cè)器30所產(chǎn)生的有關(guān)光學(xué)特性的電信號(hào)被導(dǎo)線52從信號(hào)插座46傳輸?shù)叫盘?hào)處理電路54，響應(yīng)于所述電信號(hào)，在導(dǎo)線56上產(chǎn)生一代表光學(xué)特性的處理后信號(hào)。然后將導(dǎo)線56上的處理后信號(hào)傳輸?shù)絺魉脱b置58。
在圖4所示實(shí)施例中，傳送裝置58向變壓器的初級(jí)線圈60施加一隨時(shí)間變化的電流，該變壓器產(chǎn)生一表示處理后信號(hào)的變化的磁場(chǎng)62。磁場(chǎng)62向上延伸穿過(guò)集線器20的頂部并被設(shè)置在拋光機(jī)的一個(gè)相鄰的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26上或其它一些非轉(zhuǎn)動(dòng)物體上的變壓器的次級(jí)線圈64所截取。所述變化磁場(chǎng)62在次級(jí)線圈64內(nèi)感應(yīng)電流，將該電流作用在接收機(jī)66上，該接收機(jī)66在終端68產(chǎn)生一表示光學(xué)特性的信號(hào)。該信號(hào)被外部電路利用，用于監(jiān)視拋光操作的過(guò)程和/或確定是否已經(jīng)到達(dá)拋光操作的終點(diǎn)。
可以使用類(lèi)似的感應(yīng)技術(shù)將電力從拋光機(jī)的鄰近的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26傳輸?shù)睫D(zhuǎn)動(dòng)的集線器20。非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26上的原動(dòng)力源70向變壓器的初級(jí)線圈72提供電流，該變壓器產(chǎn)生向下延伸通過(guò)集線器20頂部的磁場(chǎng)74，該磁場(chǎng)被次級(jí)線圈76截取，變化的磁場(chǎng)在該次級(jí)線圈76內(nèi)感應(yīng)出電流，將該電流提供給電力接收機(jī)電路78。電力接收機(jī)78通過(guò)導(dǎo)線80將電力傳輸?shù)诫姴遄?4，通過(guò)電插頭42和電力導(dǎo)線36，將電力從電插座44輸送到光源28。電力接收機(jī)78也通過(guò)導(dǎo)線82向信號(hào)處理電路54供電，并通過(guò)導(dǎo)線84向傳送裝置58供電。目前，磁場(chǎng)感應(yīng)技術(shù)是最好的模式，并是將電力輸送到轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器20內(nèi)的最佳方式。在一個(gè)實(shí)施例中，線圈60和線圈76相同，線圈64與線圈72相同。在這個(gè)實(shí)施例中，重疊電力和信號(hào)元件處于不同的頻率范圍并通過(guò)過(guò)濾而被分離。
圖5～7顯示了本發(fā)明的另一實(shí)施例，在這些實(shí)施例中使用其它技術(shù)將信號(hào)從轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器20傳輸?shù)綊伖鈾C(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26，并將電力從非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26傳輸?shù)郊€器20。
在圖5所示實(shí)施例中，傳送裝置58還包括一調(diào)制器86，它向發(fā)光二極管或激光二極管88施加一表示處理后信號(hào)的調(diào)頻后的電流，該信號(hào)代表光學(xué)特性。發(fā)光二極管88發(fā)射光波90，所述光波被棱鏡92聚焦在光電二極管檢測(cè)器94上。該檢測(cè)器94將光波轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)在接收機(jī)96中被解調(diào)，以便在終端68上產(chǎn)生一表示光學(xué)特性的電信號(hào)。目前在將電信號(hào)從轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器20傳輸?shù)綊伖鈾C(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26過(guò)程中，這是最佳模式和最佳技術(shù)。
在圖5所示實(shí)施例中，電力的原動(dòng)力源是電池98，電池98向配電電路100供電，電路100又將電力分配給電插座44、信號(hào)處理電路54和傳送裝置電路58。
在圖6所示實(shí)施例中，傳送裝置58是具有天線102的無(wú)線電傳感器，天線102將無(wú)線電波104傳輸通過(guò)集線器20的頂部。無(wú)線電波104被天線106截獲并被接收機(jī)103解制，從而在終端68上產(chǎn)生一表示光學(xué)特性的電信號(hào)。
在圖6所示實(shí)施例中，利用永久磁鐵110和電感器112組成的永磁發(fā)電機(jī)發(fā)電，所述永久磁鐵位于非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26上，隨著電感器1 12轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)永久磁鐵110，永久磁鐵110的磁場(chǎng)在電感器112內(nèi)感應(yīng)出電流。利用電源電路114對(duì)感應(yīng)電流進(jìn)行整流和濾波，然后利用配電電路116進(jìn)行配電。
在圖7所示實(shí)施例中，傳送裝置58還包括一功率放大器118，它驅(qū)動(dòng)揚(yáng)聲器120產(chǎn)生聲波122。聲波122被位于拋光機(jī)的非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26上的麥克風(fēng)124拾取。麥克風(fēng)124產(chǎn)生一電信號(hào)，將該電信號(hào)作用到接收機(jī)126上，接收機(jī)126又在終端68產(chǎn)生表示光學(xué)特性的電信號(hào)。
在圖7所示實(shí)施例中，響應(yīng)于由位于非轉(zhuǎn)動(dòng)部分26上的光源132作用到太陽(yáng)能電池板128上的光線，利用太陽(yáng)能電池或太陽(yáng)能電池板128在轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器20上發(fā)電。太陽(yáng)能電池板128所輸出的電力被變換器134轉(zhuǎn)換成合適的電壓，如果需要，將其施加到配電電路116上。
上文已經(jīng)介紹了一種適用于化學(xué)機(jī)械拋光操作的拋光墊，該拋光墊包含在拋光操作期間監(jiān)視正被拋光表面的狀態(tài)的光傳感器。包括光學(xué)系統(tǒng)的拋光墊是可處理的，并與不可處理的集線器一起使用，該集線器包括用于接收由光傳感器所產(chǎn)生信號(hào)、處理該信號(hào)以及將該信號(hào)傳輸?shù)椒寝D(zhuǎn)動(dòng)部分的電路。該集線器也包括向光傳感器提供電力的電路和位于該集線器內(nèi)的其它電路。在上述幾個(gè)實(shí)施例中，可以利用無(wú)線電波、聲波、光波或利用磁感應(yīng)將信號(hào)從轉(zhuǎn)動(dòng)的集線器傳輸?shù)椒寝D(zhuǎn)動(dòng)部分。在上述不同實(shí)施例中，可以利用集線器內(nèi)的電池，或者利用在外加光線作用下被激勵(lì)的太陽(yáng)能電池板或永磁發(fā)電機(jī)提供電力，在所述永磁發(fā)電機(jī)中，固定的永久磁鐵在位于轉(zhuǎn)動(dòng)集線器上的電感器中感應(yīng)出電流。
工業(yè)適用性設(shè)置在拋光墊內(nèi)的光傳感器能夠連續(xù)地監(jiān)視拋光操作，當(dāng)?shù)竭_(dá)所希望的終點(diǎn)時(shí)，能夠停止加工，以避免太早或太晚地終止拋光。避免太早或太晚終止拋光使得拋光操作效率更高。本發(fā)明適用于任何工件的拋光或研磨，所述工件包括具有不同光學(xué)特性的層。
權(quán)利要求
1.一種在對(duì)工件表面進(jìn)行拋光操作時(shí)所使用的拋光墊，其特征在于在進(jìn)行拋光操作期間，位于所述拋光墊內(nèi)的光學(xué)裝置檢測(cè)所述表面的光學(xué)特征。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊，其特征在于所述光學(xué)裝置還包括產(chǎn)生光的光源。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述拋光墊，其特征在于所述光源是發(fā)光二極管。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述拋光墊，其特征在于所述光源是固態(tài)激光。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述拋光墊，其特征在于所述光源的朝向被設(shè)置得對(duì)工件表面進(jìn)行照明。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述拋光墊，其特征在于所述光學(xué)裝置還包括一反射表面，該反射表面的朝向被設(shè)置得將所述光源產(chǎn)生的光反射到工件表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述拋光墊，其特征在于所述光學(xué)裝置還包括檢測(cè)裝置，用于接收工件表面的反射光并產(chǎn)生表示反射光強(qiáng)度的電信號(hào)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述拋光墊，其特征在于還包括中央開(kāi)口；所述拋光墊內(nèi)的信號(hào)傳輸裝置，其用于將所述電信號(hào)從所述光學(xué)裝置傳輸?shù)剿鲋醒腴_(kāi)口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述拋光墊，其特征在于所述信號(hào)傳輸裝置還包括細(xì)長(zhǎng)的彈性電路板。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述拋光墊，其特征在于還包括位于所述中央開(kāi)口內(nèi)的一可拆卸的集線器，以及電信號(hào)連接裝置，其在機(jī)械上適于可拆卸地接收所述信號(hào)傳輸裝置，從而使電信號(hào)進(jìn)入集線器；與所述電信號(hào)連接裝置相連的信號(hào)處理裝置，其用于接收電信號(hào)，并響應(yīng)于所述電信號(hào)生成一代表光學(xué)特性的處理后信號(hào)；與所述信號(hào)處理裝置相連的傳送裝置，用于傳送該處理后信號(hào)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述拋光墊，其特征在于所述傳送裝置還包括用于發(fā)射表示處理后信號(hào)的無(wú)線電波的裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述拋光墊，其特征在于所述傳送裝置還包括用于發(fā)射表示處理后信號(hào)的聲波的裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述拋光墊，其特征在于所述傳送裝置還包括用于發(fā)射表示處理后信號(hào)的光波的裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述拋光墊，其特征在于所述傳送裝置還包括用于產(chǎn)生表示處理后信號(hào)的可變磁場(chǎng)的裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊，其特征在于還包括一中央開(kāi)口；從所述中央開(kāi)口延伸到所述光學(xué)裝置的電源線，其用于向所述光學(xué)裝置供電；位于所述拋光墊的所述中央開(kāi)口內(nèi)的可拆卸的集線器，所述可拆卸的集線器包括電力接收機(jī)，其響應(yīng)于外加能量而發(fā)電；在機(jī)械上適于可拆卸地接收所述電源線的電力連接裝置，其用于將電力接收機(jī)產(chǎn)生的電力施加到電源線上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述拋光墊，其特征在于所述電力接收機(jī)包括響應(yīng)于外加光線而發(fā)電的太陽(yáng)能電池。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述拋光墊，其特征在于所述電力接收機(jī)包括感應(yīng)器，其響應(yīng)于穿過(guò)所述感應(yīng)器的外加磁場(chǎng)的變化而發(fā)電。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊，其特征在于還包括一中央開(kāi)口；從所述拋光墊的所述中央開(kāi)口延伸到所述光學(xué)裝置的電源線，用于向所述光學(xué)裝置供電；位于所述拋光墊的所述中央開(kāi)口內(nèi)的可拆卸的集線器，所述可拆卸的集線器包括用于發(fā)電的電池；在機(jī)械上適于可拆卸地接收所述電源線的電力連接裝置，其用于將所述電池產(chǎn)生的電力施加到電源線上。
全文摘要
一種光傳感器，它包括光源(28)和檢測(cè)器(30)，該檢測(cè)器位于拋光墊(10)的槽(14)內(nèi)，從而面向要被拋光的表面。光源發(fā)出的光被正被拋光的表面反射，檢測(cè)器檢測(cè)該反射光。檢測(cè)器所產(chǎn)生的電信號(hào)被傳輸?shù)轿挥趻伖鈮|的中央開(kāi)口(12)內(nèi)的集線器(20)?？商幚淼膾伖鈮|與該集線器可拆卸地機(jī)械和電子地連接。該集線器包括電路(78，58)，所述電路用于向光傳感器供電，并用于將電信號(hào)傳輸?shù)椒寝D(zhuǎn)動(dòng)部分(26)。本發(fā)明還介紹了實(shí)現(xiàn)這些任務(wù)的幾種技術(shù)。即使在拋光機(jī)進(jìn)行拋光的同時(shí)，該系統(tǒng)也能夠連續(xù)地監(jiān)視正被拋光的表面的光學(xué)特性，并確定拋光工序的終點(diǎn)。
文檔編號(hào)B24B37/04GK1454131SQ00819800
公開(kāi)日2003年11月5日 申請(qǐng)日期2000年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月9日
發(fā)明者斯蒂芬·H·沃爾夫 申請(qǐng)人:斯特拉斯保