專利名稱：雙波長激光輔助沉積功能膜的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空濺射及離子注入鍍覆。
目前在真空罩內(nèi)用激光分別照射靶體和襯底，使靶體物質(zhì)以真空濺射及離子注入的方式鍍覆(或稱沉積)在襯底上，從而制得具有特定性能膜體(或稱功能膜)，如金剛石膜、超導(dǎo)膜等的工藝或方法，其所用激光均為單一波長激光，它存在所制膜體品質(zhì)不高的缺點。
本發(fā)明的目的是提供一種可制得高品質(zhì)功能膜的雙波長激光輔助沉積功能膜的方法。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是將高頻脈沖準(zhǔn)分子激光輸出的紫外激光束經(jīng)分光鏡分為二束，一束經(jīng)透鏡聚焦到靶體上，另一束經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上，同時將紅外激光器輸出的紅外激光經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上。
本發(fā)明的技術(shù)效果是它可制得高品質(zhì)功能膜。
實施例將高頻脈沖準(zhǔn)分子激光輸出的紫外激光束經(jīng)分光鏡分為二束，一束經(jīng)透鏡聚焦到靶體上，另一束經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上，同時將紅外激光器輸出的紅外激光經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上。
權(quán)利要求
雙波長激光輔助沉積功能膜的方法，其特征是將高頻脈沖準(zhǔn)分子激光輸出的紫外激光束經(jīng)分光鏡分為二束，一束經(jīng)透鏡聚焦到靶體上，另一束經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上，同時將紅外激光器輸出的紅外激光經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上。
全文摘要
雙波長激光輔助沉積功能膜的方法,其特征是將高頻脈沖準(zhǔn)分子激光輸出的紫外激光束經(jīng)分光鏡分為二束,一束經(jīng)透鏡聚焦到靶體上,另一束經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上,同時將紅外激光器輸出的紅外激光經(jīng)擴束鏡均勻照射到整個襯底表面上。它可制得高品質(zhì)功能膜。
文檔編號C23C14/34GK1355328SQ0013259
公開日2002年6月26日 申請日期2000年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月30日
發(fā)明者申家鏡, 彭鴻雁, 楊貴龍, 彭寄星 申請人:黑龍江省光電技術(shù)研究所