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一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法與流程

文檔序號:11497497閱讀:579來源:國知局
一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法與流程

本發(fā)明涉及一種材料潤濕裝置,屬于材料性能測試技術(shù)領(lǐng)域,主要涉及一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法。



背景技術(shù):

潤濕性不僅是評價釬焊焊點質(zhì)量的關(guān)鍵因素,也是復(fù)合材料界面結(jié)合評定的關(guān)鍵指標(biāo)。良好的潤濕性是獲得具有高可靠性釬焊焊點的前提,傳統(tǒng)提高釬料的潤濕性主要是通過外加釬劑的方法,利用釬劑的化學(xué)反應(yīng)除去材料表面的氧化膜,從而達(dá)到降低材料表面張力的目的,但是釬劑具有腐蝕性,焊件在服役過程中焊接頭的使用性能會大幅度降低;在復(fù)合材料方面,如要將增強(qiáng)相加入基體中,必須保證增強(qiáng)相和基體能夠潤濕,對于復(fù)合材料來說主要是利用合金元素在固液界面發(fā)生反應(yīng)形成界面反應(yīng)物來提高材料的潤濕性。

除此之外也可利用外加輔助能量來提高材料的潤濕性,目前應(yīng)用較多的主要有超聲波和靜電場,有研究者在納米ceo2p/zn-4.5%al-re-mg-ti復(fù)合材料的高能超聲制備中發(fā)現(xiàn),高能超聲作用能夠改善界面的潤濕性,使納米ceo2粒子能夠進(jìn)入到za熔體中,這是因為超聲波振動輔助下會產(chǎn)生“聲空化”作用和“聲渦流”作用,可以破碎固體表面的氧化膜,提高液態(tài)金屬潤濕性;有研究表明在靜電場作用下釬料潤濕過程中,cu原子的擴(kuò)散可使釬料鋪展面積提高20%、潤濕角減小20.4%,這是因為電場可以通過降低元素之間的擴(kuò)散激活能、促進(jìn)界面的空位擴(kuò)散和元素之間的固溶等機(jī)制,促進(jìn)了界面處各元素之間的擴(kuò)散、界面結(jié)合層的形成,降低了界面張力,增強(qiáng)了界面附著功,從而改善了潤濕性;也有人研究了凝固過程中外場對流動控制的研究,發(fā)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)磁場作用能顯著提高合金的潤濕性,而且能消除宏觀偏析,碎斷和細(xì)化枝晶;而對于外加磁場提高材料表面潤濕性也有一定的報道,有研究發(fā)現(xiàn)在強(qiáng)磁場作用下富zn液相在fe-6.5wt%si雙晶晶界(36.9°和45°晶界)與固/液界面相交處的晶界潤濕行為特征如下:潤濕角明顯的減小,潤濕性得到明顯的提高。

以上方法都可以改善材料潤濕性,但是只單獨施加超聲波輔助、靜電場輔助或磁場輔助,都僅能在有限范圍內(nèi)提高潤濕性,將超聲振動-電場-磁場共同作用以期改善潤濕性的研究或應(yīng)用還未見報道。本發(fā)明的目的是提供一種能同時施加超聲振動載荷、高壓靜電場以及可變磁場的提高材料潤濕性的裝置及方法,可用于研究在超聲振動載荷-電場-磁場復(fù)合場作用下潤濕性試驗,有助于研究出提高材料潤濕性的新技術(shù)、新工藝,對探尋和發(fā)展材料的制備技術(shù)都有十分重要的意義。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供的是一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法,解決了現(xiàn)有外加輔助設(shè)備施加方式單一、超聲波施加方式存在功率損失大、單一輔助能改善試樣潤濕性作用不明顯等問題。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法,包括以下步驟:

步驟一:將需要復(fù)合的試樣a、試樣b的表面分別用砂紙或磨削設(shè)備去掉毛刺,打磨光潔,然后將試樣a、b放入超聲波清洗機(jī)內(nèi),加酒精或丙酮進(jìn)行清洗,清洗次數(shù)為3~5次,每次清洗時間為15~20min,清洗完畢去除試樣表面的油污及氧化物雜質(zhì)后,取出晾干后備用,同時將釬料c制成厚度為0.05~1mm的薄片,備用;

步驟二:打開真空爐爐門,將試樣a和試樣b疊放在上、下電極板之間的銅板上,并在試樣a和試樣b之間放置1片或多片釬料c,然后用擋塊將銅板調(diào)整到合適位置并固定在絕緣潤濕性工作臺上,滑動橫梁使其在導(dǎo)軌立柱上移動,調(diào)整橫梁位置直至超聲波振動子與試樣相接觸;

步驟三:關(guān)閉真空爐爐門,并對真空爐進(jìn)行抽真空處理,待真空度達(dá)到8×10-3~10×10-3pa后,開啟加熱裝置的電源,將真空爐以10~15℃/min的速率升溫至所需釬焊溫度;

步驟四:開啟超聲輔助裝置、電場輔助裝置、磁場輔助裝置的電源,并設(shè)定超聲頻率為20~40khz、功率為0~1kw,電場強(qiáng)度為2~2.5kv/cm,磁場強(qiáng)度為0~1t,超聲輔助作用時間達(dá)到40~45s時關(guān)閉超聲輔助裝置的電源,電場輔助作用時間達(dá)到60~65s時關(guān)閉電場輔助裝置的電源,磁場輔助作用時間達(dá)到240~250s時關(guān)閉磁場輔助裝置的電源;

步驟五:關(guān)閉真空泵閥門,并用放電棒將上電極板、下電極板以及高壓電源內(nèi)部的電荷釋放完全,再以5~6℃/min的速率將真空爐降至室溫,然后打開爐門,升起超聲波變壓桿,取出試樣。

一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置,包括操作平臺、放置在操作平臺上的真空爐、位于操作平臺一側(cè)的高壓電源控制箱和對試樣施加輔助能量的超聲輔助裝置、電場輔助裝置、磁場輔助裝置,所述的真空爐上設(shè)有熱電偶接口,熱電偶從熱電偶接口伸入真空爐內(nèi);

所述的超聲輔助裝置包括導(dǎo)軌立柱和固定在導(dǎo)軌立柱上且可在導(dǎo)軌立柱上滑動的橫梁,在橫梁上遠(yuǎn)離導(dǎo)軌立柱的一端連接有超聲波發(fā)生裝置,所述超聲波發(fā)生裝置包括實現(xiàn)從聲能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的超聲波換能器、提供大功率高頻交流電流并驅(qū)動超聲波換能器工作的超聲波發(fā)生器、將機(jī)械振動的質(zhì)點位移或速度放大并把超聲能量集中在較小面積上的超聲波變壓桿和將超聲波變壓桿上的能量傳遞到試樣上的超聲波振動子,所述超聲波變壓桿的一端與超聲波換能器連接,另一端與伸進(jìn)真空爐內(nèi)的超聲波振動子連接;

所述的電場輔助裝置設(shè)在真空爐內(nèi)且位于超聲波振動子下方,包括電場電源、沿水平方向平行間隔設(shè)置的上電極板和下電極板,所述的上電極板和下電極板上還設(shè)有與真空爐外部的高壓電源控制箱連接的電極引線,所述的電極引線外面套設(shè)有與真空爐爐壁絕緣的陶瓷套管,所述的上電極板通過絕緣陶瓷支柱支撐在絕緣平臺上,所述的下電極板的下方設(shè)置有位于絕緣平臺上的絕緣陶瓷板,上方設(shè)置有用于放置試樣的絕緣潤濕性工作臺,所述的絕緣潤濕性工作臺的臺面上設(shè)有用于放置潤濕的釬料的銅板和用于固定銅板位置的擋塊;

所述的磁場輔助裝置設(shè)置在真空爐內(nèi),包括磁場電源線圈和磁場電源,所述的磁場電源線圈為兩個,通過支架分別設(shè)在電場輔助裝置的兩側(cè),所述的磁場電源通過導(dǎo)線給磁場電源線圈輸出交流電,并產(chǎn)生可變的磁場。

作為優(yōu)選方案,所述的超聲波發(fā)生裝置還包括由鈦合金制成的超聲波聚能器,所述的超聲波聚能器和超聲波換能器形成組合體通過螺紋固定在超聲波變壓桿上。

作為優(yōu)選方案,在所述的超聲波變壓桿指向真空爐的一端通過高溫膠連接有一段絕緣陶瓷柱,所述的絕緣陶瓷柱通過金屬波紋管和法蘭固定在真空爐爐腔上。

作為優(yōu)選方案,所述的超聲振動子的一端通過螺紋與絕緣陶瓷柱連接,另一端與試樣接觸后傳遞超聲負(fù)載。

作為優(yōu)選方案,所述的超聲波發(fā)生器的頻率和功率為可調(diào)的,且功率為0~1000w,振動頻率為20~40khz。

作為優(yōu)選方案,所述的上電極板和下極板的間距為5~7mm,電場電源的電壓為10kv~15kv。

作為優(yōu)選方案,所述的上電極板和下電極板均為由304不銹鋼制成的帶有接線柱的圓形平板,所述的絕緣潤濕性工作臺、絕緣陶瓷板和絕緣平臺均為由氮化硅陶瓷制成的圓形板,所述的絕緣陶瓷支柱由氮化硅陶瓷制成。

作為優(yōu)選方案,所述磁場電源線圈的匝數(shù)為1000~1500匝,磁場電源的輸出電壓的范圍為0~1500v,磁場強(qiáng)度為0~1t。

作為優(yōu)選方案,所述的電場電源可以提供正直流高壓、負(fù)直流高壓、交流高壓和脈沖高壓,具有正直流高壓輸出端、負(fù)直流高壓輸出端、交流高壓輸出端、正直流脈沖高壓輸出端以及接地端。

本發(fā)明的有益效果是:

其一、本發(fā)明首次采用在多場輔助下提高材料的潤濕性,同時申請人通過研究發(fā)現(xiàn):超聲輔助、電場輔助以及磁場輔助三者之間存在一定的配合關(guān)系,也就是說不同的輔助強(qiáng)度配合不同的作用時間起到的效果也是不同的,尤其當(dāng)設(shè)置為超聲頻率為24~25khz、功率為0.8~1kw、作用時間為43~45s,電場強(qiáng)度為2.3~2.5kv/cm、作用時間為58~60s,磁場強(qiáng)度為0.6~0.8t、作用時間為240~245s時為最佳;

本方案使試樣在超聲波振動載荷、電場、磁場的共同輔助下進(jìn)行潤濕,克服了現(xiàn)有工藝潤濕性差的缺陷,既滿足了釬焊技術(shù)研究中少用、甚至不用釬劑的要求,又可用于研究不同材料在多場作用下的粘結(jié)復(fù)合過程,詳細(xì)分析如下:如在釬焊過程中,其中超聲波作為一種能量的載體,可以使鋪展在母材表面的液態(tài)釬料在超聲波作用下產(chǎn)生空化作用,空化泡爆破產(chǎn)生的局部高壓破壞了釬料表面的氧化膜,使液態(tài)釬料與母材直接接觸,形成潤濕結(jié)合,同時超聲波可以破碎較大的枝晶,使柱狀晶向等軸晶發(fā)生轉(zhuǎn)變,從而細(xì)化結(jié)合區(qū)的晶粒,改善接頭組織并提高接頭性能;而電場通過降低元素之間的擴(kuò)散激活能、促進(jìn)界面的空位擴(kuò)散和元素之間的固溶機(jī)制,促進(jìn)了界面處各元素之間的擴(kuò)散、界面結(jié)合層的形成,降低了界面張力,增強(qiáng)了界面附著功;同時強(qiáng)磁場具有的強(qiáng)磁化效應(yīng)可以作用到物質(zhì)的原子和分子尺度,將高強(qiáng)度的能量傳遞到物質(zhì)內(nèi)部,改變原子的物理、化學(xué)狀態(tài),影響原子的排列、匹配和遷移等行為,可有效地控制合金的晶界偏聚并改善晶界脆性,提高材料冷卻均勻性,減小母材和釬料之間的晶界寬度,提高晶界間的結(jié)合力;因此在超聲、電場、磁場三種場的同時作用下,首先破壞了釬料表面的氧化膜,使釬料與母材可以直接結(jié)合,然后促進(jìn)了結(jié)合界面處各元素之間的擴(kuò)散、界面結(jié)合層的形成,降低了界面張力,同時細(xì)化了母材、釬料結(jié)合處的晶粒細(xì)度,對晶界進(jìn)行重排,從而提高釬料了的潤濕性、以及與母材的結(jié)合力,使釬焊的焊縫更加均勻,取得了僅使用超聲、電場或磁場等單一場所達(dá)不到的效果,改善了傳統(tǒng)釬焊工藝中存在的諸多問題;

其二、本發(fā)明所述的一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置,克服了已有外能輔助裝置輔助方式單一、工作溫度不高、裝置絕緣性能不佳的問題,彌補(bǔ)了超聲施加方式功率損失過大、電場種類及極性單一、外能輔助的耦合作用對釬焊過程影響不能研究、應(yīng)用范圍窄等不足,提供了加熱溫度范圍可從室溫到1000℃、電場強(qiáng)度在0-5kv/cm之間、超聲波功率可達(dá)1000w、磁場強(qiáng)度范圍在0-1t之間、真空度可達(dá)1×10-3pa的裝置;利用本裝置不僅可以進(jìn)行單一場,如電場、超聲或磁場作用下試樣潤濕性的研究,也可進(jìn)行多種輔助場,如超聲-電場、超聲-磁場、電場-磁場、超聲-電場-磁場作用下試樣潤濕性的研究,使外加輔助場情況下試樣的的潤濕性研究進(jìn)一步得到完善,有助于研究出提高材料潤濕性的新技術(shù)、新工藝,對探尋和發(fā)展材料的制備技術(shù)都有十分重要的意義。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解,構(gòu)成本申請的一部分,并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。

圖1是的基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置的使用狀態(tài)圖;

圖2是超聲輔助裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是電場輔助裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4是磁場輔助裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

附圖標(biāo)記:1、實驗平臺,2、真空爐,3、絕緣平臺,4、絕緣陶瓷板,5、下電極板,6、絕緣潤濕性工作臺,7、銅板,8、磁場電源線圈,9、超聲波變壓桿,10、超聲波換能器,11、橫梁,12、導(dǎo)軌立柱,13、擋塊,14、上電極板,15、絕緣陶瓷支柱,16、熱電偶,17、真空管道,18、電極引線,19、高壓電源控制箱。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結(jié)合本發(fā)明的附圖、實施例對技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。下面結(jié)合具體實施例詳細(xì)描述本發(fā)明的方案:

本發(fā)明所述的一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法,包括以下步驟:

步驟一:將需要復(fù)合的試樣a、試樣b的表面分別用砂紙或磨削設(shè)備去掉毛刺,打磨光潔,然后將試樣a、b放入超聲波清洗機(jī)內(nèi),加酒精或丙酮進(jìn)行清洗,清洗次數(shù)為3~5次,每次清洗時間為15~20min,清洗完畢去除試樣表面的油污及氧化物雜質(zhì)后,取出晾干后備用,同時將釬料c制成厚度為0.05~1mm的薄片,備用;

步驟二:打開真空爐爐門,將試樣a和試樣b疊放在上、下電極板之間的銅板上,并在試樣a和試樣b之間放置1片或多片釬料c,然后用擋塊將銅板調(diào)整到合適位置并固定在絕緣潤濕性工作臺上,滑動橫梁使其在導(dǎo)軌立柱上移動,調(diào)整橫梁位置直至超聲波振動子與試樣相接觸;

步驟三:關(guān)閉真空爐爐門,并對真空爐進(jìn)行抽真空處理,待真空度達(dá)到8×10-3~10×10-3pa后,開啟加熱裝置的電源,將真空爐以10~15℃/min的速率升溫至所需釬焊溫度;

步驟四:開啟超聲輔助裝置、電場輔助裝置、磁場輔助裝置的電源,并設(shè)定超聲頻率為20~40khz、功率為0~1kw,電場強(qiáng)度為2~2.5kv/cm,磁場強(qiáng)度為0~1t,超聲輔助作用時間達(dá)到40~45s時關(guān)閉超聲輔助裝置的電源,電場輔助作用時間達(dá)到60~65s時關(guān)閉電場輔助裝置的電源,磁場輔助作用時間達(dá)到240~250s時關(guān)閉磁場輔助裝置的電源;

步驟五:關(guān)閉真空泵閥門,并用放電棒將上電極板、下電極板以及高壓電源內(nèi)部的電荷釋放完全,再以5~6℃/min的速率將真空爐降至室溫,然后打開爐門,升起超聲波變壓桿,取出試樣。

本發(fā)明的一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法中,其中步驟四中,還可以進(jìn)行一種單一場(電場、超聲或磁場)作用下的試樣潤濕性研究,如僅開啟超聲輔助裝置的電源,并設(shè)定超聲頻率為20~40khz、功率為0~1kw,待超聲輔助作用時間達(dá)到40~45s時關(guān)閉超聲輔助裝置的電源;如僅開啟電場輔助裝置的電源,并設(shè)定電場強(qiáng)度為2~2.5kv/cm,待電場輔助作用時間達(dá)到60~65s時關(guān)閉電場輔助裝置的電源;如僅開啟磁場輔助裝置的電源,并設(shè)定磁場強(qiáng)度為0~1t,待磁場輔助作用時間達(dá)到240~250s時關(guān)閉磁場輔助裝置的電源。

本發(fā)明的一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的方法中,其中步驟四中,還可進(jìn)行兩種輔助場(超聲-電場、超聲-磁場、電場-磁場)作用下的試樣潤濕性研究,如開啟超聲輔助裝置、電場輔助裝置的電源,并設(shè)定超聲頻率為20~40khz、功率為0~1kw,電場強(qiáng)度為2~2.5kv/cm,超聲輔助作用時間達(dá)到40~45s時關(guān)閉超聲輔助裝置的電源,電場輔助作用時間達(dá)到60~65s時關(guān)閉電場輔助裝置的電源;如開啟超聲輔助裝置、磁場輔助裝置的電源,并設(shè)定超聲頻率為20~40khz、功率為0~1kw,磁場強(qiáng)度為0~1t,超聲輔助作用時間達(dá)到40~45s時關(guān)閉超聲輔助裝置的電源,磁場輔助作用時間達(dá)到240~250s時關(guān)閉磁場輔助裝置的電源;如開啟電場輔助裝置、磁場輔助裝置的電源,并設(shè)定電場強(qiáng)度為2~2.5kv/cm,磁場強(qiáng)度為0~1t,電場輔助作用時間達(dá)到60~65s時關(guān)閉電場輔助裝置的電源,磁場輔助作用時間達(dá)到240~250s時關(guān)閉磁場輔助裝置的電源。

如圖所示,一種基于多場耦合下提高材料潤濕性的裝置及方法,包括操作平臺1、放置在操作平臺上的真空爐2、位于操作平臺一側(cè)的高壓電源控制箱19和對試樣施加輔助能量的超聲輔助裝置、電場輔助裝置、磁場輔助裝置,所述的真空爐2上分別設(shè)有熱電偶接口和真空計接口,熱電偶16從所述的熱電偶接口伸入真空爐2內(nèi),真空管道17將真空計接口與真空爐2連接起來;

所述的超聲輔助裝置包括導(dǎo)軌立柱12和固定在導(dǎo)軌立柱上且可在導(dǎo)軌立柱上滑動的橫梁11,在橫梁上遠(yuǎn)離導(dǎo)軌立柱的一端連接有超聲波發(fā)生裝置,所述超聲波發(fā)生裝置包括實現(xiàn)從聲能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的超聲波換能器10、提供大功率高頻交流電流并驅(qū)動超聲波換能器工作的超聲波發(fā)生器、由鈦合金制成的且與超聲波換能器10形成組合體的超聲波聚能器、將機(jī)械振動的質(zhì)點位移或速度放大并把超聲能量集中在較小面積上的超聲波變壓桿9和將超聲波變壓桿上的能量傳遞到試樣上的超聲波振動子,超聲波變壓桿9的一端通過螺紋與超聲波換能器10連接,另一端通過高溫膠連接有一段絕緣陶瓷柱,絕緣陶瓷柱通過金屬波紋管和法蘭固定在真空爐2的爐腔上,并與伸進(jìn)真空爐內(nèi)的超聲波振動子螺紋連接,超聲波發(fā)生器的頻率和功率為可調(diào)的,且功率為0~1000w,振動頻率為20~40khz,超聲振動子與試樣接觸后可傳遞超聲負(fù)載;

所述的電場輔助裝置設(shè)在真空爐內(nèi)且位于超聲波振動子下方,包括電場電源、沿水平方向平行間隔設(shè)置的上電極板14和下電極板5,電場電源的電壓為10kv~15kv,電場電源可以提供正直流高壓、負(fù)直流高壓、交流高壓和脈沖高壓,具有正直流高壓輸出端、負(fù)直流高壓輸出端、交流高壓輸出端、正直流脈沖高壓輸出端以及接地端,上電極板14和下電極板5均為由304不銹鋼制成的帶有接線柱的圓形平板,上下電極之間的間距為5~7mm,所述的上電極板14和下電極板5上還設(shè)有與真空爐2外部的高壓電源控制箱19連接的電極引線18,所述的電極引線18外面套設(shè)有與真空爐爐壁絕緣的陶瓷套管,所述的上電極板14通過由氮化硅陶瓷制成的絕緣陶瓷支柱15支撐在由氮化硅陶瓷制成的圓形絕緣平臺3上,所述的下電極板5的下方設(shè)置有位于絕緣平臺3上的由氮化硅陶瓷制成的圓形絕緣陶瓷板4,上方設(shè)置有由氮化硅陶瓷制成的、用于放置試樣的圓形絕緣潤濕性工作臺6,所述的絕緣潤濕性工作臺6的臺面上設(shè)有用于放置潤濕的釬料的銅板7和用于固定銅板位置的擋塊13;

磁場輔助裝置設(shè)置在真空爐內(nèi),包括磁場電源線圈8和磁場電源,磁場電源的輸出電壓的范圍為0~1500v,磁場強(qiáng)度為0~1t,磁場電源線圈8為兩個,匝數(shù)為1000~1500匝,通過支架分別設(shè)在電場輔助裝置的兩側(cè),磁場電源通過導(dǎo)線給磁場電源線圈8輸出交流電,并產(chǎn)生可變的磁場。

在本發(fā)明的其它實施例中,上電極板與下電極板之間的間距可以為4~8cm。

在本發(fā)明的其它實施例中,真空爐中還可以采用其它的熱源,如高頻感應(yīng)加熱。

在本發(fā)明的其它實施例中,電場強(qiáng)度還可以為0~5kv/cm。

在本發(fā)明的其它實施例中,絕緣陶瓷支柱還可以用石英玻璃或氧化鋁陶瓷制成,絕緣潤濕性工作臺和絕陶瓷板和絕緣平臺還可以采用氧化鋁陶瓷制成。

在本發(fā)明的其它實施例中,電場電源還可以選擇其它的電壓范圍以及電場電源各輸出端與相應(yīng)的上電極板和下電極板的不同接法,例如上電極板、下電極板分別接負(fù)直流高壓輸出端、正直流高壓輸出端,輸出電壓范圍為0~20kv;或者上電極板、下電極板分別接正直流高壓輸出端、負(fù)直流高壓輸出端,輸出電壓為0~20kv;或者上電極板、下電極板分別接正直流脈沖高壓輸出端、負(fù)直流高壓輸出端,輸出電壓為0~20kv;或者上電極板、下電極板分別接負(fù)直流高壓輸出端、正直流脈沖高壓輸出端,輸出電壓為0~20kv;或者上電極板、下電極板分別接接地端、負(fù)直流高壓輸出端,輸出電壓為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接接地端、交流高壓輸出端,輸出電壓為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接接地端、正直流高壓輸出端,輸出電壓范圍為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接接地端、正直流脈沖高壓輸出端,輸出電壓為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接正直流高壓輸出端、接地端,輸出電壓為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接交流高壓輸出端、接地端,輸出電壓為0~10kv;或者上電極板、下電極板分別接正直流脈沖高壓輸出端、接地端,輸出電壓為0~10kv。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本發(fā)明不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是本發(fā)明的原理,在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下本發(fā)明還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明的范圍內(nèi)。本發(fā)明要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。

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