本發(fā)明涉及一種降低來(lái)自被加工物的反射光的強(qiáng)度并進(jìn)行激光加工的激光加工裝置。

背景技術(shù)：

已知如下一種技術(shù)：在向金屬材料等被加工物(工件)照射激光來(lái)進(jìn)行激光加工的情況下，利用來(lái)自工件的反射光來(lái)實(shí)現(xiàn)切割質(zhì)量的提高。例如日本特開(kāi)平02-179376號(hào)公報(bào)中記載了一種激光加工裝置，其具有：反射光檢測(cè)單元，其檢測(cè)由于在工件表面處的反射而返回到激光振蕩器內(nèi)的反射激光的水平；探測(cè)單元，其探測(cè)反射激光的水平減少為規(guī)定值以下的時(shí)間點(diǎn)；以及輸出指令單元，其以第一輸出水平輸出激光來(lái)對(duì)工件進(jìn)行加熱，從反射激光的水平減少為規(guī)定值以下的時(shí)間點(diǎn)起以第二輸出水平輸出激光來(lái)對(duì)工件進(jìn)行打孔加工。

另外，日本專利第2706498號(hào)公報(bào)中記載了一種激光加工裝置，其具有：反射光檢測(cè)單元，其檢測(cè)由于在工件表面處的反射而返回到激光振蕩器內(nèi)的反射激光的水平；探測(cè)單元，其探測(cè)反射激光的水平減少為規(guī)定值以下的時(shí)間點(diǎn)；以及指令單元，其以所需的輸出水平輸出激光來(lái)開(kāi)始打孔加工，在反射激光的水平減少為規(guī)定值以下的時(shí)間點(diǎn)結(jié)束打孔加工，并繼續(xù)輸出接下來(lái)的打孔加工的指令。

在被加工物是銅、鋁等容易反射激光的金屬材料的情況下，有時(shí)在向被加工物照射激光的瞬間該激光的一部分在與往路相似的路徑上沿反方向前進(jìn)而作為反射光返回到激光振蕩器，由此存在激光振蕩器、激光光路發(fā)生故障、損傷的情況。作為用于防止像這樣由于反射光返回到激光振蕩器內(nèi)而造成無(wú)法控制激光輸出或光學(xué)系統(tǒng)發(fā)生損傷的以往技術(shù)例，日本特開(kāi)2013-146752號(hào)公報(bào)中記載了一種激光加工裝置，其具備：激光振蕩器，其以能夠根據(jù)加工條件來(lái)改變激光的輸出的方式振蕩激光；光纖，其用于傳輸激光；傳感器，其檢測(cè)從光纖的包層側(cè)面漏出的光的強(qiáng)度并輸出表示該強(qiáng)度的檢測(cè)信號(hào)；以及振蕩控制部，其基于檢測(cè)信號(hào)來(lái)控制該激光加工裝置的動(dòng)作，并且，日本特開(kāi)2013-146752號(hào)公報(bào)還記載了：在激光振蕩器的輸出為規(guī)定輸出以下的情況下，振蕩控制部將與該輸出對(duì)應(yīng)地設(shè)定的第一閾值同根據(jù)所述檢測(cè)信號(hào)得到的強(qiáng)度或光量進(jìn)行比較，在激光振蕩器的輸出比規(guī)定輸出高的情況下，將與該輸出對(duì)應(yīng)地設(shè)定的第二閾值同根據(jù)所述檢測(cè)信號(hào)得到的強(qiáng)度或光量進(jìn)行比較，基于比較得到的結(jié)果來(lái)控制該激光加工裝置的動(dòng)作。

如上所述，在激光加工的被加工物是銅、鋁等容易反射激光的金屬材料的情況下、在加工點(diǎn)處的能量密度低的情況下，當(dāng)聚光點(diǎn)位于被加工物的表面上時(shí)，有時(shí)所照射的激光的一部分在與往路相同的路徑上沿反方向前進(jìn)而作為反射光返回到激光振蕩器。該反射光的量越多(或者強(qiáng)度越高)，則激光加工機(jī)的光路、光源發(fā)生損傷的可能性越高。以往，為了防止過(guò)大的反射光，需要預(yù)先以暫定的條件向被加工物的表面照射激光，在反射光的強(qiáng)度高到造成不良影響的程度的情況下，對(duì)加工條件進(jìn)行變更(優(yōu)化)以降低反射光強(qiáng)度。

上述的日本特開(kāi)平02-179376號(hào)公報(bào)和日本專利第2706498號(hào)公報(bào)所記載的技術(shù)雖然對(duì)反射光(散射光)進(jìn)行檢測(cè)，但是并不降低或排除反射光對(duì)激光源等造成的不良影響。另一方面，日本特開(kāi)2013-146752號(hào)公報(bào)所記載的技術(shù)雖然防止因反射光(返回光)導(dǎo)致的不良狀況的產(chǎn)生，但是存在當(dāng)返回光的強(qiáng)度超過(guò)了閾值時(shí)停止激光的振蕩的情況，可以認(rèn)為在該情況下激光加工裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種具備不停止激光振蕩而降低反射光強(qiáng)度的功能以避免因反射光導(dǎo)致的故障等的激光加工裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)發(fā)明提供一種激光加工裝置，通過(guò)向被加工物照射激光來(lái)進(jìn)行該被加工物的激光加工，該激光加工裝置具備：激光加工指令部，其輸出包括激光穿孔、激光切割、激光標(biāo)記以及激光焊接中的至少一個(gè)的激光加工指令；檢測(cè)器，其監(jiān)視來(lái)自所述被加工物的反射光強(qiáng)度；存儲(chǔ)器，其存儲(chǔ)包括激光輸出指令值、脈沖照射時(shí)間及脈沖周期的激光輸出條件以及由所述檢測(cè)器監(jiān)視到的反射光強(qiáng)度；預(yù)加工指令部，其在所述激光加工指令之前輸出預(yù)加工指令，該預(yù)加工指令包括與所述激光加工指令的激光輸出條件不同的激光輸出條件；比較部，其將所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的反射光強(qiáng)度與第一判定值及低于所述第一判定值的第二判定值進(jìn)行比較；輸出條件變更部，其基于所述比較部的比較結(jié)果來(lái)變更所述預(yù)加工指令的激光輸出條件；以及預(yù)加工結(jié)束部，其基于規(guī)定的條件來(lái)結(jié)束基于所述預(yù)加工指令的預(yù)加工。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在監(jiān)視到的反射光強(qiáng)度為所述第二判定值以下的情況下，所述輸出條件變更部使輸出峰值變大、或者使脈沖照射時(shí)間變長(zhǎng)、或者使脈沖占空比增加。在該情況下，也可以是，在所述輸出峰值、所述脈沖照射時(shí)間或者所述脈沖占空比變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以上的情況下，所述預(yù)加工結(jié)束部結(jié)束所述預(yù)加工指令。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在監(jiān)視到的反射光強(qiáng)度為所述第一判定值以上的情況下，所述輸出條件變更部使輸出峰值變小、或者使脈沖照射時(shí)間變短、或者使脈沖占空比減少。在該情況下，也可以是，在所述輸出峰值、所述脈沖照射時(shí)間或者所述脈沖占空比變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以下的情況下，所述預(yù)加工指令部進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者變更除激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在所述反射光強(qiáng)度變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的第三判定值以下的時(shí)間點(diǎn)，所述預(yù)加工結(jié)束部結(jié)束所述預(yù)加工指令。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，激光加工裝置在加工頭處具備所述檢測(cè)器。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，在激光振蕩器內(nèi)的至少兩個(gè)位置配置有所述檢測(cè)器。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參照附圖對(duì)以下的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，本發(fā)明的上述或其它目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得更明確。

圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式所涉及的激光加工裝置的概要結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是概要性地表示圖1的激光加工裝置所具有的激光振蕩器的內(nèi)部的圖。

圖3是表示圖1的激光加工裝置中的處理的一例的流程圖。

圖4是表示在圖1的激光加工裝置中預(yù)加工和正式加工中的激光輸出和反射光強(qiáng)度的歷時(shí)變化的一例的曲線圖。

圖5是說(shuō)明在圖4所示的預(yù)加工中基于反射光強(qiáng)度與第一判定值或第二判定值之間的大小關(guān)系的處理的具體例的曲線圖。

圖6是說(shuō)明在圖4所示的預(yù)加工中基于反射光強(qiáng)度與第一判定值或第二判定值之間的大小關(guān)系的處理的其它具體例的曲線圖。

圖7是說(shuō)明在輸出峰值、脈沖照射時(shí)間或者脈沖占空比變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以上的情況下結(jié)束預(yù)加工的處理的例子的曲線圖。

圖8是表示圖7的代替例的曲線圖。

圖9是表示圖7的其它代替例的曲線圖。

圖10是說(shuō)明在輸出峰值變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以下的情況下進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者變更除激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令的處理的曲線圖。

圖11是說(shuō)明在脈沖照射時(shí)間變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以下的情況下進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者變更除激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令的處理的曲線圖。

圖12是說(shuō)明在脈沖占空比變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以下的情況下進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者變更除激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令的處理的曲線圖。

圖13是例示在反射光強(qiáng)度變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的第三判定值以下的時(shí)間點(diǎn)結(jié)束預(yù)加工指令的處理的曲線圖。

圖14是表示以往技術(shù)所涉及的激光加工裝置中的激光輸出與反射光強(qiáng)度之間的關(guān)系的一例來(lái)作為與本實(shí)施方式比較的例子的曲線圖。

圖15是表示以往技術(shù)所涉及的激光加工裝置中的激光輸出與反射光強(qiáng)度之間的關(guān)系的其它例子來(lái)作為與本實(shí)施方式比較的例子的曲線圖。

具體實(shí)施方式

圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式所涉及的激光加工裝置10的概要結(jié)構(gòu)的圖。激光加工裝置10構(gòu)成為通過(guò)向被加工物(工件)12照射激光來(lái)對(duì)工件12進(jìn)行包括激光穿孔、激光切割、激光標(biāo)記以及激光焊接中的至少一個(gè)的激光加工。在圖示例中，激光加工裝置10具有激光振蕩器14、光纖16以及加工頭18，從激光振蕩器14輸出的激光通過(guò)光纖16進(jìn)行傳輸從而被引導(dǎo)到加工頭18，再通過(guò)聚光光學(xué)系統(tǒng)(未圖示)等被聚光后大致垂直地照射到工件12的表面。

激光加工裝置10具備對(duì)來(lái)自工件12的反射光的強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)(監(jiān)視)的光傳感器等檢測(cè)器20，在圖1的例子中，檢測(cè)器20設(shè)置于加工頭18。通過(guò)將檢測(cè)器20設(shè)置于加工頭18等激光振蕩器14的外部，能夠?qū)崿F(xiàn)激光振蕩器14的低成本化。

圖2是例示在激光振蕩器14內(nèi)部的至少兩個(gè)位置處設(shè)置有檢測(cè)器的情況的圖。在圖2的例子中，在激光振蕩器14內(nèi)，在光纖16的軸向端部配置有一個(gè)檢測(cè)器20，在由芯22和包層24形成的光纖16的包層24的外表面配置有一個(gè)檢測(cè)器20。通過(guò)像這樣在多個(gè)位置設(shè)置檢測(cè)器20，能夠更準(zhǔn)確地檢測(cè)(監(jiān)視)反射光強(qiáng)度。

如圖1所示，激光加工裝置10具有對(duì)激光振蕩器14進(jìn)行控制的控制裝置26，控制裝置26具有：激光加工指令部28，其輸出包括激光穿孔、激光切割、激光標(biāo)記以及激光焊接中的至少一個(gè)的激光加工指令；存儲(chǔ)部(存儲(chǔ)器)30，其存儲(chǔ)包括激光輸出指令值、脈沖開(kāi)啟(pulse-on)時(shí)間及脈沖周期的激光輸出條件以及由檢測(cè)器20監(jiān)視到的反射光強(qiáng)度；預(yù)加工指令部32，其在激光加工指令之前輸出預(yù)加工指令，該預(yù)加工指令包括與該激光加工指令的激光輸出條件不同的激光輸出條件；比較部34，其將存儲(chǔ)器30中存儲(chǔ)的反射光強(qiáng)度與第一判定值及低于第一判定值的第二判定值進(jìn)行比較；輸出條件變更部36，其基于比較部34的比較結(jié)果，來(lái)設(shè)定、變更預(yù)加工指令的激光輸出條件；以及預(yù)加工結(jié)束部38，其基于規(guī)定的條件來(lái)結(jié)束基于該預(yù)加工指令的預(yù)加工。其中，也能夠使除控制裝置26以外的裝置承擔(dān)激光加工指令部28、存儲(chǔ)器30、預(yù)加工指令部32、比較部34、輸出條件變更部36以及預(yù)加工結(jié)束部38的功能中的至少一個(gè)。另外，例如能夠作為cpu(處理器)來(lái)提供激光加工指令部28、預(yù)加工指令部32、比較部34、輸出條件變更部36以及預(yù)加工結(jié)束部38。

圖3是表示激光加工裝置10中的激光加工的大致流程的一例的流程圖。首先，進(jìn)行后述的預(yù)加工(步驟s1)，接著，進(jìn)行基于規(guī)定的激光輸出條件的正式加工。正式加工包括激光穿孔、激光切割、激光標(biāo)記以及激光焊接中的至少一個(gè)，而在此設(shè)在穿孔(打孔)(步驟s2)之后進(jìn)行切割(步驟s3)。

激光加工裝置10的控制裝置26能夠存儲(chǔ)、輸出與工件12的材質(zhì)、板厚相應(yīng)的激光加工指令(加工條件)，預(yù)加工指令是以上述激光加工指令為基礎(chǔ)設(shè)定的，在激光加工開(kāi)始時(shí)先于激光加工指令被執(zhí)行。例如，在工件12是厚度2mm的鋁板、要對(duì)其進(jìn)行穿孔(打孔)的情況下，激光加工指令(加工條件)例如是3000w、100hz、占空比40％、時(shí)間1秒，在激光加工指令之前執(zhí)行的預(yù)加工的條件例如是2000w、1000hz、占空比10％、時(shí)間0.1秒。

圖4表示上述的預(yù)加工和正式加工中的激光輸出和反射光強(qiáng)度的歷時(shí)變化的一例，具體地說(shuō)，曲線圖40表示激光輸出的歷時(shí)變化，曲線圖42表示反射光強(qiáng)度的歷時(shí)變化。

在曲線圖40中，在參照標(biāo)記46所示的正式加工之前，根據(jù)預(yù)加工指令來(lái)進(jìn)行參照標(biāo)記44所示的預(yù)加工，該預(yù)加工指令包括與正式加工中的激光加工指令的激光輸出條件不同的激光輸出條件。在圖4的例子中，與正式加工中的激光加工指令所包括的激光輸出指令值p1相比，預(yù)加工指令所包括的激光輸出指令值p2更小。

如曲線圖42所示，當(dāng)進(jìn)行如上所述的預(yù)加工時(shí)，檢測(cè)器20監(jiān)視的反射光強(qiáng)度為低于對(duì)激光振蕩器造成損傷的強(qiáng)度l0(報(bào)警水平)的值，因此不會(huì)因報(bào)警而停止激光振蕩，而且還能夠防止激光振蕩器的損傷。另外，在圖4的例子中，反射光強(qiáng)度比低于強(qiáng)度l0的預(yù)先決定的第一判定值l1低，而關(guān)于反射光強(qiáng)度變得比判定值l1高的情況在后面敘述。

即使如曲線圖40中的預(yù)加工44那樣以相同的激光輸出條件進(jìn)行激光照射，也會(huì)逐漸地使工件表面損傷或在工件表面形成孔(凹坑)，從而反射光變得容易被工件表面吸收，其結(jié)果是，反射光強(qiáng)度逐漸減少。在此，如果反射光強(qiáng)度變得比低于判定值l1的預(yù)先決定的第二判定值l2低，則判斷為能夠不受反射光的影響地開(kāi)始正式加工，能夠結(jié)束預(yù)加工而轉(zhuǎn)移到正式加工。這樣，能夠不因報(bào)警等而停止激光振蕩從而運(yùn)轉(zhuǎn)率下降、而且也不會(huì)發(fā)生工件的加工不良地進(jìn)行激光加工。

圖5和圖6是說(shuō)明在圖4所示的預(yù)加工中基于反射光強(qiáng)度與第一判定值l1或第二判定值l2之間的大小關(guān)系的處理的具體例的圖。

在如實(shí)線a所示那樣反射光強(qiáng)度大于第一判定值l1的情況下，為了可靠地避免反射光強(qiáng)度達(dá)到報(bào)警水平(l0)，輸出條件變更部36使輸出峰值(激光輸出指令值)變小、或者使脈沖照射時(shí)間(脈沖開(kāi)啟時(shí)間)變短、或者使脈沖占空比變小。此外，在圖5的例子中是使輸出峰值變小，在圖6的例子中是使脈沖照射時(shí)間變短。由此，能夠?qū)⒎瓷涔鈴?qiáng)度降低為第一判定值l1以下。

另外，在如點(diǎn)線b所示那樣反射光強(qiáng)度為第一判定值l1以下且為第二判定值l2以上的情況下，無(wú)需變更激光輸出條件。

另一方面，在如虛線c所示那樣反射光強(qiáng)度小于第二判定值l2的情況下，為了增加對(duì)工件的熱輸入量，輸出條件變更部36使輸出峰值變大、或者使脈沖照射時(shí)間變長(zhǎng)、或者使脈沖占空比變大。此外，在圖5的例子中是使輸出峰值變大，在圖6的例子中是使脈沖照射時(shí)間變長(zhǎng)。由此，能夠?qū)⒎瓷涔鈴?qiáng)度升高為第二判定值l2以上。

圖7是說(shuō)明在輸出峰值、脈沖照射時(shí)間或者脈沖占空比變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以上的情況下使預(yù)加工結(jié)束的處理的例子的圖。當(dāng)一定量的激光被工件表面吸收時(shí)，工件表面發(fā)生變質(zhì)，激光變得更容易被工件吸收。在該情況下，即使提高激光的強(qiáng)度，反射光強(qiáng)度也不會(huì)不利地變大，因此能夠如圖7所示那樣使輸出峰值階段性地變大來(lái)使對(duì)工件的熱輸入量高效地上升。

能夠?qū)敵龇逯殿A(yù)先設(shè)定作為上限的規(guī)定的值。在即使使輸出峰值變大到上限、反射光強(qiáng)度也為第一判定值l1以下(更優(yōu)選的是，為第二判定值l2以下)的情況下，能夠判斷為工件表面處于受損等已變質(zhì)的狀態(tài)、反射光已變少。因此，能夠事先設(shè)定為：在輸出峰值變?yōu)橐?guī)定的值p0以上(第三階段)的情況下結(jié)束預(yù)加工指令。此外，能夠適當(dāng)設(shè)定規(guī)定的值p0，但是也可以將規(guī)定的值p0設(shè)為額定輸出。

圖8和圖9是表示圖7的代替例的圖。圖8示出了脈沖關(guān)閉(pulse-off)時(shí)間(不進(jìn)行脈沖照射的時(shí)間)t1固定且使脈沖開(kāi)啟時(shí)間(脈沖照射時(shí)間)階段性地變長(zhǎng)的情況來(lái)作為使對(duì)工件的熱輸入增加的例子。另外，圖9示出了使脈沖周期t2固定且使脈沖占空比階段性地變長(zhǎng)的情況來(lái)作為使對(duì)工件的熱輸入增加的其它例子。

能夠如圖8所示那樣對(duì)脈沖照射時(shí)間預(yù)先設(shè)定上限值t3。在即使使脈沖照射時(shí)間變長(zhǎng)到上限值t3、反射光強(qiáng)度也為第一判定值l1以下(更優(yōu)選的是，為第二判定值l2以下)的情況下，能夠判斷為工件表面處于受損等已變質(zhì)的狀態(tài)、反射光已變少。因此，能夠事先設(shè)定為：在脈沖照射時(shí)間變?yōu)橐?guī)定的上限值以上的情況下結(jié)束預(yù)加工指令。

與圖8類似，能夠如圖9所示那樣對(duì)脈沖占空比預(yù)先設(shè)定上限值t4。在即使使脈沖占空比增加到上限值t4、反射光強(qiáng)度也為第一判定值l1以下(更優(yōu)選的是，為第二判定值l2以下)的情況下，能夠判定為工件表面處于受損等已變質(zhì)的狀態(tài)、反射光已變少。因此，能夠事先設(shè)定為：在脈沖占空比變?yōu)橐?guī)定的上限值以上的情況下結(jié)束預(yù)加工指令。

圖10是例示在輸出峰值變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的規(guī)定的值以下的情況下進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者除變更激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令的處理的圖。能夠?qū)敵龇逯殿A(yù)先設(shè)定下限值p3。在如圖10(的第三階段)所示那樣即使使輸出峰值小于下限值p3、反射光強(qiáng)度也不低于第一判定值l1的情況下，工件表面未受損，當(dāng)在該狀態(tài)下結(jié)束預(yù)加工指令時(shí)，存在以下可能性：在執(zhí)行接下來(lái)的激光加工指令時(shí)，反射光強(qiáng)度變大，對(duì)激光振蕩器造成損傷。因此在這種情況下，優(yōu)選的是，預(yù)加工指令部32進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)、或者變更除激光輸出指令以外的加工條件來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令。

圖11和圖12是表示圖10的代替例的圖。圖11示出了在脈沖關(guān)閉時(shí)間t5固定且使脈沖照射時(shí)間逐漸變小時(shí)、即使脈沖照射時(shí)間低于規(guī)定的下限值t6反射光強(qiáng)度也不低于第一判定值l1的情況(第五階段)，圖12示出了在脈沖周期t7固定且使脈沖占空比逐漸變小時(shí)、即使脈沖占空比低于規(guī)定的下限值t8反射光強(qiáng)度也不低于第一判定值l1的情況(第五階段)。在這些情況下，工件表面未受損，當(dāng)在該狀態(tài)下結(jié)束預(yù)加工指令時(shí)，存在以下可能性：在執(zhí)行接下來(lái)的激光加工指令時(shí)，反射光強(qiáng)度變大，對(duì)激光振蕩器造成損傷。因此，優(yōu)選的是，在脈沖照射時(shí)間或脈沖占空比變?yōu)橐?guī)定的下限值以下的情況下，進(jìn)行警報(bào)通知或停止運(yùn)轉(zhuǎn)，或者變更除激光輸出指令以外的加工條件(例如焦點(diǎn)位置的高度)來(lái)再次執(zhí)行預(yù)加工指令。

圖13是例示在反射光強(qiáng)度變?yōu)轭A(yù)先設(shè)定的第三判定值以下的時(shí)間點(diǎn)結(jié)束預(yù)加工指令的處理的圖。能夠?qū)Ψ瓷涔鈴?qiáng)度預(yù)先設(shè)定小于第二判定值l2的第三判定值l3。如上所述，在工件表面受損從而變?yōu)榉瓷涔馍俚臓顟B(tài)的情況下，能夠結(jié)束預(yù)加工指令，執(zhí)行接下來(lái)的激光加工指令。因此，設(shè)定反射光強(qiáng)度足夠少的閾值來(lái)作為第三判定值l3，在反射光強(qiáng)度變?yōu)榈谌卸ㄖ祃3以下的時(shí)間點(diǎn)結(jié)束預(yù)加工指令，由此能夠縮短預(yù)加工指令時(shí)間。

圖14和圖15是表示以往技術(shù)所涉及的激光加工裝置中的激光輸出與反射光強(qiáng)度之間的關(guān)系來(lái)作為與本實(shí)施方式比較的例子的曲線圖。圖14表示以下例子：在執(zhí)行參照標(biāo)記50所示的正式加工(穿孔、切割、標(biāo)記等)的過(guò)程中反射光強(qiáng)度達(dá)到規(guī)定的閾值l0(報(bào)警水平)的情況下，如點(diǎn)線52所示那樣使激光輸出停止。在該例子中，發(fā)生因激光振蕩的停止而導(dǎo)致的加工不良、激光加工裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率的下降。另一方面，圖15示出了以下情況：即使在執(zhí)行參照標(biāo)記54所示的正式加工(穿孔、切割、標(biāo)記等)的過(guò)程中反射光強(qiáng)度達(dá)到規(guī)定的閾值l0(報(bào)警水平)，也使報(bào)警的設(shè)定無(wú)效，或者設(shè)定跨越固定時(shí)間的報(bào)警屏蔽時(shí)間t9。在該情況下，存在以下?lián)鷳n：激光振蕩器因過(guò)大的反射光而受到損傷，其壽命下降。

但是，在本實(shí)施方式中，能夠一邊監(jiān)視并存儲(chǔ)反射光強(qiáng)度，一邊對(duì)工件上的加工開(kāi)始點(diǎn)以不會(huì)因反射光而發(fā)生報(bào)警的輸出進(jìn)行預(yù)加工，使工件表面變質(zhì)，來(lái)降低之后的反射光強(qiáng)度，因此能夠不停止激光振蕩地轉(zhuǎn)移到正式加工(穿孔、切割、標(biāo)記、焊接)。

根據(jù)本發(fā)明所涉及的激光加工裝置，能夠以不對(duì)振蕩器造成損傷的激光輸出條件來(lái)使工件表面受損，利用該損傷來(lái)降低之后的反射光強(qiáng)度。因此，不會(huì)發(fā)生因報(bào)警而停止激光振蕩所導(dǎo)致的加工不良、運(yùn)轉(zhuǎn)率下降等問(wèn)題。另外，也不會(huì)發(fā)生激光振蕩器的故障。