技術總結
提供激光加工裝置，對因激光光線的輸出變化或在光學系統(tǒng)中產(chǎn)生的畸變而導致的激光加工槽的寬度變化進行監(jiān)視。該裝置的激光光線照射構件包含：脈沖激光光線振蕩構件；聚光器，其對脈沖激光光線進行會聚而照射到保持在卡盤工作臺上的被加工物；分色鏡，其配設在脈沖激光光線振蕩構件與聚光器之間；閃光燈光照射構件，其對配設分色鏡和聚光器的路徑照射光；分束器，其配設在閃光燈光照射構件與分色鏡之間；和拍攝構件，其配設在借助分束器而分支的路徑上?？刂茦嫾归W光燈光照射構件和拍攝構件按照照射到被加工物的脈沖激光光線的時機進行動作，根據(jù)來自拍攝構件的圖像信號對剛剛照射了脈沖激光光線后的激光加工槽的寬度進行檢測。

技術研發(fā)人員：小田切航;巖本拓;小田中健太郎;大久保廣成;筑地修一郎;根橋功一;約耳·科維爾
受保護的技術使用者：株式會社迪思科
文檔號碼：201610559368
技術研發(fā)日：2016.07.15
技術公布日：2017.01.25