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具有平行錯(cuò)位單元的激光材料加工設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):11526911閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光材料加工設(shè)備,其具有:射束偏轉(zhuǎn)單元(16),用于偏轉(zhuǎn)激光束;平行錯(cuò)位單元(14),其具有至少三個(gè)反射鏡,其中,該至少三個(gè)反射鏡中的一個(gè)反射鏡可旋轉(zhuǎn)用于激光束的平行錯(cuò)位;以及聚焦裝置(18),用于將激光束聚焦到待加工的工件(20)上。

技術(shù)研發(fā)人員:漢斯-喬基姆·閔采爾;馬丁·瓦倫丁
受保護(hù)的技術(shù)使用者:施肯拉光學(xué)技術(shù)公司
技術(shù)研發(fā)日:2015.06.10
技術(shù)公布日:2017.08.18
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