板材平坦度矯正設(shè)備及其操作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種板材平坦度矯正設(shè)備及其操作方法。本發(fā)明所提供的板材平坦度矯正設(shè)備包括：液壓控制系統(tǒng)；矯正臺(tái)，具有用于放置被矯正板材的矯正面；上板，與所述矯正臺(tái)相對(duì)設(shè)置，使得其與所述矯正臺(tái)之間形成矯正空間；施壓柱，設(shè)置在所述矯正空間內(nèi)，所述施壓柱一端安裝于所述上板，另一端能夠在柱內(nèi)部液壓作用下壓向所述矯正臺(tái)，所述施壓柱包括第一施壓柱及第二施壓柱，所述第二施壓柱能夠移至所述被矯正板材多個(gè)位置進(jìn)行施壓。本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備可多點(diǎn)支撐固定、多點(diǎn)施壓。各施壓點(diǎn)壓力可同時(shí)調(diào)節(jié)，也可每個(gè)施壓點(diǎn)單獨(dú)調(diào)節(jié)，因而可防止在同時(shí)下壓過(guò)程中造成的被矯正板材過(guò)度承壓受損的問(wèn)題，也可以防止由于承壓不均受損的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】板材平坦度矯正設(shè)備及其操作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種液壓板材平坦度矯正設(shè)備及其操作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]通常靶材組合是由符合濺射性能的靶材和具有一定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。靶材自身體積較大，且容易變形破碎，為了能使靶材很好地固定在設(shè)備上，通常將靶材焊接到背板后再安裝到設(shè)備上。背板起到支撐固定作用，并具有傳導(dǎo)熱量的功效。在濺射過(guò)程中，靶材組合通常在200° C至500° C的溫度條件下工作。工作時(shí)，靶材組合的一側(cè)充以冷卻水強(qiáng)冷，而另一側(cè)則處于KT9Pa的高真空環(huán)境下，因而靶材組合兩側(cè)存在巨大的壓力差。在如此惡劣的工作環(huán)境下，背板易發(fā)生變形。另外，在反復(fù)使用過(guò)程，由于不正確的操作、移動(dòng)和材質(zhì)老化等原因，也會(huì)導(dǎo)致背板變形。如果將背板變形的靶材組合安裝到設(shè)備上，使用中就可能導(dǎo)致靶材脫離背板，造成機(jī)臺(tái)內(nèi)異常放電，微塵數(shù)量超標(biāo)等問(wèn)題，嚴(yán)重的造成產(chǎn)品和設(shè)備的報(bào)廢。因而，在焊接之前對(duì)靶材組合的背板進(jìn)行矯正是十分必要的。
[0003]雖然現(xiàn)在國(guó)內(nèi)外靶材組合加工廠商大部分都有背板矯正用的油壓設(shè)備，但由于這些油壓設(shè)備僅僅采用單柱下壓方式，基本上只能對(duì)中小型靶材組合(面積500mmX 500mm以下)所使用的背板進(jìn)行矯正。
[0004]目前液晶顯示面板市場(chǎng)上32英寸、42英寸和50英寸等大型液晶顯示面板逐漸成為消費(fèi)主流。液晶顯示面板尺寸的增大要求液晶顯示面板制作過(guò)程中用到的靶材組合的尺寸相應(yīng)的增大，因而要求背板的尺寸也增大。大尺寸的背板在使用過(guò)程中會(huì)發(fā)生各種復(fù)雜的變形，例如鼓起、扭曲等變形。為了將靶材組合良好的固定在設(shè)備上，對(duì)靶材背板的平坦度要求也越來(lái)越高。利用現(xiàn)有矯正設(shè)備對(duì)大型背板(面積在500mmX 500mm以上)進(jìn)行矯正，矯正后平坦度僅能達(dá)到1.0mm以上，而大型背板對(duì)平坦度要求是在0.5mm以下，現(xiàn)有矯正設(shè)備不能滿(mǎn)足大型背板平坦度所需要求。同時(shí)，現(xiàn)有設(shè)備施壓位置不可調(diào)整，使用現(xiàn)有設(shè)備和技術(shù)對(duì)靶材組合的背板進(jìn)行矯正時(shí)，需要頻繁的移動(dòng)背板的位置，而大型背板的自重較大(100kg以上)，在移動(dòng)過(guò)程中存在人員安全隱患，同時(shí)存在對(duì)背板表面造成劃傷，碰傷等危險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，發(fā)明人提供一種矯正設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法矯正大型靶材組合背板，無(wú)法矯正靶材背板復(fù)雜變形的問(wèn)題。
[0006]本發(fā)明提供一種板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，包括:
[0007]液壓控制系統(tǒng)；
[0008]矯正臺(tái)，具有用于放置被矯正板材的矯正面；
[0009]上板，與所述矯正臺(tái)相對(duì)設(shè)置，使得其與所述矯正臺(tái)之間形成矯正空間；
[0010]施壓柱，設(shè)置在所述矯正空間內(nèi)，所述施壓柱一端安裝于所述上板，另一端能夠在柱內(nèi)部液壓作用下壓向所述矯正臺(tái)，所述施壓柱包括第一施壓柱及第二施壓柱，所述第二施壓柱能夠移至所述被矯正板材多個(gè)位置進(jìn)行施壓。
[0011]可選的，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱都包括有細(xì)段和粗段，所述細(xì)段和所述粗段以密封、可滑動(dòng)的方式套合，并且所述細(xì)段和所述粗段內(nèi)部中空連接形成體積可變的腔體以便液體壓入和抽出；所述細(xì)段側(cè)部帶有側(cè)壁導(dǎo)管；所述側(cè)壁導(dǎo)管連接至所述液壓控制系統(tǒng)。
[0012]可選的，所述上板設(shè)置有位于其內(nèi)部邊緣的三根固定橫梁和連接于所述固定橫梁之間的一根滑動(dòng)橫梁；三根所述第一施壓柱通過(guò)滑動(dòng)裝置各自與一根所述固定橫梁連接，使得所述第一施壓柱可沿其所連接的所述固定橫梁的軸向運(yùn)動(dòng)；所述第二施壓柱通過(guò)滑動(dòng)裝置與所述滑動(dòng)橫梁連接，使得所述第二施壓柱既能夠沿所述滑動(dòng)橫梁的軸向運(yùn)動(dòng)，又能夠隨所述滑動(dòng)橫梁的滑動(dòng)方向運(yùn)動(dòng)。
[0013]可選的，所述上板通過(guò)多個(gè)立柱與所述矯正臺(tái)固定連接。
[0014]可選的，所述多個(gè)立柱分散設(shè)置在所述矯正臺(tái)的邊角區(qū)域。
[0015]可選的,所述矯正面通過(guò)所述矯正空間的側(cè)面暴露在外，所述矯正空間的側(cè)面為連接所述矯正臺(tái)與所述上板的側(cè)面。
[0016]可選的，所述矯正臺(tái)固定于底座上。
[0017]可選的，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱的所述細(xì)段和所述粗段的外形為圓柱形或者四方柱形。
[0018]可選的，所述上板內(nèi)部邊緣還有一根固定橫梁，該固定橫梁與另外三根所述固定橫梁首尾相連形成穩(wěn)定架構(gòu)。
[0019]本發(fā)明還提供了一種如上所述的板材平坦度矯正設(shè)備的操作方法，其特征在于，包括:
[0020]將被矯正板材放置于所述矯正面；
[0021]移動(dòng)至少一根所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材上方合適位置，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根施壓柱下壓，固定所述被矯正板材；
[0022]移動(dòng)至少一根未用于固定所述被矯正板材的所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材變形部位上方，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根未用于固定所述被矯正板材的施壓柱的粗段下壓，對(duì)被矯正板材變形部位進(jìn)行施壓矯正。
[0023]可選的，在將所述被矯正板材放置于所述矯正面之前，將各所述施壓柱移動(dòng)至合適位置并收縮至離所述矯正面合適高度，以保證所述被矯正板材能夠放置于所述矯正面。
[0024]可選的，通過(guò)所述矯正空間各側(cè)中沒(méi)有所述第一施壓柱的一側(cè)放置入被矯正板材。
[0025]可選的，將所述被矯正板材放置于所述矯正面之時(shí)，所述被矯正板材變形部位盡可能靠近矯正面中心部位。
[0026]可選的，所述施壓矯正時(shí)，采取多次短促施壓的施壓矯正方式。
[0027]可選的，各所述施壓柱獨(dú)立地調(diào)節(jié)移動(dòng)位置和下壓壓力。
[0028]可選的，在對(duì)被矯正板材變形部位進(jìn)行施壓矯正之后，檢測(cè)被矯正的所述被矯正板材平坦度是否滿(mǎn)足要求，若不滿(mǎn)足要求則再次進(jìn)行施壓矯正。
[0029]可選的，對(duì)于面積為500mmX 500mm以上的靶材組合的背板，其平坦度在0.5mm以
下為滿(mǎn)足要求。[0030]可選的，在將所述被矯正板材放置于所述矯正面之前，進(jìn)行矯正面的檢測(cè):
[0031]若所述矯正面變形不嚴(yán)重但需要矯正處理時(shí)，在不拆卸的情況下用拋光設(shè)備對(duì)所述矯正面進(jìn)行表面拋光矯正；
[0032]若所述矯正面變形較嚴(yán)重，拆卸下所述矯正臺(tái)后，對(duì)所述矯正臺(tái)進(jìn)行銑平矯正。
[0033]可選的，使用龍馬銑床對(duì)所述矯正臺(tái)進(jìn)行銑平矯正。
[0034]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0035]1.本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備由于具有第一施壓柱和第二施壓柱，因而可多點(diǎn)支撐固定、多點(diǎn)施壓。各施壓點(diǎn)壓力可同時(shí)調(diào)節(jié)，也可每個(gè)施壓點(diǎn)單獨(dú)調(diào)節(jié)，因而可防止在同時(shí)下壓過(guò)程中造成的被矯正板材過(guò)度承壓受損的問(wèn)題，也可以防止由于承壓不均受損的問(wèn)題。
[0036]2.本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備第二施壓柱可以移動(dòng)，在矯正中不需要移動(dòng)被矯正板材，克服了矯正過(guò)程中被矯正板材移動(dòng)困難的問(wèn)題，大大的提高了人員及被矯正板材的安全系數(shù)。同時(shí)，由于第二施壓柱可以移動(dòng)，本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備能夠應(yīng)對(duì)不同位置的各種變形進(jìn)行矯正，對(duì)被矯正板材變形的具體位置有針對(duì)性的進(jìn)行矯正，有效解決了現(xiàn)有設(shè)備矯正效果差，無(wú)法矯正大型靶材組合背板，無(wú)法矯正復(fù)雜變形的問(wèn)題。
[0037]3.本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備中各施壓柱可以移動(dòng)，因而在矯正過(guò)程中不需要移動(dòng)被矯正板材，因而可單人獨(dú)立作業(yè)，作業(yè)效率高，操作安全，返修率少。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0038]圖1為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備的示意圖；
[0039]圖2為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備的上板與施壓柱的連接示意圖；
[0040]圖3為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備的操作方法的流程示意圖；
[0041]圖4為為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備矯正背板的示意圖。
[0042]110-底座120-矯正臺(tái)121-矯正面130-立柱140-上板
[0043]150-第一施壓柱151-第一施壓柱細(xì)段152-第一施壓柱粗段
[0044]160-第二施壓柱161-第二施壓柱細(xì)段162-第二施壓柱粗段
[0045]170-側(cè)壁導(dǎo)管210-固定橫梁220-滑動(dòng)橫梁230-滑動(dòng)裝置
[0046]310-銅背板
【具體實(shí)施方式】
[0047]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0048]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。
[0049]請(qǐng)參考圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備的示意圖。
[0050]從圖1中可以看到，本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備具有相對(duì)設(shè)置的矯正臺(tái)120和上板140。矯正臺(tái)120具有用于放置被矯正板材的矯正面121。
[0051]四根立柱130下端固定于矯正臺(tái)120的邊角區(qū)域，上端固定于上板140的邊角區(qū)域，使得矯正臺(tái)120與上板140之間形成矯正空間。需要說(shuō)明的是，除了圖1中所顯示的用四根立柱130來(lái)使得矯正臺(tái)120與上板140之間形成矯正空間的方式外，還可以通過(guò)其它的方式使得矯正臺(tái)120與上板140之間形成矯正空間，例如，在矯正臺(tái)120與上板140之間設(shè)置三面?zhèn)缺?，也能夠使得矯正臺(tái)120與上板140之間形成矯正空間。但是本實(shí)施例中采用立柱130的方式，能夠使得光線容易進(jìn)入所形成的矯正空間內(nèi)，有利于隨時(shí)觀察到矯正空間中各器件的位置和情況。
[0052]三根第一施壓柱150和一根第二施壓柱160設(shè)置于上述的矯正空間內(nèi)。本實(shí)施例只設(shè)置三根第一施壓柱150，留出四根立柱130所圍成的四個(gè)側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面未設(shè)置第一施壓柱150，如圖1中所示留出后方側(cè)面，方便后續(xù)將被矯正板材放入矯正面121上。其中第一施壓柱150和第二施壓柱160均一端安裝于上板140,另一端能夠在施壓柱內(nèi)部液壓作用下壓向矯正面121。并且第二施壓柱160能夠移下壓至矯正面121的多個(gè)位置，因而可以對(duì)被矯正板材的多個(gè)位置進(jìn)行施壓。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明并不限定第一施壓柱與第二施壓柱的個(gè)數(shù)，本實(shí)施例只是給出一種方案，本發(fā)明所保護(hù)的范圍包括其它施壓柱個(gè)數(shù)的方案。
[0053]本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備中，還包括液壓控制系統(tǒng)(圖中未示出)，此液壓控制系統(tǒng)連接到各實(shí)施柱以控制各實(shí)施柱內(nèi)部液壓，使得各實(shí)施柱能夠向上收縮和向下伸長(zhǎng)施壓，具體原理本發(fā)明說(shuō)明書(shū)后面的內(nèi)容將做進(jìn)一步闡述。
[0054]請(qǐng)繼續(xù)參考圖1，從圖1中可以看到，第一施壓柱150包括有第一施壓柱細(xì)段151和第一施壓柱粗段152，并且第一施壓柱細(xì)段151和第一施壓柱粗段152密封滑動(dòng)套合。第二施壓柱160包括有第二施壓柱細(xì)段161和第二施壓柱粗段162，并且第二施壓柱細(xì)段161和第二施壓柱粗段162密封滑動(dòng)套合。本實(shí)施例中第一施壓柱細(xì)段151，第一施壓柱粗段152，第二施壓柱細(xì)段161和第二施壓柱粗段162的外形都為圓柱形或者四方柱形。在相同的底面邊長(zhǎng)條件下，圓柱形的施壓柱有最大的施壓底面積，有利于對(duì)變形位置進(jìn)行矯正。當(dāng)然，在其它實(shí)施例中第一施壓柱細(xì)段151，第一施壓柱粗段152，第二施壓柱細(xì)段161和第二施壓柱粗段162的外形也可以是其它形狀。
[0055]本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備中，第一施壓柱細(xì)段151和第一施壓柱粗段152內(nèi)部中空形成體積可變的腔體(圖中未示出)，同樣的，第二施壓柱細(xì)段161和第二施壓柱粗段162細(xì)段內(nèi)部中空形成體積可變的腔體(圖中未示出)。第一施壓柱細(xì)段151和第二施壓柱細(xì)段161和側(cè)部帶有側(cè)壁導(dǎo)管170，側(cè)壁導(dǎo)管170連接至如上所述的液壓控制系統(tǒng)。
[0056]本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備通過(guò)液壓控制系統(tǒng)控制液體從側(cè)壁導(dǎo)管170壓入和抽出第一施壓柱150。由于第一施壓柱細(xì)段151和第一施壓柱粗段152內(nèi)部中空形成的體積可變的腔體，因而當(dāng)液體被壓入第一施壓柱150時(shí)，液體進(jìn)入該體積可變的腔體，使得該腔體內(nèi)部液體壓強(qiáng)增大。又由于第一施壓柱細(xì)段151和第一施壓柱粗段152是密封滑動(dòng)套合的，因而，第一施壓柱粗段152能夠沿著第一施壓柱細(xì)段151下滑，以使得腔體體積增大，整個(gè)過(guò)程就使得第一施壓柱150伸長(zhǎng)下壓，因而第一施壓柱150能夠?qū)Ψ胖糜诔C正面121上的被矯正板材進(jìn)行施壓矯正。當(dāng)液體從第一施壓柱150抽出時(shí)，腔體內(nèi)壓強(qiáng)減小并導(dǎo)致腔體體積收縮減小，第一施壓柱粗段152沿著第一施壓柱細(xì)段151上滑，使得第一施壓柱150收縮停止施壓矯正。對(duì)于第二施壓柱160，其伸長(zhǎng)下壓施壓矯正和收縮停止施壓矯正的原理和以上所述第一施壓柱150伸長(zhǎng)下壓施壓矯正和收縮停止施壓的原理相同，在此不再贅述。
[0057]需要說(shuō)明的是，液壓控制系統(tǒng)可以通過(guò)側(cè)壁導(dǎo)管170單獨(dú)地控制每個(gè)施壓柱的伸長(zhǎng)和收縮，還可以控制每個(gè)施壓柱的下壓壓力，這樣，就使得整個(gè)矯正設(shè)備達(dá)到了多點(diǎn)可獨(dú)立調(diào)節(jié)施壓，并且施壓壓力可控的效果。
[0058]本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備中，如圖1所示，還可以包括有底座110，增設(shè)底座110可使得矯正設(shè)備更加方便工作人員操作。底座110與矯正臺(tái)120固定連接，防止彼此之間發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，可以采取焊接或者螺釘鎖合等方式使得底座110與矯正臺(tái)120固定連接。底座110可以做得厚重一些，以起到較好的穩(wěn)定作用和墊高作用，方便工作人員進(jìn)行矯正操作。
[0059]請(qǐng)參考圖2，本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備中，上板140內(nèi)部邊緣有三根固定橫梁210。三根第一施壓柱150通過(guò)三個(gè)滑動(dòng)裝置230分別與三根固定橫梁210連接，使得每根第一施壓柱150可沿其所連接的固定橫梁210的軸向(即固定橫梁210的長(zhǎng)度方向)運(yùn)動(dòng)。這樣，第一施壓柱150就能夠在其連接的固定橫梁210所在邊上移動(dòng)，到達(dá)相應(yīng)的位置。在其它實(shí)施例中，上板140中除上面提到的三根固定橫梁210外，還可以包括有一根固定橫梁，此固定橫梁不連接施壓柱，但它與其它三根固定橫梁210形成首尾相連形成的四邊形穩(wěn)定架構(gòu)，形成此四邊形的穩(wěn)定架構(gòu)有利于為施壓柱提供穩(wěn)固的連接架構(gòu)。
[0060]上板140內(nèi)部還有一根滑動(dòng)橫梁220，該滑動(dòng)橫梁220可在與其長(zhǎng)度方向(即軸向)垂直的方向上滑動(dòng)。第二施壓柱160通過(guò)滑動(dòng)裝置230與滑動(dòng)橫梁220連接，使得第二施壓柱160既可以沿滑動(dòng)橫梁220的軸向運(yùn)動(dòng)，又可以隨滑動(dòng)橫梁220的滑動(dòng)方向運(yùn)動(dòng)，并且滑動(dòng)橫梁220的軸向和其滑動(dòng)方向相互交叉，因而第二施壓柱160可以在一定運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)移動(dòng)任意位置，第二施壓柱160的一定運(yùn)動(dòng)范圍是指:在滑動(dòng)橫梁220的軸向上小于等于滑動(dòng)橫梁220的軸向長(zhǎng)度上的范圍和在滑動(dòng)橫梁220的滑動(dòng)方向上等于滑動(dòng)橫梁220自身可以滑動(dòng)的距離范圍。因此，第二施壓柱160可以到達(dá)矯正面121上除邊角以外的大部分位置。
[0061]本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備中，滑動(dòng)裝置230可以為滑塊裝置，此滑塊裝置與施壓柱的上端固定連接，另一端與橫梁滑動(dòng)套合，這樣，它就能帶動(dòng)施壓柱在橫梁所在軸向來(lái)回運(yùn)動(dòng)。在其它實(shí)施例中滑動(dòng)裝置230還可以是例如傳送帶等能夠帶動(dòng)施壓柱做平移的裝置。圖2中雖未示出，但是可以通過(guò)控制系統(tǒng)控制滑動(dòng)橫梁220和滑動(dòng)裝置230的滑動(dòng)統(tǒng)一控制三根第一施壓柱150和一根第二施壓柱160的運(yùn)動(dòng),通過(guò)此控制系統(tǒng)的控制,各施壓柱既可以獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，又可以相互協(xié)調(diào)部分或者全部一起運(yùn)動(dòng)。但是也可以不用控制系統(tǒng)，而用人工直接或間接移動(dòng)滑動(dòng)裝置使得第一施壓柱150和第二施壓柱160到達(dá)相應(yīng)位置。
[0062]從上述可知，本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備具有三根第一施壓柱150和一根第二施壓柱160,并且,三根第一施壓柱150位于矯正面121三側(cè)邊的上方,一根第二施壓柱160位于矯正面121中間區(qū)域上方。并且，每根第一施壓柱150可以在矯正面121的一條側(cè)邊的上方來(lái)回移動(dòng)至相應(yīng)位置，第二施壓柱160可以移動(dòng)至矯正面121大部分區(qū)域。同時(shí)，所有施壓柱都可以伸長(zhǎng)下壓進(jìn)行施壓矯正或者固定作用，所有施壓柱也可以收縮懸掛于矯正空間內(nèi)。因而，當(dāng)利用本實(shí)施例提供的矯正設(shè)備對(duì)板材進(jìn)行矯正時(shí)，可以利用部分施壓柱對(duì)板材進(jìn)行固定，利用其它施壓柱對(duì)板材進(jìn)行施壓矯正，由于有部分施壓柱進(jìn)行固定作用，因而在對(duì)板材變形部位施壓矯正過(guò)程中，板材既不容易出現(xiàn)因單點(diǎn)受力過(guò)度而發(fā)生翹曲現(xiàn)象，也不容易出現(xiàn)因在矯正過(guò)程中板材發(fā)生移動(dòng)而導(dǎo)致矯正效果差的問(wèn)題。這樣，本實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備就克服了現(xiàn)有技術(shù)中單點(diǎn)施壓平坦度無(wú)法達(dá)到1.0mm以下的問(wèn)題，可以使得矯正后的板材平坦度達(dá)到0.5mm以下。
[0063]本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備在矯正過(guò)程中不需要移動(dòng)被矯正板材，克服了矯正過(guò)程中被矯正板材移動(dòng)困難的問(wèn)題，大大的提高了人員及被矯正板材的安全系數(shù)。本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備可多點(diǎn)支撐固定、多點(diǎn)施壓，各施壓點(diǎn)壓力可同時(shí)調(diào)節(jié)，也可每個(gè)施壓點(diǎn)單獨(dú)調(diào)節(jié)，可防止在同時(shí)下壓過(guò)程中造成的被矯正板材過(guò)度承壓受損，也可防止由于承壓不均受損等問(wèn)題。本發(fā)明所提供矯正設(shè)備能夠?qū)Υ笮捅怀C正板材進(jìn)行矯正，能夠應(yīng)對(duì)不同位置的各種變形進(jìn)行矯正，能夠?qū)Ρ怀C正板材變形的具體位置有針對(duì)性的進(jìn)行矯正，解決了現(xiàn)有設(shè)備矯正效果差，無(wú)法矯正大型靶材組合背板，無(wú)法矯正復(fù)雜變形的問(wèn)題。本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備可單人獨(dú)立作業(yè)，操作簡(jiǎn)單，大大減少了靶材組合矯正時(shí)間，提高了工作效率，并且返修率小。
[0064]本發(fā)明雖然是針對(duì)于矯正靶材組合的背板而提出和設(shè)計(jì)的平坦度矯正設(shè)備，但不限于用于矯正靶材組合背板，事實(shí)上，只要尺寸大小合適，硬度合適的板材，都可以用本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備來(lái)矯正。
[0065]以下內(nèi)容有關(guān)于上述矯正設(shè)備的操作方法。
[0066]請(qǐng)參考圖3，圖3為本發(fā)明實(shí)施例所提供的操作方法步驟的示意圖。具體的，可以按以下操作來(lái)進(jìn)行:
[0067]將施壓柱移動(dòng)至合適位置和高度，將被矯正板材放置于矯正面上。在放置時(shí)，其中一種方式為將被矯正板材變形部位盡可能靠近矯正面中心部位。當(dāng)然，對(duì)于尺寸較小的被矯正板材或者變形中心難以靠近矯正面中心的被矯正板材，可以放置在矯正面的相應(yīng)位置上，后續(xù)靈活運(yùn)用第一施壓柱和第二施壓柱使得它們得到有效矯正。而對(duì)于尺寸與矯正面面積接近的被矯正板材，通?？梢圆捎脤⒈怀C正板材各邊角與矯正臺(tái)面各邊角對(duì)齊的方式放置。
[0068]移動(dòng)至少一根所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材上方合適位置，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根施壓柱的粗段下壓，固定所述被矯正板材。對(duì)于前面提到的尺寸較小或者變形中心難以靠近矯正面中心的被矯正板材，可以移動(dòng)第一施壓柱和第二施壓柱到達(dá)相應(yīng)位置以固定它們。此步驟中被移動(dòng)的施壓柱可能是第一施壓柱也可能是第二施壓柱，視被矯正板材在矯正面上的具體擺放位置的情況而定。
[0069]移動(dòng)至少一根未用于固定所述被矯正板材的所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材變形部位上方，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根施壓柱的粗段下壓，對(duì)被矯正板材變形部位進(jìn)行施壓矯正。此步驟中被移動(dòng)的施壓柱可能是第二施壓柱也可能是第一施壓柱，視被矯正板材變形部位在矯正面上的具體位置以及可用來(lái)進(jìn)行施壓矯正的施壓柱能夠到達(dá)的位置而定。
[0070]請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明實(shí)施例所提供的矯正設(shè)備矯正背板的示意圖。圖4中，310為銅背板，其它的部件為前面所述的板材平坦度矯正設(shè)備的部件。
[0071]本實(shí)施例公開(kāi)的上述矯正設(shè)備對(duì)銅背板310 (面積為2500mmX 1800mm),進(jìn)行矯正的操作方法，具體步驟如下:[0072]將三根第一施壓柱150和一根第二實(shí)施柱160移動(dòng)至合適高度和位置，以方便銅背板310放置入矯正面上，將銅背板310平放置在矯正面121上。本實(shí)施例中，將銅背板310從四個(gè)立柱130兩兩之間構(gòu)成的四個(gè)側(cè)面中沒(méi)有第一施壓柱的側(cè)面放置入矯正面，這樣能夠使得放置過(guò)程更為方便。
[0073]移動(dòng)三根第一施壓柱150,使其位于被矯正板材310上方合適位置,通過(guò)液壓控制系統(tǒng)控制第一施壓柱150伸長(zhǎng)下壓，以固定銅背板310。
[0074]移動(dòng)第二施壓柱160，使其位于銅背板310變形部位上方，通過(guò)液壓控制系統(tǒng)控制第二施壓柱160的粗段162的伸長(zhǎng)下壓，以對(duì)銅背板310變形部位進(jìn)行施壓矯正。本實(shí)施例中，施壓矯正時(shí)，采取多次短促施壓的施壓矯正方式，例如針對(duì)同一變形每次實(shí)施一分鐘左右的實(shí)施作用，具體的多次施壓的次數(shù)與每次短促施壓的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)根據(jù)背板的材質(zhì)和厚度而定。這種方式既可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確矯正，又可以避免因過(guò)度施壓造成銅背板310開(kāi)裂或者因過(guò)度施壓反而造成銅背板310變形。同時(shí)，三根第一施壓柱150也可以在其能夠到達(dá)的被矯正板材變形位置進(jìn)行施壓矯正，實(shí)現(xiàn)了多點(diǎn)矯正。并且三根第一施壓柱150與第二施壓柱160可獨(dú)立地調(diào)節(jié)移動(dòng)位置和下壓壓力，防止在同時(shí)下壓過(guò)程中造成的背板過(guò)度承壓及承壓不均受損等問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)對(duì)大型被矯正板材背板進(jìn)行矯正，對(duì)不同位置的各種變形進(jìn)行矯正，對(duì)被矯正板材變形的具體位置，有針對(duì)性的進(jìn)行矯正。
[0075]由于是移動(dòng)三根第一施壓柱150和一根第二施壓柱160來(lái)進(jìn)行施壓矯正，不需要移動(dòng)銅背板310，克服了矯正過(guò)程中被矯正板材移動(dòng)困難的問(wèn)題，大大的提高了工作人員的安全系數(shù)及被矯正板材的安全系數(shù)。本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備可單人獨(dú)立作業(yè)，并且作業(yè)時(shí)間大大節(jié)省。操作簡(jiǎn)單，大大減少了靶材組合背板矯正時(shí)間，工作效率高，返修率少，可以很好地矯正靶材組合背板，滿(mǎn)足靶材組合背板的平坦度要求，延長(zhǎng)靶材組合背板的使用壽命O
[0076]在完成一輪施壓矯正后，檢測(cè)被矯正的銅背板310平坦度是否滿(mǎn)足要求。若銅背板310平坦度在0.5mm以下，則滿(mǎn)足要求，矯正完成。若不滿(mǎn)足平坦度在0.5mm以下，則需要再次施壓矯正，直至滿(mǎn)足要求?？梢允钱?dāng)銅背板310仍放置在矯正面121上時(shí)進(jìn)行平坦度檢測(cè)，也可以是將銅背板310移至大理石水平檢測(cè)臺(tái)上后，進(jìn)行平坦度檢測(cè)(例如用塞尺塞到銅背板310和矯正臺(tái)120之間來(lái)測(cè)試平坦度是否滿(mǎn)足要求)，可利用各種平坦度測(cè)試儀(例如激光平坦度測(cè)試儀)對(duì)銅背板310進(jìn)行平坦度測(cè)試。如果是未搬離矯正面121時(shí)進(jìn)行平坦度檢測(cè)，一旦檢測(cè)結(jié)果不滿(mǎn)足要求，可以直接再次進(jìn)行施壓矯正。如果已經(jīng)將銅背板310搬離了矯正設(shè)備，一旦檢測(cè)平坦度不滿(mǎn)足要求，則需要進(jìn)行新一輪的矯正操作。
[0077]本實(shí)施例所提供的操作方法過(guò)程中，在將被矯正板材放置于矯正面121上之前，還可以對(duì)矯正面121的平坦度進(jìn)行檢測(cè)，如果不滿(mǎn)足要求，則對(duì)矯正面121進(jìn)行平坦度矯正。具體操作包括:使用平坦度測(cè)試儀(如果矯正設(shè)備放置于水平位置，還可以用水平儀)進(jìn)行矯正面121的檢測(cè)，若矯正面121變形不嚴(yán)重，在不拆卸的情況下用拋光設(shè)備對(duì)矯正面121進(jìn)行表面拋光，若矯正面121變形較嚴(yán)重，拆卸下矯正臺(tái)120后，對(duì)矯正臺(tái)120進(jìn)行銑平處理，可以采用龍馬銑床對(duì)矯正臺(tái)120進(jìn)行銑平處理。
[0078]對(duì)于矯正臺(tái)120焊接于底座110的情況，當(dāng)需要拆卸下矯正臺(tái)120時(shí)，需要使得它們之間進(jìn)行脫焊分離，對(duì)于矯正臺(tái)120以其它方式固定于底座110的情況，用相應(yīng)地方法使矯正臺(tái)120與底座110分離。另外，矯正臺(tái)120需要與立柱130拆解分離，根據(jù)矯正臺(tái)120與立柱130的連接方式選擇它們的拆解方式，例如立柱130是螺旋鎖入矯正臺(tái)120的情況下，只需要將立柱130旋出矯正臺(tái)120。
[0079]以上實(shí)施例是以矯正大型靶材組合背板為例來(lái)說(shuō)明本發(fā)明所提供矯正設(shè)備的一種操作方法。但是，本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備不限于用于矯正靶材組合背板。事實(shí)上，只要是大小和硬度合適，其它類(lèi)型的工件都可以用本發(fā)明所提供的液壓控制系統(tǒng)進(jìn)行矯正。同時(shí)，本發(fā)明所提供的矯正設(shè)備也不限于用以上所提供的操作方法進(jìn)行操作，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)要矯正對(duì)象的實(shí)際情況和其它因素，在操作過(guò)程中采取其它相應(yīng)的操作方法。
[0080]本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)部分重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他部分的不同之處，各個(gè)部分之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。
[0081]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，包括: 液壓控制系統(tǒng)； 矯正臺(tái)，具有用于放置被矯正板材的矯正面； 上板，與所述矯正臺(tái)相對(duì)設(shè)置，使得其與所述矯正臺(tái)之間形成矯正空間； 施壓柱，設(shè)置在所述矯正空間內(nèi)，所述施壓柱一端安裝于所述上板，另一端能夠在柱內(nèi)部液壓作用下壓向所述矯正臺(tái)，所述施壓柱包括第一施壓柱及第二施壓柱，所述第二施壓柱能夠移至所述被矯正板材多個(gè)位置進(jìn)行施壓。
2.如權(quán)利要求1所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱都包括有細(xì)段和粗段，所述細(xì)段和所述粗段以密封、可滑動(dòng)的方式套合，并且所述細(xì)段和所述粗段內(nèi)部中空連接形成體積可變的腔體以便液體壓入和抽出；所述細(xì)段側(cè)部帶有側(cè)壁導(dǎo)管；所述側(cè)壁導(dǎo)管連接至所述液壓控制系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求1所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述上板設(shè)置有位于其內(nèi)部邊緣的三根固定橫梁和連接于所述固定橫梁之間的一根滑動(dòng)橫梁；三根所述第一施壓柱通過(guò)滑動(dòng)裝置各自與一根所述固定橫梁連接，使得所述第一施壓柱可沿其所連接的所述固定橫梁的軸向運(yùn)動(dòng)；所述第二施壓柱通過(guò)滑動(dòng)裝置與所述滑動(dòng)橫梁連接，使得所述第二施壓柱既能夠沿所述滑動(dòng)橫梁的軸向運(yùn)動(dòng)，又能夠隨所述滑動(dòng)橫梁的滑動(dòng)方向運(yùn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述上板通過(guò)多個(gè)立柱與所述矯正臺(tái)固定連接。
5.如權(quán)利要求4所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)立柱分散設(shè)置在所述矯正臺(tái)的邊角區(qū)域。
6.如權(quán)利要求1或5所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述矯正面通過(guò)所述矯正空間的側(cè)面暴露在外，所述矯正空間的側(cè)面為連接所述矯正臺(tái)與所述上板的側(cè)面。
7.如權(quán)利要求1所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述矯正臺(tái)固定于底座上。
8.如權(quán)利要求2所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述第一施壓柱和所述第二施壓柱的所述細(xì)段和所述粗段的外形為圓柱形或者四方柱形。
9.如權(quán)利要求3所述的板材平坦度矯正設(shè)備，其特征在于，所述上板內(nèi)部邊緣還有一根固定橫梁，該固定橫梁與另外三根所述固定橫梁首尾相連形成穩(wěn)定架構(gòu)。
10.一種如權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的板材平坦度矯正設(shè)備的操作方法，其特征在于，包括: 將被矯正板材放置于所述矯正面； 移動(dòng)至少一根所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材上方合適位置，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根施壓柱下壓，固定所述被矯正板材； 移動(dòng)至少一根未用于固定所述被矯正板材的所述施壓柱，使其位于所述被矯正板材變形部位上方，控制所述液壓控制系統(tǒng)使該至少一根未用于固定所述被矯正板材的施壓柱的粗段下壓，對(duì)被矯正板材變形部位進(jìn)行施壓矯正。
11.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，在將所述被矯正板材放置于所述矯正面之前，將各所述施壓柱移動(dòng)至合適位置并收縮至離所述矯正面合適高度，以保證所述被矯正板材能夠放置于所述矯正面。
12.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，通過(guò)所述矯正空間各側(cè)中沒(méi)有所述第一施壓柱的一側(cè)放置入被矯正板材。
13.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，將所述被矯正板材放置于所述矯正面之時(shí)，所述被矯正板材變形部位盡可能靠近矯正面中心部位。
14.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，所述施壓矯正時(shí)，采取多次短促施壓的施壓矯正方式。
15.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，各所述施壓柱獨(dú)立地調(diào)節(jié)移動(dòng)位置和下壓壓力。
16.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，在對(duì)被矯正板材變形部位進(jìn)行施壓矯正之后，檢測(cè)被矯正的所述被矯正板材平坦度是否滿(mǎn)足要求，若不滿(mǎn)足要求則再次進(jìn)行施壓矯正。
17.如權(quán)利要求16所述的操作方法，其特征在于，對(duì)于面積為500mmX500mm以上的靶材組合的背板，其平坦度在0.5mm以下為滿(mǎn)足要求。
18.如權(quán)利要求10所述的操作方法，其特征在于，在將所述被矯正板材放置于所述矯正面之前，進(jìn)行矯正面的檢測(cè): 若所述矯正面變形不嚴(yán)重但需要矯正處理時(shí)，在不拆卸的情況下用拋光設(shè)備對(duì)所述矯正面進(jìn)行表面拋光矯正； 若所述矯正面變形較嚴(yán)重，拆卸下所述矯正臺(tái)后，對(duì)所述矯正臺(tái)進(jìn)行銑平矯正。
19.如權(quán)利要求18所述的操作方法，其特征在于，使用龍馬銑床對(duì)所述矯正臺(tái)進(jìn)行銑平矯正。
【文檔編號(hào)】B21D1/06GK103567257SQ201210267193
【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月30日
【發(fā)明者】姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學(xué)澤, 高建 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司