專利名稱：模組化冷卻板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明提供一種模組化冷卻板及其制造方法，尤指其技術(shù)上提供一種冷卻板模組單元，可依照需求拼接成不同尺寸的冷卻板，或可替換冷卻板的部分損毀區(qū)塊。
背景技術(shù)：
一般PVD制程所使用的靶材常需要適時的進(jìn)行散熱降溫以確保靶材正常反應(yīng)，一般常見的靶材冷卻方式為利用冷卻板挖設(shè)流道，令冷卻水流入并帶走部分熱量達(dá)到降溫的效果。然而，若需要制作大面積冷卻板，必須要準(zhǔn)備制作大面積冷卻板所需要的大面積的板材，但臺灣并無制作大面積板材的機(jī)器，經(jīng)常需要仰賴進(jìn)口而耗費(fèi)極大的成本購買制作大面積冷卻板所需要的大面積板材再行加工制作成大面積冷卻板，再者，冷卻板若有其中的一冷卻流道損毀，而導(dǎo)致需要汰換整個冷卻板，不但浪費(fèi)且不環(huán)保，又要花錢購買新的冷卻板。欲解決的技術(shù)問題點(diǎn)為因應(yīng)大面積冷卻板的需求，必須要準(zhǔn)備制作大面積冷卻板所需要的大面積的板材，但臺灣并無制作大面積板材的機(jī)器，必須先仰賴進(jìn)口購買制作冷卻板所需要的大面積板材來加工制作成大面積冷卻板，以符合市場需求，再者，若因冷卻板其中一部份流道損毀就必須要更換掉整個冷卻板，不但需要花費(fèi)成本來更換新的冷卻板而且而使環(huán)境造成污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供提供一種模組化冷卻板及其制造方法，其可依照需求拼接出不同大小的冷卻板，并可使冷卻板模組單元間的接合更平整，達(dá)到與大面積冷卻板相同的功效，從而不需要仰賴進(jìn)口購買制作大面積冷卻板所需的大面積板材就可以拼接制作出大面積的冷卻板，更不需要購買制作不同冷卻板規(guī)格的機(jī)器以花費(fèi)大量成本，而且，可僅替換損壞的冷卻板模組單元，從而避免浪費(fèi)，增進(jìn)冷卻板的壽命。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開了一種模組化冷卻板的制作方法，其步驟包括SI、制作多個冷卻板模組單元，每一個冷卻板模組單元均包括一冷卻板與至少一頂蓋，該冷卻板上挖設(shè)至少一溝槽，該溝槽上周緣處凹設(shè)有一嵌槽使得該頂蓋可嵌入該嵌槽；S2、透過一焊接手段將該頂蓋與該冷卻板結(jié)合以形成該冷卻板模組單元的冷卻水道;S3、以具一攪拌頭的一摩擦棒在兩個以上該冷卻板模組單元的接縫處間加壓并高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生熱能，其中，該攪拌頭與該摩擦棒為不同軸心的設(shè)置以達(dá)到偏心旋轉(zhuǎn)的效果，待材質(zhì)軟化后，緩慢移動并持續(xù)使該攪拌頭高速旋轉(zhuǎn)攪拌；S4、最后取出該攪拌頭完成該冷卻板模組單元間的結(jié)合，形成大面積的冷卻板。其中，該焊接手段為使用偏心頭的摩擦攪拌焊手段。 其中，該焊接手段為摩擦攪拌焊手段。
其中，該焊接手段為電子束焊接手段。其中，該焊接手段為真空硬焊接手段。其中，該冷卻板模組單元選自于由銅材、鋁材及鈦材所組成的群組中的一種材質(zhì)。其中，該冷卻板模組單元選自于由銅合金、鋁合金及鈦合金所組成的群組中的一種材質(zhì)。其中，該冷卻板模組單元為輕金屬。一種根據(jù)上述模組化冷卻板的制作方法所制 造出的模組化冷卻板，包含兩個以上冷卻板模組單元，該冷卻板模組單元包含一冷卻板與至少一頂蓋，該冷卻板上挖設(shè)至少一溝槽，該溝槽上周緣處凹設(shè)有一嵌槽，使該頂蓋能容設(shè)于該冷卻板的該嵌槽中以形成冷卻水道，并透過一焊接手段結(jié)合該冷卻板與該頂蓋以形成該冷卻板模組單元，將該冷卻板模組單元相互使用偏心頭的摩擦攪拌焊手段所形成大面積的該模組化冷卻板。通過上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的功效系透過冷卻板模組單元拼接出不同大小的冷卻板以因應(yīng)市場需求，且改善以往因需要大面積冷卻板而耗費(fèi)成本仰賴進(jìn)口購買材料的問題，且模組化冷卻板單元間透過偏心攪拌頭的摩擦攪拌焊手段可使接合更平整，拼接成大面積冷卻板并達(dá)到與大片冷卻板相同的功效，使廠商不需要花費(fèi)成本購買生產(chǎn)不同規(guī)格冷卻板的機(jī)器，且可將壞掉那塊冷卻板模組單元切割下來更替新的模組化冷卻板以增進(jìn)冷卻板壽命，且不污染環(huán)境，改善習(xí)用因冷卻板小部份壞掉而導(dǎo)致需要更換整片冷卻板而導(dǎo)致浪費(fèi)的問題。


圖I本發(fā)明的制作方法流程圖。圖2本發(fā)明的冷卻板模組單元拼接示意圖。圖3本發(fā)明的冷卻流道剖面示意圖。圖4本發(fā)明的一實(shí)施例示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供一種模組化冷卻板及其制造方法，請先參閱圖2至圖4所示，本發(fā)明的模組化冷卻板包含兩個以上的冷卻板模組單元I所構(gòu)成，該冷卻板模組單元I包括一冷卻板10與至少一頂蓋20，該冷卻板10上挖設(shè)至少一溝槽11，該溝槽11上周緣處凹設(shè)有一嵌槽13，使該頂蓋20容設(shè)于該冷卻板10的該嵌槽13中以形成冷卻水道，并透過摩擦攪拌焊、使用偏心攪拌頭的摩擦攪拌焊、電子束焊接或真空硬焊的手段結(jié)合該冷卻板10與該頂蓋20，形成本發(fā)明的冷卻板模組單元1，最后透過使用偏心攪拌頭的摩擦攪拌焊手段將該冷卻板模組單元I相互接合成所需大小的模組化冷卻板，以因應(yīng)市場需求，其中，該冷卻板模組單元I可為銅及其合金、鋁及其鋁合金、鈦及其合金或其他輕金屬等所制成。參閱圖I所示，本發(fā)明模組化冷卻板的制作方法其步驟包括SI、制作多個冷卻板模組單元1，每一個冷卻板模組單元I均包括一冷卻板10與至少一頂蓋20，該冷卻板10上挖設(shè)至少一溝槽11，該溝槽11上周緣處凹設(shè)有一嵌槽13使得該頂蓋20可嵌入該嵌槽13 ；S2、透過一焊接手段(b)將該頂蓋20與該冷卻板10結(jié)合以形成該冷卻板模組單元I的冷卻水道；S3、以具一攪拌頭31的一摩擦棒3在兩個以上該冷卻板模組單元I的接縫處間加壓并高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生熱能，其中，該攪拌頭31與該摩擦棒3為不同軸心的設(shè)置以達(dá)到偏心旋轉(zhuǎn)的效果，待材質(zhì)軟化后，緩慢移動并持續(xù)使該攪拌頭31高速旋轉(zhuǎn)攪拌；S4、最后取出該攪拌頭31完成該冷卻板模組單元I間的結(jié)合，形成大面積的冷卻板。 藉此，透過本發(fā)明的冷卻板模組單元可依照需求拼接出不同大小的冷卻板，并且透過偏心攪拌頭的摩擦攪拌焊手段可使冷卻板模組單元間的接合更平整，達(dá)到與大面積冷卻板相同的功效，不需要仰賴進(jìn)口購買材料就可以直接以拼接方式制作大面積冷卻板，再者，若冷卻流道或冷卻板部分損毀，可將壞掉那塊冷卻板模組單元切割下來，同時也不破壞冷卻板模組單元的結(jié)構(gòu)，替換新冷卻板模組單元避免浪費(fèi)且可增進(jìn)冷卻板的壽命，解決習(xí)用冷卻板因小部分壞掉而導(dǎo)致需要更換整片冷卻板而造成浪費(fèi)且花費(fèi)成本的問題。
權(quán)利要求
1.一種模組化冷卻板的制作方法，其步驟包括 51、制作多個冷卻板模組單元，每一個冷卻板模組單元均包括一冷卻板與至少一頂蓋，該冷卻板上挖設(shè)至少一溝槽，該溝槽上周緣處凹設(shè)有一嵌槽使得該頂蓋可嵌入該嵌槽； 52、透過一焊接手段將該頂蓋與該冷卻板結(jié)合以形成該冷卻板模組單元的冷卻水道； 53、以具一攪拌頭的一摩擦棒在兩個以上該冷卻板模組單元的接縫處間加壓并高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生熱能，其中，該攪拌頭與該摩擦棒為不同軸心的設(shè)置以達(dá)到偏心旋轉(zhuǎn)的效果，待材質(zhì)軟化后，緩慢移動并持續(xù)使該攪拌頭高速旋轉(zhuǎn)攪拌； 54、最后取出該攪拌頭完成該冷卻板模組單元間的結(jié)合，形成大面積的冷卻板。
2.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該焊接手段為使用偏心頭的摩擦攪拌焊手段。
3.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該焊接手段為摩擦攪拌焊手段。
4.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該焊接手段為電子束焊接手段。
5.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該焊接手段為真空硬焊接手段。
6.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該冷卻板模組單元選自于由銅材、鋁材及鈦材所組成的群組中的一種材質(zhì)。
7.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該冷卻板模組單元選自于由銅合金、鋁合金及鈦合金所組成的群組中的一種材質(zhì)。
8.如權(quán)利要求I所述的模組化冷卻板的制作方法，其特征在于，該冷卻板模組單元為輕金屬。
9.一種如權(quán)利要求I所述一種模組化冷卻板的制作方法所制造出的模組化冷卻板，包含兩個以上冷卻板模組單元，該冷卻板模組單元包含一冷卻板與至少一頂蓋，該冷卻板上挖設(shè)至少一溝槽，該溝槽上周緣處凹設(shè)有一嵌槽，使該頂蓋能容設(shè)于該冷卻板的該嵌槽中以形成冷卻水道，并透過一焊接手段結(jié)合該冷卻板與該頂蓋以形成該冷卻板模組單元，將該冷卻板模組單元相互使用偏心頭的摩擦攪拌焊手段所形成大面積的該模組化冷卻板。
全文摘要
一種模組化冷卻板及其制造方法，步驟為S1、制作多個冷卻板模組單元，其包括一挖設(shè)溝槽的冷卻板與至少一頂蓋；S2、透過一焊接手段將頂蓋與冷卻板結(jié)合形成冷卻水道；S3、以使用偏心攪拌頭的摩擦攪拌焊手段將兩個以上冷卻板模組單元接合；S4、完成冷卻板模組單元間的結(jié)合，形成大面積的冷卻板。透過本發(fā)明可依需求拼接出不同大小的冷卻板，不需仰賴進(jìn)口就可制作大片的冷卻板，若冷卻板部分損毀，可將壞掉部分切割下來替換新冷卻板模組單元避免浪費(fèi)且可增進(jìn)冷卻板壽命。
文檔編號B23K20/12GK102615439SQ20111003058
公開日2012年8月1日 申請日期2011年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月28日
發(fā)明者許舒華 申請人:許舒華