專(zhuān)利名稱(chēng)：晶圓研磨定位環(huán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶圓研磨定位環(huán)，尤指一種定位環(huán)下緣設(shè)有若干個(gè)廢物槽的晶圓研磨定位環(huán)。
參見(jiàn)


圖1-3、分別為臺(tái)灣專(zhuān)利第90219987號(hào)的立體圖、反面示意圖及另一廢物槽的局部示意圖。本案的晶圓研磨定位環(huán)的環(huán)體2下緣設(shè)有若干條廢物槽7，是利用環(huán)體2旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力摔出研磨所產(chǎn)生的廢物；該廢物槽7貫穿于環(huán)體2外周緣9與內(nèi)周緣8之間，向旋轉(zhuǎn)離心力作用線方向傾斜，與作用線方向越一致效果越佳(如圖3所示)，并且以等距離設(shè)置為更佳。
參見(jiàn)圖4、為臺(tái)灣專(zhuān)利第90219986號(hào)的立體圖。本案的晶圓研磨定位環(huán)的環(huán)體2構(gòu)造與上一專(zhuān)利案基本相同，不同在于環(huán)體2下緣的若干個(gè)凹入環(huán)體的廢物槽7，是接近于環(huán)體2內(nèi)周緣8的內(nèi)端，為封閉的弧形端10，該弧形端10兩端沿晶圓研磨定位環(huán)旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的離心力方向，漸趨擴(kuò)展延伸至外周緣9止，形成呈斜錐狀外端開(kāi)口的凹槽，用以利用晶圓研磨定位環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力摔出研磨所產(chǎn)生的廢物。
參見(jiàn)圖5，為臺(tái)灣專(zhuān)利第90219986號(hào)的另一實(shí)施例，本案的晶圓研磨定位環(huán)的環(huán)體2下緣設(shè)有若個(gè)廢物槽7，是配合晶圓研磨定位環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力方向設(shè)置的其他形狀的斜錐狀凹槽，同樣可達(dá)到相同的效果。
上述二案定位環(huán)旋轉(zhuǎn)的速度高，摔出廢物的速度因過(guò)高而濺起，造成周?chē)O(shè)備的污染。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的，是要提供一種將上述晶圓研磨定位環(huán)結(jié)構(gòu)作更進(jìn)一步的改進(jìn)，在環(huán)體下緣設(shè)有若干個(gè)適當(dāng)形狀的廢物槽，以降低摔出廢物的速度，避免速度過(guò)高濺起，而對(duì)周?chē)O(shè)備造成的污染。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案一種晶圓研磨定位環(huán)，包括一環(huán)體，為圓環(huán)體，由具有極佳承載性、耐磨性及耐腐蝕性的晶狀塑膠一體成形，其內(nèi)徑與所套合且同軸旋轉(zhuǎn)的待研磨晶圓的外徑相配合；其環(huán)體周壁頂緣設(shè)有同體適當(dāng)寬度與高度的環(huán)形凸緣，在環(huán)形凸緣上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)等距離環(huán)形排列的凹孔；復(fù)數(shù)個(gè)螺護(hù)套與凹孔相配合并壓嵌在凹孔內(nèi)定位；若干出水孔設(shè)于環(huán)體內(nèi)周壁，并貫穿環(huán)體周壁向外排水；該環(huán)體下緣設(shè)有若干凹入環(huán)體的廢物槽；其特征在于該廢物槽為內(nèi)、外兩端開(kāi)口，呈斜錐狀凹槽。
其中所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為開(kāi)放式三角形的斜錐狀凹槽。
所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為兩側(cè)呈弧形壁的凹槽。
所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為兩側(cè)斜直壁的正錐形凹槽。
所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽一側(cè)為斜直壁，另一側(cè)為弧形壁的凹槽。
所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽一側(cè)為弧形壁，另一側(cè)為斜直壁的凹槽。
本實(shí)用新型的有益效果由于充分利用各種適當(dāng)形狀的廢物槽及研磨定位環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力，可降低研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度，則避免了因速度過(guò)高所濺起的廢物對(duì)周?chē)O(shè)備的污染，并可充分利用若干各種適當(dāng)形狀的廢物槽及研磨定位環(huán)旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力，降低摔出研磨廢物的速度。
圖2、為
圖1的反面立體圖。
圖3、為第90219987號(hào)另一廢物槽的局部示意圖。
圖4、為臺(tái)灣專(zhuān)利第90219986號(hào)的立體圖。
圖5、為第90219986號(hào)另一廢物槽的局部示意圖。
圖6、為本實(shí)用新型的反面立體圖。
圖7-10、為本實(shí)用新型各實(shí)施例廢物槽的局部示意圖。
參見(jiàn)圖6、為本實(shí)施例1的反面結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)與第90219987號(hào)有不同之處，前述環(huán)體2下緣設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)凹入環(huán)體的廢物槽7，該復(fù)數(shù)個(gè)廢物槽7為開(kāi)放式的三角形，即內(nèi)外端開(kāi)口呈斜錐狀的凹槽，用以在晶圓研磨定位環(huán)1旋轉(zhuǎn)時(shí)，減緩研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
參見(jiàn)圖7，為實(shí)施例2、其晶圓研磨定位環(huán)1的環(huán)體2廢物槽7，為兩側(cè)呈弧形壁的凹槽，用以在晶圓研磨定位環(huán)1旋轉(zhuǎn)時(shí)，減緩研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
參見(jiàn)圖8、為實(shí)施例3、其晶圓研磨定位環(huán)1的環(huán)體2廢物槽7，為兩側(cè)斜緣壁呈正錐形的凹槽，用以在晶圓研磨定位環(huán)1旋轉(zhuǎn)時(shí)，降低研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
參見(jiàn)圖9、為實(shí)施例4、其晶圓研磨定位環(huán)1的環(huán)體2廢物槽7，為一側(cè)斜緣壁另一側(cè)弧形壁的凹槽，用以在晶圓研磨定位環(huán)1旋轉(zhuǎn)時(shí)，減緩研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
參見(jiàn)
圖10、為實(shí)施例5、其晶圓研磨定位環(huán)1的環(huán)體2廢物槽7，為一側(cè)弧形壁另一側(cè)斜緣壁的凹槽，用以在晶圓研磨定位環(huán)1旋轉(zhuǎn)時(shí)，減緩研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
綜上所述，本實(shí)用新型由于采用各種不同形式的廢物槽，該廢物槽貫穿于環(huán)體外周緣與內(nèi)周緣之間，向旋轉(zhuǎn)離心力作用線方向傾斜，與作用線方向相一致，且以等距離設(shè)置，所以利用環(huán)體旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力摔出研磨所產(chǎn)生的廢物為更佳。
權(quán)利要求1.一種晶圓研磨定位環(huán)，包括一環(huán)體，為圓環(huán)體，由具有極佳承載性、耐磨性及耐腐蝕性的晶狀塑膠一體成形，其內(nèi)徑與所套合且同軸旋轉(zhuǎn)的待研磨晶圓的外徑相配合；其環(huán)體周壁頂緣設(shè)有同體適當(dāng)寬度與高度的環(huán)形凸緣，在環(huán)形凸緣上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)等距離環(huán)形排列的凹孔；復(fù)數(shù)個(gè)螺護(hù)套與凹孔相配合并壓嵌在凹孔內(nèi)定位；若干出水孔設(shè)于環(huán)體內(nèi)周壁，并貫穿環(huán)體周壁向外排水；該環(huán)體下緣設(shè)有若干凹入環(huán)體的廢物槽；其特征在于該廢物槽為內(nèi)、外兩端開(kāi)口，呈斜錐狀凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨定位環(huán)，其特征在于所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為開(kāi)放式三角形的斜錐狀凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨定位環(huán)，其特征在于所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為兩側(cè)呈弧形壁的凹槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨定位環(huán)，其特征在于所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽，為兩側(cè)斜直壁的正錐形凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨定位環(huán)，其特征在于所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽一側(cè)為斜直壁，另一側(cè)為弧形壁的凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨定位環(huán)，其特征在于所述環(huán)體下緣的若干個(gè)廢物槽一側(cè)為弧形壁，另一側(cè)為斜直壁的凹槽。
專(zhuān)利摘要一種晶圓研磨定位環(huán)，包括一環(huán)體，由具有極佳承載性、耐磨性及耐腐蝕性的晶狀塑膠一體成形，其內(nèi)徑與所套合并帶動(dòng)同軸旋轉(zhuǎn)的待研磨晶圓的外徑相配合；環(huán)體周壁頂緣設(shè)有同體適當(dāng)寬度與高度的環(huán)形凸緣，凸緣上設(shè)有若干等距離環(huán)形排列的凹孔，復(fù)數(shù)個(gè)螺護(hù)套與凹孔相配合并壓嵌在凹孔內(nèi)定位，若干出水孔設(shè)于環(huán)體周壁，并貫穿環(huán)體周壁向外排水；其環(huán)體下緣設(shè)有若干個(gè)凹入環(huán)體的廢物槽，該廢物槽內(nèi)、外兩端開(kāi)口呈斜錐狀凹槽，用以降低研磨所產(chǎn)生廢物的摔出速度。
文檔編號(hào)B23Q3/18GK2538485SQ02204740
公開(kāi)日2003年3月5日 申請(qǐng)日期2002年1月23日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月23日
發(fā)明者陳水源, 陳水生, 陳添丁 申請(qǐng)人:陳水源, 陳水生, 陳添丁