專利名稱：工件搬送裝置及電子元件制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適合搬送內(nèi)裝導線等電子元件的原材料的帶狀的銅環(huán)箍材料和樹脂薄膜等的工件用的工件搬送裝置及其具有該裝置的電子元件制造裝置。
背景技術(shù)：
在電子元件用的銅等的導線(半成品)和樹脂制的條帶自動粘接(TABTape Automated Bonding)制造時為提高生產(chǎn)性，已知有采用一邊將帶狀的銅環(huán)箍材料和樹脂薄膜這樣的工件向小型的沖壓機內(nèi)搬送、一邊用上述的沖壓機依次連續(xù)地進行成型的電子元件裝置。
作為這種電子元件裝置的沖壓機用的搬送裝置，如圖4所示，以往使用的是將各氣缸53、54、55作為驅(qū)動源的搬送裝置。
上述搬送裝置是沿箭頭A方向(工件50的長度方向)進行工件50送料的，具有固定式夾持器51和移動式夾持器52。各夾持構(gòu)件51a、52a分別連接有各氣缸53、54。
通過驅(qū)動各氣缸53、54將固定式夾持器51和移動式夾持器52關(guān)閉而將工件50固定。移動式夾持器52通過氣缸55可沿箭頭B方向(沿工件50的長度方向)進行往復移動。
然而，上述搬送裝置存在會發(fā)出與在工件搬送時的沖擊聲、與氣缸相應的氣閥的閥門開閉聲等的噪音問題，另外，因一方的移動式夾持器52使工件50移動而存在最初的工件(原材料)通過時的工件定位不穩(wěn)定的問題。
為此，為解決上述這些問題，在日本專利特開平6-190472號公報中，如圖5和圖6所示，揭示了一種可減輕上述噪音問題和工件定位容易化的工件搬送裝置。
上述工件搬送裝置是在與作為回轉(zhuǎn)驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)作動器62的回轉(zhuǎn)軸連接的回轉(zhuǎn)板63上具有偏心狀凸出形成的銷子63a和滾筒從動件63b，與具有切口67a的可動板67抵接。
并且，上述工件搬送裝置是將工件保持板70固定在該可動板67上，使安裝在工件保持板70上的搬送銷76、77可插入或脫離于工件定位孔。
因此，在上述工件搬送裝置中，通過將工件接合或解除接合，使旋轉(zhuǎn)作動器62回轉(zhuǎn)，可使可動板67移動，并使工件保持板70沿搬送方向進行直線狀移動，對上述工件進行搬送。
下面參照圖7(a)～圖7(d)對上述工件搬送裝置的工件60的成型及其搬送動作進行說明。如圖7(a)所示，當模具的上模79處于上死點時，各搬送銷76、77的前端位于比下模65的上面的上方，并分別插入配置在下模65上的工件60的各定位孔中。
在此狀態(tài)下，如圖7(b)所示，使旋轉(zhuǎn)作動器62回轉(zhuǎn)，在將工件60沿搬送方向送料后，如圖7(c)所示，為使工件60成型使上模79與下模65合模而下降時，通過上模79和滾筒從動件79a連動的工件保持板70也下降。即，各搬送銷76、77的前端下降到比下模65的上面低的下方，并與工件60脫離。在各搬送銷76、77脫離中，如圖7(d)所示，旋轉(zhuǎn)作動器62反轉(zhuǎn)，工件保持板70返回原來位置。
在傳統(tǒng)的上述工件搬送裝置中，上模79的上下行程量只有在相對各搬送銷76、77插入或脫離于工件60的各定位孔很充分時才有效。然而，當上模79的上下行程量小時，各搬送銷76、77不能從各定位孔脫離，不可能進行工件60的搬送。
又，當上模79的上下行程量小時，因沖壓機壓力的降低而使加工精度劣化，故必須將向上模79施加沖壓的壓力發(fā)生機構(gòu)大型化。但是，若使用這種大型的壓力發(fā)生機構(gòu)，則不能與整個搬送裝置的小型化相對應。
由此，在傳統(tǒng)的工件搬送裝置中，產(chǎn)生了不能在維持加工精度的同時實現(xiàn)整個裝置小型化的問題。
并且，在上述傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)中，由于不能使上模79動作獨立來進行各搬送銷76、77的插入或脫離，而是在上模79的動作結(jié)束之后進行各搬送銷76、77的插入或脫離，因此，還產(chǎn)生了電子元件的制造周期長的問題。
本

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明的工件搬送裝置特征在于，將搬送工件用的第1支臂部和第2支臂部設(shè)置成一體狀沿著工件的搬送方向往復移動的形態(tài)，在第1支臂部和第2支臂部上分別設(shè)置有與工件可接合的第1接合部和第2接合部，設(shè)置有檢測第1支臂部和第2支臂部用的檢測部，設(shè)置有與第1支臂部和第2支臂部的位置相對應、可將第1接合部和第2接合部分別控制為接合或非接合狀態(tài)的控制部。
若采用這種結(jié)構(gòu)，由于第1支臂部和第2支臂部設(shè)置成一體狀沿著工件的搬送方向往復移動，因此可在2個部位一邊保持一邊進行工件的搬送，可使工件的定位容易化。
又，采用上述結(jié)構(gòu)，由于與第1支臂部和第2支臂部的位置相對應、可將第1接合部和第2接合部分別控制為接合或非接合狀態(tài)，例如可在與模具的行程無關(guān)系的情況下對第1接合部和第2接合部進行控制，因此可減輕對上述行程的制約，即使不用大輸出的壓力發(fā)生機構(gòu)，也能使上述模具的壓力增大化，可避免整個裝置的大型化。
并且，在上述結(jié)構(gòu)中，與模具的動作無關(guān)系即在模具的動作結(jié)束之前，也可將第1接合部和第2接合部分別控制為接合或非接合狀態(tài)，故可縮短電子元件的制造周期。
又，在上述工件搬送裝置中，第1接合部和第2接合部分別具有由相對于工件的間隔因移動而變化的工件可動保持部，也可分別在第1支臂部和第2支臂部上設(shè)置分別驅(qū)動第1接合部和第2接合部的各工件可動保持部的第1驅(qū)動部和第2驅(qū)動部。
在上述工件搬送裝置中，第1接合部和第2接合部的至少一方也可是由工件可動保持部將工件夾持接合的夾持機構(gòu)。因此，上述結(jié)構(gòu)也適用于一次加工中工件上無定位孔的場合。
在上述夾持機構(gòu)中，最好是將工件夾持在與由電磁鐵吸著的磁性體部連接的非磁性體構(gòu)成的工件可動保持部與由固定的非磁性體構(gòu)成的工件可動保持部的間隙中。采用上述結(jié)構(gòu)，工件即使是磁性體也可避免殘留磁性的影響。
在上述工件搬送裝置中，第2支臂部位于工件的搬送方向的下游側(cè)，第2支臂部的第2接合部也可是具有相對于工件上的定位孔可裝取的搬送銷的搬送銷驅(qū)動機構(gòu)。
在上述搬送銷驅(qū)動機構(gòu)中，固定在與由電磁鐵吸著的磁性體部連接的非磁性體構(gòu)成的工件可動保持部上的搬送銷最好是相對于工件上的定位孔可裝取。
為解決上述課題，本發(fā)明的電子元件制造裝置的特征在于，設(shè)置有將工件成型、制造電子元件用的模具，設(shè)置有檢測模具開閉狀態(tài)的傳感器部，將上述任一項所述的工件搬送裝置將第1接合部配置在模具中的工件搬送方向的上游側(cè)，將第2接合部配置在模具中的工件搬送方向的下游側(cè)，設(shè)置有與第1接合部開閉狀態(tài)相對應的控制工件搬送裝置的控制器。
采用上述結(jié)構(gòu)，如前所述，可避免整個裝置的大型化，同時可縮短電子元件的制造周期，故可實現(xiàn)高速搬送和省空間化。
為解決上述課題，本發(fā)明另一特征在于，將工件成型、制造電子元件用的模具設(shè)置為形成相對工件的定位孔，設(shè)置有檢測模具開閉狀態(tài)的傳感器部，將上述搬送銷的任一項的工件搬送裝置的第1接合部配置在模具中的工件搬送方向的上游側(cè)，將第2接合部配置在模具中的工件搬送方向的下游側(cè)，設(shè)置有與模具開閉狀態(tài)相對應的控制工件搬送裝置的控制器。
采用上述結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)高速搬送和省空間化，并且，因?qū)崴弯N配置在模具的下游側(cè)，故也適用于一次加工中工件上無定位孔的場合。
綜上所述，本發(fā)明的工件搬送裝置是在一體地沿著工件的搬送方向往復移動的、搬送工件用的第1支臂部和第2支臂部上分別設(shè)置有與工件可接合的第1接合部和第2接合部，對應于第1支臂部和第2支臂部的位置設(shè)置有可將第1接合部和第2接合部分別控制為接合或非接合狀態(tài)的控制部。
由此，上述結(jié)構(gòu)由于例如可在與模具的行程無關(guān)系的情況下對第1接合部和第2接合部進行控制，因此可減輕對上述行程的制約，與上述模具的沖壓機壓力的增大化相比可不用大輸出的壓力發(fā)生機構(gòu)，具有可避免整個裝置大型化的效果。
并且，在上述結(jié)構(gòu)中，與模具的動作無關(guān)系即在模具的動作結(jié)束之前，也可將第1接合部和第2接合部分別進行接合或非接合，故具有可縮短電子元件的制造周期的效果。
附圖的簡單說明

圖1為本發(fā)明的工件搬送裝置的正面圖，(a)表示工件搬送的第1工序，(b)表示工件搬送的第2工序。
圖2為本發(fā)明的工件搬送裝置的正面圖，(a)表示工件搬送的第3工序，(b)表示工件搬送的第4工序。
圖3為具有上述工件搬送裝置的電子元件制造裝置的說明圖，(a)是平面圖，(b)是正面圖，(c)是側(cè)面圖。
圖4為傳統(tǒng)的工件搬送裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖5為傳統(tǒng)的另一工件搬送裝置的概略結(jié)構(gòu)圖，(a)表示搬送前的位置，(b)表示搬送后的位置。
圖6為上述工件搬送裝置的說明圖，(a)是側(cè)面圖，(b)是背面圖。
圖7(a)～(d)為表示上述工件搬送裝置的各搬送工序中的各動作的說明圖。
具體實施例方式
下面參照圖1～圖3說明本發(fā)明的工件搬送裝置及具有該裝置的電子元件制造裝置。
如圖3所示，在上述工件搬送裝置中，設(shè)置有搬送工件1用的、大致コ字狀的工件保持板2，該工件保持板2通過驅(qū)動部3的作動器(驅(qū)動用的桿部)3a在上下方向固定的狀態(tài)下沿工件1的前進方向(搬送方向)進行往復移動。
又，在驅(qū)動部3上設(shè)置有檢測工件保持板2移動位置用的檢測部3b，設(shè)置有對后述的第1接合部5和第2接合部6的接合或非接合狀態(tài)進行控制的控制部(控制器)3c。
工件1是一種將銅環(huán)箍材料等的金屬薄膜和聚酰胺等的樹脂薄膜形成長尺的帶狀結(jié)構(gòu)，在通常成型時，從繞卷有上述工件1的供給滾筒進行供給，并如后所述鋪設(shè)在卷繞成型后的工件1的卷繞滾筒之間。
工件保持板2分別具有作為2個的各前端部的第1支臂部2a和第2支臂部2b。第1支臂部2a和第2支臂部2b分別配置成沿著工件1搬送方向?qū)⒐ぜ?沖壓成型用的模具4夾持的形態(tài)。第1支臂部2a配置在工件1搬送方向的上游側(cè)即相對模具4的工件1的入口側(cè)。第2支臂部2b配置在工件1搬送方向的下游側(cè)即相對模具4的工件1的出口側(cè)。
模具4具有上模4a和下模4b。上模4a相對于下模4b通過未圖示的驅(qū)動裝置在上下方向上可移動，又具有檢測該移動位置的傳感器部4c。另一方面，下模4b固定在未圖示的基臺上。
并且，模具4在工件1成型時最好在所定位置上形成有后述的定位孔(引導孔)，本發(fā)明的電子元件制造裝置至少具有上述工件搬送裝置及其模具4。
又，在上述工件搬送裝置中，在第1支臂部2a和第2支臂部2b前端部的下面?zhèn)确謩e安裝有可接合的第1接合部5和第2接合部6。由此，第1接合部5和第2接合部6通過與工件1接合而可搬送上述工件1，又通過與工件1的非接合而使工件保持板2可沿著工件1搬送方向移動。
第1接合部5和第2接合部6具有夾持機構(gòu)和搬送銷驅(qū)動機構(gòu)的至少一方。夾持機構(gòu)例如設(shè)置在第1接合部5上，并具有電磁鐵5a、可移動的磁性體板5b、與上述磁性體板5b連接的非磁性體板5c、以及被固定的非磁性體板5d。
電磁鐵5a由通電而發(fā)生磁力。磁性體板5b安裝在與電磁鐵5a對面的鄰近位置上，相對于第1支臂部2a在工件1的厚度方向上可移動。非磁性體板5c與上述磁性體板5b連接并一體移動。
由此，在第1支臂部2a上安裝有一對桿狀體5e，該桿狀體5e貫通第1支臂部2a的厚度方向，并相對于第1支臂部2a可移動，在各桿狀體5e的中央部固定有上述磁性體板5b，在各桿狀體5e的一端部固定有上述非磁性體板5c。
又，在各桿狀體5e的另一端部分別形成有防止各桿狀體5e從第1支臂部2a脫落用的凸緣狀部5f。并且，在第1支臂部2a與磁性體板5b之間設(shè)置有對磁性體板5b施加相對于第1支臂部2a離間方向力的螺旋彈簧等的施力裝置5h。
上述非磁性體板5d安裝成相對于第1支臂部2a維持有固定間隔的形態(tài)，又形成比上述非磁性體板5c小的面積。這樣，在第1支臂部2a上設(shè)置有支承非磁性體板5d用的一對支承桿部5g，該一對支承桿部5g貫通上述磁性體板5b。
采用這樣的各桿狀體5e和各支承桿部5g，非磁性體板5c一邊相對于非磁性體板5d保持平行，一邊在抵接狀態(tài)與離間狀態(tài)之間可移動。
這種夾持機構(gòu)的第1接合部5通過檢測部3b對工件保持板2搬送前的初始狀態(tài)進行檢測，由控制部3c進行控制，如圖1(a)和圖1(b)所示，將磁性體板5b吸附在電磁鐵5a上，將工件1夾持在連接于上述磁性體板5b的非磁性體板5c與固定于上述工件保持板2的第1支臂部2a上的非磁性體板5d之間。
如此夾持的工件1通過由傳感器部4c對模具4的上模4a移至上方并將上述模具4打開的狀態(tài)進行檢測，由控制部3c控制驅(qū)動部3，由此，通過驅(qū)動部3產(chǎn)生的工件保持板2的水平移動，從圖1(a)所示的搬送前的狀態(tài)搬送到如圖1(b)所示的搬送后的狀態(tài)。
上述搬送銷驅(qū)動機構(gòu)例如設(shè)置在第2接合部6上，具有電磁鐵6a、可移動的磁性體板6b、與上述磁性體板5b連接(貼附)的非磁性體板6c。在非磁性體板6c上的與工件1對面的表面中央部朝向工件1立設(shè)有搬送銷6d。搬送銷6d的前端部的形狀是直徑朝向前端逐漸變細的錐狀，能更可靠地地嵌入定位孔內(nèi)。
電磁鐵6a由通電而發(fā)生磁力。磁性體板6b安裝在與電磁鐵6a對面鄰近的位置上，可相對于第1支臂部2a沿工件1的厚度方向移動。非磁性體板6c與上述磁性體板6b連接并一體移動。
由此，在第2支臂部2b上安裝有一對桿狀體6e，該桿狀體6e貫通第2支臂部2b的厚度方向并可相對于第2支臂部2b移動，在各桿狀體6e的一端部固定有上述磁性體板6b和非磁性體板6c。
又，在各桿狀體6e的另一端部分別形成有防止向桿狀體6e從第2支臂部2b脫落用的凸緣狀部6f。該凸緣狀部6f向徑向外方延伸。并且，在第2支臂部2b與磁性體板6b之間設(shè)置有對磁性體板6b施加相對于第2支臂部2b離間方向力的螺旋彈簧等的施力裝置6g。
搬送銷驅(qū)動機構(gòu)的第2接合部6如圖1(a)和圖2(a)所示，系通過由檢測部3b對工件保持板2搬送后的狀態(tài)進行檢測，并由控制部3c進行控制，將磁性體板6b吸附在電磁鐵6a上，將固定在與上述磁性體板6b連接的非磁性體板6c上的搬送銷6d從工件1的定位孔中拉出。
在上述結(jié)構(gòu)中，當工件1搬送時，通過螺旋彈簧等的施力裝置6g使磁性體板6b產(chǎn)生向遠離(離間)非通電狀態(tài)的電磁鐵6a方向的動作，由此可將搬送銷6d插入工件1的定位孔中。
在這種電子元件制造裝置中，當工件1搬送結(jié)束之后，當由檢測部3b和控制部3c對第1接合部5的夾持狀態(tài)和第2接合部6中搬送銷6d的插入狀態(tài)進行檢測時，模具4的上模4a向下方移動而將上述模具4關(guān)閉，由上模4a和下模4b將工件1成型，并將其夾持。
這樣，當由傳感器部4c對工件1被模具4夾持的狀態(tài)進行檢測時，如圖2(a)所示，控制部3c將第1接合部控制成非夾持狀態(tài)，將第2接合部6上的搬送銷6d控制成拉出狀態(tài)，接著，如圖2(b)所示，將驅(qū)動部3控制成使工件保持板2返回到圖1(a)所示的搬送前的狀態(tài)。
在這種電子元件制造裝置中，最好是將夾持機構(gòu)的第1接合部5設(shè)置在模具4的入口側(cè)，將搬送銷驅(qū)動機構(gòu)的第2接合部6配置在模具4的出口側(cè)。
通過這樣的配置，可在入口側(cè)進行未加工的工件1的搬送。在出口側(cè)，通過將搬送銷6d插入在模具4內(nèi)由沖壓成型形成的定位孔中，可進行工件1的搬送。又，各電磁鐵5a、6a交替通電，可避免上述兩者同時通電，故可抑止各電磁鐵5a、6a的電源容量，可小型化，降低成本。
夾持機構(gòu)和搬送銷驅(qū)動機構(gòu)可與模具4的動作分別獨立地進行控制，在任意的時間中可進行夾持·釋放或者搬送銷6d的拉出。又，無論入口側(cè)還是出口側(cè)均可安裝。
在電子元件制造裝置中，由于可與模具4的動作分別獨立，在任意的時間中可進行與工件1的接合·非接合、夾持·釋放或者搬送銷6d的拉出，因此，當模具4關(guān)閉時，預先將導架等的工件1插入夾持器和搬送銷6d的定位孔中時，可在與模具4打開的同時開始工件1的搬送，可縮短電子元件的制造周期。
因工件1的夾持材料是非磁性體，故即使工件1是磁性體，也不會受殘留磁氣的影響。由于兩機構(gòu)在入口側(cè)和出口側(cè)上均能安裝，因此，除了上述的夾持器·銷子之外，也可采用銷子·夾持器、夾持器·銷子、銷子·銷子的搬送方法。也可在入口側(cè)或出口側(cè)的任一方僅搬送夾持器或銷子。夾持器·銷的動作也可相互地與模具4的動作獨立，故也可對應于短尺寸形狀的工件1，在入口側(cè)、出口側(cè)也可進行工件1搬送定時不同的搬送。
又，本發(fā)明的工件搬送裝置因結(jié)構(gòu)簡單，小型化、輕量，故可實現(xiàn)高速搬送和省空間化。
并且，在使用本發(fā)明的工件搬送裝置的電子元件制造裝置中，由于可將第1接合部5和第2接合部6的各行程量設(shè)定成與模具4的行程量無關(guān)系，因此，由于接合·非接合而不用象以往那樣必須將模具4的行程量確保在一定量以上。
這樣，在本發(fā)明中，因可對上述模具4的行程量無限制地進行自由設(shè)定，故即使不使用大型的壓力發(fā)生機構(gòu)，也可使上述模具4高輸出化(沖壓機壓力的增大化)。由此，不僅避免整個裝置的大型化，而且還可通過高輸出化的模具4，更加穩(wěn)定地制造加工精度要求高的電子元件。
另外，雖然上述列舉了水平方向搬送工件1的例子，但并不特別限定于水平方向，也可將搬送方向設(shè)定為相對于水平方向傾斜或垂直方向。
權(quán)利要求
1.一種工件搬送裝置，其特征在于，將搬送工件用的第1支臂部和第2支臂部設(shè)置成一體狀沿著工件的搬送方向往復移動的形態(tài)，在第1支臂部和第2支臂部上分別設(shè)置有與工件可接合的第1接合部和第2接合部，設(shè)置有檢測第1支臂部和第2支臂部用的檢測部，設(shè)置有與第1支臂部和第2支臂部的位置相對應、可將第1接合部和第2接合部分別控制為接合或非接合狀態(tài)的控制部。
2.如權(quán)利要求1所述的工件搬送裝置，其特征在于，所述第1接合部和第2接合部分別具有相對于工件的間隔因移動而變化的工件可動保持部，在所述第1支臂部和第2支臂部上分別設(shè)置有各自驅(qū)動第1接合部和第2接合部的各工件可動保持部的第1驅(qū)動部和第2驅(qū)動部。
3.如權(quán)利要求2所述的工件搬送裝置，其特征在于，所述第1接合部和第2接合部的至少一方為通過工件可動保持部將工件夾持并接合的夾持機構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的工件搬送裝置，其特征在于，所述在夾持機構(gòu)中，將工件夾持在由電磁鐵吸著的連接于磁性體部的非磁性體構(gòu)成的工件可動保持部與由固定的非磁性體構(gòu)成的工件固定保持部的間隙中。
5.如權(quán)利要求1或2所述的工件搬送裝置，其特征在于，所述第2支臂部位于工件的搬送方向的下游側(cè)，所述第2支臂部的第2接合部為具有相對于工件上的定位孔可裝取的搬送銷的搬送銷驅(qū)動機構(gòu)。
6.如權(quán)利要求5所述的工件搬送裝置，其特征在于，在所述搬送銷驅(qū)動機構(gòu)中，固定在與由電磁鐵吸著的磁性體部連接的非磁性體構(gòu)成的工件可動保持部上的搬送銷相對于工件上的定位孔可裝取。
7.一種電子元件制造裝置，其特征在于，設(shè)置有將工件成型、制造電子元件用的模具，設(shè)置有檢測模具開閉狀態(tài)的傳感器部，設(shè)置有權(quán)利要求1至6的任一項所述的工件搬送裝置，將第1接合部配置在模具中的工件搬送方向的上游側(cè)，將第2接合部配置在模具中的工件搬送方向的下游側(cè)，設(shè)置有與第1接合部開閉狀態(tài)相對應的控制工件搬送裝置的控制器。
8.一種電子元件制造裝置，其特征在于，將工件成型、制造電子元件用的模具設(shè)置為形成相對工件的定位孔，設(shè)置有檢測模具開閉狀態(tài)的傳感器部，權(quán)利要求5所述的工件搬送裝置設(shè)置成將第1接合部配置在模具中的工件搬送方向的上游側(cè)，將第2接合部配置在模具中的工件搬送方向的下游側(cè)，設(shè)置有與模具開閉狀態(tài)相對應的控制工件搬送裝置的控制器。
9.一種電子元件制造裝置，其特征在于，將工件成型、制造電子元件用的模具設(shè)置為形成相對工件的定位孔，設(shè)置有檢測模具開閉狀態(tài)的傳感器部，權(quán)利要求6所述的工件搬送裝置設(shè)置成將第1接合部配置在模具中工件搬送方向的上游側(cè)，將第2接合部配置在模具中工件搬送方向的下游側(cè)，設(shè)置有與模具開閉狀態(tài)相對應的控制工件搬送裝置的控制器。
全文摘要
將搬送工件(1)用的第1支臂部(2a)和第2支臂部(2b)設(shè)置成可一體地沿著工件(1)的搬送方向進行往復移動的形態(tài)。在第1支臂部(2a)和第2支臂部(2b)上分別設(shè)置有與工件(1)可接合的第1接合部(5)和第2接合部(6)，可分別相應于第1支臂部(2a)和第2支臂部2b的位置進行接合或非接合控制?？商峁└咚侔崴筒⒖墒】臻g化的工件搬送裝置及具有該裝置的電子元件制造裝置。
文檔編號B21D43/04GK1415440SQ0214826
公開日2003年5月7日 申請日期2002年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月1日
發(fā)明者池田和之, 池田光謙, 竹內(nèi)茂之, 高橋繁已 申請人:株式會社村田制作所