專利名稱：八極電磁象散校正裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種八極電磁象散校正裝置，它包括八個線圈，這些線圈的軸線正交于一電光系統(tǒng)的軸線，其中投影在正交所述電光系統(tǒng)軸線平面上所述各線圈的軸線，會聚于所述電光系統(tǒng)軸線與所述平面交叉點上，而其對稱的角度跨距為45°。
象散現(xiàn)象是一種光學象差，表現(xiàn)為在垂直于一光學系統(tǒng)軸線不同方向上該光學系統(tǒng)的不同屈光度。由于磁透鏡若干極片材料的不均勻性，所述極片中孔徑圓度的偏差，以及其工作時的誤差，而使得磁透鏡一般均存在著象散。所述電磁線圈的象散現(xiàn)象可通過八極電磁象散校正裝置的附加磁場予以校正。所述象散校正裝置的有效量值則由線圈繞組的圈數(shù)所流經繞組的電流大小和線圈與所述電光系統(tǒng)光軸間的距離所給定。
在先有技術中，已知的八極電磁象散校正裝置包括若干透鏡，這些透鏡的軸線配置在與光學系統(tǒng)軸線正交的一平面內，且匯聚于所述光學系統(tǒng)的所述軸與所述平面的交叉點上。
上述先有技術的主要缺點為校正磁場力很小。這是由于所述環(huán)繞光軸配置的線圈以其前部構成一正八面棱柱體，其中所述線圈的尺寸受到所述八面棱柱的端面尺寸的限制所造成。要使用較大的線圈，就需要加大線圈端面至所述電光系統(tǒng)軸線間的距離，必然造成靠近所述光軸的這種象散校正裝置的能力減弱。
上述先有技術的各種缺陷，實際上已由根據(jù)本發(fā)明的一種八極電磁象散校正裝置所克服，這種校正裝置包括八個線圈，這些線圈的軸線正交于一電光系統(tǒng)的軸線，其中所述線圈的軸線投影在與所述電光系統(tǒng)軸線正交的平面上，且匯聚在所述電光系統(tǒng)軸線和所述平面的交叉點上，而一般角度跨距為45°，這種校正裝置的特點為，呈交叉配置的若干線圈的四重軸軸線置于第一平面上，同時仍呈交叉配置的其余線圈的四重軸軸線置于第二平面內，所述第一平面和所述第二平面間的距離小于所述線圈的直徑。在一種較佳實施例中，每一線圈均帶有一用非硬磁材料的鐵磁體制成的磁芯，所述磁芯朝所述電光系統(tǒng)軸線方向覆蓋所述線圈。
根據(jù)本發(fā)明的八極電磁象散校正裝置，其主要優(yōu)點在于具有更高的效率。
現(xiàn)將借助于附圖更詳細地說明本發(fā)明，附圖中，

圖1為根據(jù)本發(fā)明八極電磁象散校正裝置的一種較佳實施例，示出其與電光系統(tǒng)軸線相平行的一部分剖視圖，圖2則為圖1八極電磁象散校正裝置部分剖面的平面視圖。
這些附圖中，有一中央真空管1，象散校正裝置的本體2即固定其上。所述真空管1的軸線即是電光系統(tǒng)的軸線。第一平面3正交于所述軸線，此平面中設有呈交叉配置的線圈4的第一四重軸。在這個四重軸里相鄰線圈4的軸線相互垂直，而相對線圈4的軸線則為同軸。在小于所述線圈4圓面直徑的距離上有第二平面5，此平面平行于所述第一平面3，仍呈交叉配置的其余線圈4構成的第2四重軸置于該平面中。投影在第一平面3上所有線圈4的軸線，將會聚于所述光學系統(tǒng)軸線與第一平面3的交叉點上，所述投影線間的一段角度跨距為45°。每個線圈4包括線圈框架6。和纏繞在所述線圈框架6上的繞組7，線圈框架6置于所述本體2和外殼8之間。此種配置中，相鄰線圈4沿所述電光系統(tǒng)軸線方向相互有一定位移，這樣處于較高位置四重軸的線圈4至上述軸線的距離由所述第一四重軸線圈4各圓面所構成的方形棱柱體的尺寸所給定，而第二四重軸線圈的圓面適配于所述第一四重軸線圈4的圓面間的空間中。這樣線圈4所環(huán)繞配置的周邊小于所述線圈4圓面直徑的8倍。每一線圈4的框架6中配置有用非硬磁材料的鐵磁體制成的磁芯9。所述磁芯9朝所述電光系統(tǒng)軸線方向覆蓋所述線圈框架6，所述磁芯9的端面頂觸著中央真空管1的外表面。
根據(jù)本發(fā)明的八極電磁象散校正裝置，在工作狀態(tài)時，通過改變流經象散校正裝置的線圈4的直流電流即可校正象散現(xiàn)象。這種象散校正裝置中相同尺寸線圈里的等同電流，比之先有技術中類似尺寸的象散校正裝置，在光軸區(qū)域具有更強的效果。由于線圈4更靠近電光系統(tǒng)的軸線，并帶有磁芯9，所以校正場更強。
本發(fā)明非常適用于具有較大電子束偏斜的專用電子掃描顯微鏡，也即“吸管”(Sucker)型電子掃描顯微鏡中。
權利要求
1.一種八極電磁象散校正裝置，它包括八個線圈(4)，這些線圈的軸線正交于一電光系統(tǒng)的軸線，其中所述線圈(4)的軸線投影在垂直于所述電光系統(tǒng)軸線的平面上，且匯聚于所述電光系統(tǒng)軸線與所述的平面的交叉點上，而一般角度跨距為45°，其特征在于呈交叉配置的線圈(4)的四重軸軸線置于第一平面(3)中，而仍呈交叉配置的其余線圈(4)的其余四重軸軸線置于第二平面(5)中，所述第一平面(3)和所述第二平面(5)間的距離小于所述線圈(4)的直徑。
2.根據(jù)權利要求1的八極電磁象散校正裝置，其特征在于每一線圈(4)均帶有一用非硬磁性材料的鐵磁體制成的磁芯(9)，所述磁芯(9)朝所述電光系統(tǒng)軸線方向覆蓋所述線圈(4)。
全文摘要
一種八極電磁象散校正裝置包括八個線圈(4)，這些線圈的軸線垂直于一電光系統(tǒng)的軸線，其中線圈(4)的軸線投影在垂直于所述電光系統(tǒng)軸線的平面內，且匯聚于所述電光系統(tǒng)軸線與所述平面的交叉點上，而通常角度跨距為45°。本發(fā)明的特點在于呈交叉配置的線圈的四重軸軸線置于第一平面上，同時仍呈交叉配置的其余線圈的四重軸軸線置于第二平面上，所述第一和第二平面間的距離小于所述線圈的直徑。
文檔編號H01J37/141GK1033906SQ8810871
公開日1989年7月12日 申請日期1988年12月17日 優(yōu)先權日1987年12月29日
發(fā)明者雅羅斯拉夫·克林馬, 盧博米爾·圖馬, 日里·彼得 申請人:特斯拉公司