智能電子掃描鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明給出一種智能電子掃描鏡，主要由電子發(fā)射槍(1)、聚光鏡(2)、透鏡(3)、掃描儀(4)、取樣器(5)、閃爍器(6)、倍增管(7)和顯像儀(8)構(gòu)成，聚光鏡(2)、透鏡(3)和掃描儀(4)依次設(shè)置在電子發(fā)射槍(1)的發(fā)射方向，所述掃描儀(4)連接有發(fā)生器(9)，所述取樣器(5)連接有放大器(10)，所述取樣器(5)和顯像儀(8)之間分別設(shè)置有閃爍器(6)和倍增管(7)。本發(fā)明的智能電子掃描鏡，通過設(shè)置智能式控制，反饋來控制電子探針的掃描頻率和強度，實現(xiàn)對材料的高精度顯像，從而能夠?qū)Ω鞣N材料進行多種形式的表面的觀察與分析。
【專利說明】智能電子掃描鏡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯微領(lǐng)域，尤其涉及一種智能電子掃描鏡。

【背景技術(shù)】
[0002] 在材料科學(xué)中，隨著半導(dǎo)體器件和新材料等高技術(shù)的發(fā)展，往往要求對表面的精 細結(jié)構(gòu)能觀察到分子或原子量級的大小。特別是納米材料，由于其尺寸被限制在l〇〇nm以 下，因此需要能夠?qū)@種小尺寸的材料進行高精度顯像的設(shè)備來進一步支撐納米材料的發(fā) 展。本發(fā)明提出一種智能電子掃描鏡，通過設(shè)置放大器的反饋來控制電子探針的掃描頻率 和強度，實現(xiàn)對材料的高精度顯像，從而能夠?qū)Ω鞣N材料進行多種形式的表面的觀察與分 析。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 有鑒于此，本發(fā)明提供了一種智能電子掃描鏡，主要由電子發(fā)射槍、聚光鏡、透鏡、 掃描儀、取樣器、閃爍器、倍增管和顯像儀構(gòu)成，所述聚光鏡、透鏡和掃描儀依次設(shè)置在電子 發(fā)射槍的發(fā)射方向，所述掃描儀連接有發(fā)生器，所述取樣器連接有放大器，所述取樣器和顯 像儀之間分別設(shè)置有閃爍器和倍增管。
[0004] 優(yōu)選的，上述掃描儀包括掃描線圈和電子探針。
[0005] 優(yōu)選的，上述智取樣器內(nèi)設(shè)置有取樣臺，取樣臺上放置樣品，所述樣品表面噴涂有 重金屬微粒層。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的方案，下面將對實施例中所需要 使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例，對于 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他 的附圖。
[0007] 圖1為本發(fā)明一實施例提供的智能電子掃描鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008] 附圖標(biāo)記：1-電子發(fā)射槍；2-聚光鏡；3-透鏡；4-掃描儀；5-取樣器；6-閃爍器； 7_倍增管；8-顯像儀；9-發(fā)生器；10-放大器；11-樣品；12-取樣臺。

【具體實施方式】
[0009] 為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例 中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是 本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員 在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0010] 圖1為本發(fā)明一實施例提供的智能電子掃描鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，本實施 例的智能電子掃描鏡主要由電子發(fā)射槍1、聚光鏡2、透鏡3、掃描儀4、取樣器5、閃爍器6、 倍增管7和顯像儀8構(gòu)成，聚光鏡2、透鏡3和掃描儀4依次設(shè)置在電子發(fā)射槍1的發(fā)射方 向，所述掃描儀4連接有發(fā)生器9,所述取樣器5連接有放大器10,所述取樣器5和顯像儀 8之間分別設(shè)置有閃爍器6和倍增管7,掃描儀4包括掃描線圈和電子探針。智取樣器5內(nèi) 設(shè)置有取樣臺12,取樣臺12上放置樣品11，所述樣品11表面噴涂有重金屬微粒層。
[0011] 通過電子與樣品的相互作用，能夠顯示樣品的各種圖像。本實施例的智能電子掃 描鏡1的電子槍發(fā)射電子束，由聚光鏡2及透鏡3進行聚焦，形成電子束斑，然后照射到樣 品11表面。電子探針在樣品11表面做光柵狀掃描，當(dāng)入射電子打到樣品11表面時，將有 99%以上的入射電子能量轉(zhuǎn)變成樣品熱能，約1%的入射電子能量，將激發(fā)樣品產(chǎn)生各種有 用的信息，包括二次電子、背散射電子和X射線等，不同的信息，從樣品11中所得到各種信 息的強度和分布同樣品表面形貌、成分、晶體取向以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性 質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)。激發(fā)出的次級電子的多少與電子束入射角度和樣品11表面的 起伏有關(guān)，次級電子越多的地方，在影像上相應(yīng)的點就越亮，反之則暗。次級電子由收集器 收集，然后由閃爍器6轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?，再?jīng)光電倍增管7轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂骑@像管上電子 束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。
[0012] 為了使標(biāo)本11表面發(fā)射出次級電子，標(biāo)本11在固定、脫水后，要噴涂上一層重金 屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。
[0013] 最后應(yīng)說明的是：以上實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡 管參照前述實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然 可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替 換，而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的精 神和范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種智能電子掃描鏡，主要由電子發(fā)射槍（1)、聚光鏡（2)、透鏡（3)、掃描儀（4)、取 樣器（5)、閃爍器（6)、倍增管（7)和顯像儀⑶構(gòu)成，其特征在于：所述聚光鏡（2)、透鏡（3) 和掃描儀（4)依次設(shè)置在電子發(fā)射槍（1)的發(fā)射方向，所述掃描儀（4)連接有發(fā)生器（9)， 所述取樣器（5)連接有放大器（10)，所述取樣器（5)和顯像儀（8)之間分別設(shè)置有閃爍器 (6)和倍增管（7)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種智能電子掃描鏡，其特征在于，所述掃描儀（4)包括掃描 線圈和電子探針。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種智能電子掃描鏡，其特征在于，所述智取樣器（5)內(nèi)設(shè)置 有取樣臺（12)，取樣臺（12)上放置樣品（11)，所述樣品（11)表面噴涂有重金屬微粒層。
【文檔編號】H01J37/26GK104157539SQ201410353413
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月18日
【發(fā)明者】卓朝旦 申請人:奉化市宇創(chuàng)產(chǎn)品設(shè)計有限公司