阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)，阻抗匹配方法包括以下步驟：步驟S1，采集射頻電源的輸出信號，并根據(jù)輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在；步驟S2，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配；步驟S3，控制電機停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。本發(fā)明提供的阻抗匹配方法，其可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。
【專利說明】
阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導體器件的制備工藝中，通常采用射頻電源激發(fā)反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝氣體形成等離子體，以對被加工工件的表面進行沉積、刻蝕等的工藝。在進行工藝的過程中，通常需要借助阻抗匹配系統(tǒng)對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，以消除功率反射，從而保證反應(yīng)腔室可以從射頻電源獲得最大功率。
[0003]圖1為現(xiàn)有的阻抗匹配系統(tǒng)的原理框圖。請參閱圖1，該阻抗匹配系統(tǒng)包括阻抗檢測單元、控制單元和執(zhí)行單元。其中，阻抗檢測單元用于檢測射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，并檢測匹配控制算法的參數(shù)；控制單元在射頻電源輸出的射頻功率信號存在時，根據(jù)阻抗檢測單元發(fā)送的參數(shù)進行匹配控制算法并向執(zhí)行單元發(fā)送匹配指令，執(zhí)行單元根據(jù)控制單元發(fā)送的匹配指令對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配；控制單元在射頻電源輸出的射頻功率信號不存在時，向執(zhí)行單元發(fā)送返回預(yù)設(shè)指令，執(zhí)行單元根據(jù)控制單元發(fā)送的返回預(yù)設(shè)指令停止工作且返回預(yù)設(shè)匹配位置。
[0004]然而，采用上述阻抗匹配系統(tǒng)在進行阻抗匹配的過程中不可避免的存在以下問題，即:當射頻電源以脈沖的形式輸出射頻功率信號時，如圖2所示，為射頻電源輸出的射頻功率信號的示意圖，例如，射頻信號的頻率為13.56MHz，脈沖頻率為100Hz，占空比為50%，當射頻電源的當前輸出狀態(tài)為射頻功率信號不存在時，停止工作且返回預(yù)設(shè)匹配位置，當射頻電源的當前輸出狀態(tài)為射頻功率信號存在時，從預(yù)設(shè)匹配位置開始對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，這使得阻抗匹配系統(tǒng)的阻抗匹配速度過慢，從而往往導致在每次射頻功率信號存在時無法完成阻抗匹配，進而導致在整個工藝過程中均無法實現(xiàn)阻抗匹配。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，提供了一種阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)，其可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。
[0006]本發(fā)明提供一種阻抗匹配方法，其用于對射頻電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，包括以下步驟:Si，采集所述射頻電源的輸出信號，并根據(jù)所述輸出信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，若是，則執(zhí)行步驟S2 ;否則，執(zhí)行步驟S3 ;S2，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；S3，控制電機停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0007]其中，步驟S2還包括以下步驟:S21，檢測匹配控制算法所需的參數(shù)；S22，根據(jù)匹配控制算法，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配。
[0008]其中，在步驟SI之前還包括步驟S0，檢測所述射頻電源是否開啟，若是，則進入步驟SI ;若否，則控制電機返回預(yù)設(shè)匹配位置。
[0009]其中，所述步驟SI包括下列步驟:S11，根據(jù)所述輸出信號獲得脈沖檢測信號，所述脈沖檢測信號為由表示所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在的標志位形成的信號，根據(jù)所述脈沖檢測信號獲取當前標志位；S12，若所述標志位為高電平或者低電平，則判定所述射頻功率信號存在；S13，若所述標志位為低電平或者高電平，則判定所述射頻功率信號不存在。
[0010]其中，在所述步驟S3中，不需要經(jīng)過匹配控制算法，直接給所述電機發(fā)送停止指令，所述電機根據(jù)所述停止指令停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0011]其中，在所述步驟SI中，若所述射頻電源具有同步信號，則根據(jù)所述同步信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，若是，則執(zhí)行步驟S2 ;否則，則執(zhí)行步驟S3。
[0012]本發(fā)明還提供一種阻抗匹配系統(tǒng)，其包括阻抗匹配器，用以對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，還包括脈沖檢測單元，用以采集所述射頻電源輸出信號，并根據(jù)所述輸出信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，且向所述阻抗匹配器發(fā)送表示所述射頻功率信號存在或不存在的標志位；所述阻抗匹配器用于當接收到表示所述射頻功率信號存在的所述標志位時，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到表示所述射頻功率信號不存在的所述標志位時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0013]其中，所述阻抗匹配器包括阻抗檢測單元、控制單元和執(zhí)行單元，其中，所述阻抗檢測單元用于檢測匹配控制算法所需的參數(shù)，并將其發(fā)送至所述控制單元；所述控制單元用于當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號存在的標志位時，根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向所述執(zhí)行單元發(fā)送匹配指令；當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號不存在的標志位時，不需要根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向所述執(zhí)行單元發(fā)送停止指令；所述執(zhí)行單元用于當接收到所述控制單元發(fā)送的匹配指令時，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到所述控制單元發(fā)送的停止指令時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0014]其中，所述執(zhí)行單元包括電機和與之連接的可變元件，所述控制單元當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號存在的標志位時，根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向所述電機發(fā)送匹配指令；所述電機根據(jù)所述匹配指令調(diào)節(jié)所述可變元件從當前匹配位置開始進行匹配；所述控制單元當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號不存在的標志位時，不需要根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向所述電機發(fā)送停止指令；所述電機根據(jù)所述停止指令停止轉(zhuǎn)動，以使所述可變元件保持當前匹配位置不變。
[0015]其中，當所述射頻電源以脈沖的形式輸出射頻功率信號時，所述脈沖檢測單元向所述阻抗匹配器發(fā)送的所述標志位形成由高電平和低電平組成的脈沖檢測信號，并且所述脈沖檢測信號的頻率和占空比與所述射頻功率信號的脈沖調(diào)制頻率和占空比相同。
[0016]其中，所述標志位在所述射頻功率信號存在時為高電平，在所述射頻功率信號不存在時為低電平；或者所述標志位在所述射頻功率信號存在時為低電平，在所述射頻功率信號不存在時為高電平。
[0017]其中，當所述射頻電源具有同步單元時，根據(jù)所述同步單元輸出所述射頻電源的同步信號向所述阻抗匹配器發(fā)送表示所述射頻功率信號存在或不存在的所述標志位。
[0018]其中，所述脈沖檢測單元與所述阻抗匹配器集成于一體；或者所述脈沖檢測單元獨立于所述阻抗匹配器之外。
[0019]本發(fā)明具有下述有益效果:
[0020]本發(fā)明提供的阻抗匹配方法，其通過采集射頻電源的輸出信號，并根據(jù)該輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在；當射頻功率信號存在時，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當射頻功率信號不存在時，停止工作且保持在當前匹配位置不變，即，當下一次射頻功率信號存在時，從該當前匹配位置開始進行匹配，這與現(xiàn)有技術(shù)中在每次射頻功率信號存在時均需返回預(yù)設(shè)匹配位置開始匹配相比，可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。
[0021]本發(fā)明提供的阻抗匹配系統(tǒng)，其采用本發(fā)明提供的阻抗匹配方法，可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為現(xiàn)有的阻抗匹配系統(tǒng)的原理框圖；
[0023]圖2為射頻電源以脈沖輸出射頻功率信號的示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明第一實施例提供的阻抗匹配方法的流程圖；
[0025]圖4為射頻電源輸出的射頻功率信號和脈沖檢測信號的示意圖；
[0026]圖5為射頻電源輸出的射頻功率信號和脈沖檢測信號的另一種示意圖；
[0027]圖6為本發(fā)明第一實施例提供的阻抗匹配系統(tǒng)；以及
[0028]圖7為對射頻電源進行阻抗匹配的工作流程圖。

【具體實施方式】
[0029]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的阻抗匹配方法及阻抗匹配系統(tǒng)進行詳細描述。
[0030]圖3為本發(fā)明第一實施例提供的阻抗匹配方法的流程圖。請一并參閱圖3，本實施例提供的阻抗匹配方法用于對射頻電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，包括以下步驟:
[0031]SI，采集射頻電源的輸出信號，并根據(jù)輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，若是，則執(zhí)行步驟S2 ;否則，執(zhí)行步驟S3 ；；
[0032]S2，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；
[0033]S3，控制電機停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0034]在本實施例中，步驟SI還包括以下步驟:
[0035]S11，根據(jù)輸出信號獲得脈沖檢測信號，脈沖檢測信號為由表示射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在的標志位組成的信號，根據(jù)脈沖檢測信號獲取當前標志位；
[0036]S12，若標志位為高電平“1”，則判定射頻功率信號存在；
[0037]S13，若標志位為低電平“0”，則判定射頻功率信號不存在。
[0038]本實施例中，如圖4所示，射頻電源以脈沖形式輸出射頻功率信號，且標志位在射頻功率信號存在時為高電平“ I ”，標志位在射頻功率信號不存在時為低電平“0”，在這種情況下，脈沖檢測信號為高電平“ I ”和低電平“O”形成的脈沖信號，且脈沖檢測信號的頻率和占空比與射頻功率信號的脈沖調(diào)制頻率和占空比相同。在實際應(yīng)用中，如圖5所示，也可以為:標志位在射頻功率信號不存在時為高電平“1”，標志位在射頻功率信號存在時為低電平“O”，在這種情況下，在步驟S12中，若標志位為低電平“O”，則判定射頻功率信號存在；在步驟S13中，若標志位為高電平“1”，則判定射頻功率信號不存在。
[0039]并且，在本實施例中，步驟S2還包括以下步驟:
[0040]S21，檢測匹配控制算法所需的參數(shù)；
[0041]S22，根據(jù)匹配控制算法，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配。
[0042]而且，在步驟S3中，不需要經(jīng)過匹配控制算法，直接給電機發(fā)送停止指令，電機根據(jù)該停止指令停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變，這可以減少進行匹配控制算法所需的時間，從而可以進一步提高阻抗匹配的速率。
[0043]此外，在步驟SI之前還包括步驟S0，檢測射頻電源是否開啟，若是，進入步驟SI ；若否，則控制電機返回預(yù)設(shè)匹配位置。
[0044]需要說明的是，本實施例提供的阻抗匹配方法也可以用于對直接輸出射頻功率信號的射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，在這種情況下，在步驟SO中檢測射頻電源是否開啟，若是，在步驟Si中判斷射頻功率信號一直存在，獲得的脈沖檢測信號始終為高電平“1”，則進入步驟S2，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；在步驟SO中檢測在射頻電源關(guān)閉的情況下，則控制電機返回預(yù)設(shè)匹配位置。
[0045]綜上所述，本實施例提供的阻抗匹配方法，其通過采集射頻電源的輸出信號，并根據(jù)該輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在；當射頻功率信號存在時，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當射頻功率信號不存在時，停止工作且保持在當前匹配位置不變，即，當下一次射頻功率信號存在時，從該當前匹配位置開始進行匹配，這與現(xiàn)有技術(shù)中在每次射頻功率信號存在時均需返回預(yù)設(shè)匹配位置開始匹配相比，可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。
[0046]圖6為本發(fā)明第一實施例提供的阻抗匹配系統(tǒng)。圖7為對射頻電源進行阻抗匹配的工作流程圖。請一并參閱圖6和圖7，其包括阻抗匹配器，用以對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，阻抗匹配系統(tǒng)還包括脈沖檢測單元，脈沖檢測單元為傳感器檢測單元，用以采集射頻電源輸出信號，并根據(jù)輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，且向阻抗匹配器發(fā)送表示射頻功率信號存在或不存在的標志位，標志位可以為在射頻功率信號存在時為高電平“1”，在射頻功率信號不存在時為低電平“0”，標志位也可以為在射頻功率信號存在時為低電平“0”，在射頻功率信號不存在時為高電平“ I ”，在本實施例中，射頻電源以脈沖的形式輸出射頻功率信號，因此，脈沖檢測單元向阻抗匹配器發(fā)送的標志位形成由高電平“ I ”和低電平“O”組成的脈沖檢測信號，且脈沖檢測信號的頻率和占空比與射頻功率信號的脈沖調(diào)制頻率和占空比相同；阻抗匹配器用于根據(jù)接收表示射頻功率信號存在的標志位為高電平“I”(或低電平“O”)時，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配，根據(jù)接收表示射頻功率信號不存在的標志位為低電平“O” (或高電平“I”)時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0047]在本實施例中，阻抗匹配器包括阻抗檢測單元、控制單元和執(zhí)行單元。其中，阻抗檢測單元用于檢測匹配控制算法所需的參數(shù)，并將其發(fā)送至控制單元，所謂匹配控制算法所需的參數(shù)包括射頻電源的負載阻抗的模值和相位等參數(shù)；控制單元用于當接收到由脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示射頻功率信號存在的標志位為高電平“I”(或低電平“O”)時，根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向執(zhí)行單元發(fā)送匹配指令；當接收到由脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示射頻功率信號不存在的標志位為低電平“O”(或高電平“I”)時，不需要根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向執(zhí)行單元發(fā)送停止指令；執(zhí)行單元用于當接收到控制單元發(fā)送的匹配指令時，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到控制單元發(fā)送的停止指令時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
[0048]執(zhí)行單元包括電機和與之連接的可變元件，在這種情況下，控制單元當接收到由脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示射頻功率信號存在的標志位為高電平“I” (或低電平“O”)時，根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行阻抗匹配控制算法以向電機發(fā)送匹配指令，所謂匹配指令，是指包含有關(guān)電機的轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)速、圈數(shù)或者角度等參數(shù)的電信號；電機根據(jù)匹配指令調(diào)節(jié)可變元件從當前匹配位置開始進行匹配，所謂當前匹配位置，是指可變元件的當前位置，即，調(diào)節(jié)可變元件的阻抗值，從而改變射頻電源的負載阻抗值，以使射頻電源的負載阻抗值與輸出阻抗值相匹配；控制單元當接收到由脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示射頻功率信號不存在的標志位為低電平“O” (或高電平“I”)時，不需要根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向電機發(fā)送停止指令；電機根據(jù)停止指令停止轉(zhuǎn)動，以使可變元件保持當前匹配位置不變，即，可變元件的阻抗值保持不變，以使當前射頻電源的負載阻抗值保持不變。
[0049]圖7為對射頻電源進行阻抗匹配的工作流程圖。下面結(jié)合圖7詳細地描述應(yīng)用本實施例提供的阻抗匹配系統(tǒng)對射頻電源進行阻抗匹配的工作過程，其包括以下步驟:
[0050]S10,阻抗檢測單元判斷射頻電源是否開啟，若是，進入S20 ;若否，執(zhí)行單元返回預(yù)設(shè)匹配位置；
[0051]S20，脈沖檢測單元采集射頻電源輸出信號，并根據(jù)該輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，并向控制單元發(fā)送表示射頻功率信號存在的標志位(高電平“ I ”)，進入步驟S30 ；向控制單元發(fā)送表示射頻功率信號不存在的標志位(低電平“0”)，進入步驟S40 ；
[0052]S30，阻抗檢測單元檢測匹配控制算法所需的參數(shù)，并將其發(fā)送至控制單元，且控制單元接收標志位(高電平“ I ”)，并根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送的而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向電機發(fā)送匹配指令，電機根據(jù)該匹配指令調(diào)節(jié)可變元件從當前匹配位置開始進行匹配；
[0053]S40，控制單元接收標志位(低電平“0”)，不需要根據(jù)由阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向電機發(fā)送停止指令，電機根據(jù)該停止指令停止轉(zhuǎn)動，以使可變元件保持當前匹配位置不變。
[0054]在實際應(yīng)用中，脈沖檢測單元可以省去，用阻抗檢測單元來代替脈沖檢測單元，即，用阻抗檢測單元來實現(xiàn)脈沖檢測單元的功能，另外，當射頻電源具有同步單元時，根據(jù)同步單元輸出射頻電源的同步信號向阻抗匹配器發(fā)送表示射頻功率信號存在或不存在的標志位。
[0055]容易理解，本實施例提供的阻抗匹配系統(tǒng)不僅用于對以脈沖的形式輸出射頻功率信號的射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，也用于對直接輸出射頻功率信號的射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配時，在這種情況下，當射頻電源開啟時，脈沖檢測單元向控制單元發(fā)送表示射頻功率信號存在的標志位均為高電平“I”(或均為低電平“0”)，控制單元接收高電平“I”(低電平“O”)的標志位，并基于阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向執(zhí)行單元發(fā)送匹配指令，執(zhí)行單元接收到控制單元的匹配指令，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配。
[0056]需要說明的是，脈沖檢測單元與阻抗匹配器集成于一體，S卩，脈沖檢測單元和阻抗匹配器采用整體式結(jié)構(gòu)，或者脈沖檢測單元可獨立于阻抗匹配器之外，即，脈沖檢測單元和阻抗匹配器相互獨立。
[0057]綜上所述，本實施例提供的阻抗匹配系統(tǒng)，其通過脈沖檢測單元采集射頻電源輸出信號，并根據(jù)該輸出信號判斷射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，并向阻抗匹配器發(fā)送表示射頻功率信號存在或不存在的標志位；阻抗匹配器當接收到表示射頻功率信號存在的標志位時，對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到表示射頻功率信號不存在的標志位時，控制電機停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變，即，當下一次射頻功率信號存在時，從該當前匹配位置開始進行匹配，這與現(xiàn)有技術(shù)中在每次射頻功率信號存在時均需返回預(yù)設(shè)匹配位置開始匹配相比，可以提高阻抗匹配的速率，從而可以避免在整個工藝過程中無法實現(xiàn)阻抗匹配。
[0058]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的原理和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種阻抗匹配方法，其用于對射頻電源的輸出阻抗與負載阻抗進行匹配，其特征在于，包括以下步驟: SI，采集所述射頻電源的輸出信號，并根據(jù)所述輸出信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，若是，則執(zhí)行步驟S2 ;否則，執(zhí)行步驟S3 ； S2，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配； S3，控制電機停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，步驟S2還包括以下步驟: S21，檢測匹配控制算法所需的參數(shù)； S22，根據(jù)匹配控制算法，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在步驟SI之前還包括步驟S0，檢測所述射頻電源是否開啟，若是，則進入步驟Si;若否，則控制電機返回預(yù)設(shè)匹配位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述步驟SI包括下列步驟: S11，根據(jù)所述輸出信號獲得脈沖檢測信號，所述脈沖檢測信號為由表示所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在的標志位形成的信號，根據(jù)所述脈沖檢測信號獲取當前標志位； S12，若所述標志位為高電平或者低電平，則判定所述射頻功率信號存在； S13，若所述標志位為低電平或者高電平，則判定所述射頻功率信號不存在。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在所述步驟S3中，不需要經(jīng)過匹配控制算法，直接給所述電機發(fā)送停止指令，所述電機根據(jù)所述停止指令停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在所述步驟SI中，若所述射頻電源具有同步信號，則根據(jù)所述同步信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，若是，則執(zhí)行步驟S2 ;否則，則執(zhí)行步驟S3。
7.一種阻抗匹配系統(tǒng)，其包括阻抗匹配器，用以對射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗進行匹配，其特征在于，還包括脈沖檢測單元，用以采集所述射頻電源輸出信號，并根據(jù)所述輸出信號判斷所述射頻電源輸出的射頻功率信號是否存在，且向所述阻抗匹配器發(fā)送表示所述射頻功率信號存在或不存在的標志位； 所述阻抗匹配器用于當接收到表示所述射頻功率信號存在的所述標志位時，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到表示所述射頻功率信號不存在的所述標志位時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述阻抗匹配器包括阻抗檢測單元、控制單元和執(zhí)行單元，其中， 所述阻抗檢測單元用于檢測匹配控制算法所需的參數(shù)，并將其發(fā)送至所述控制單元； 所述控制單元用于當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號存在的標志位時，根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向所述執(zhí)行單元發(fā)送匹配指令；當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號不存在的標志位時，不需要根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向所述執(zhí)行單元發(fā)送停止指令； 所述執(zhí)行單元用于當接收到所述控制單元發(fā)送的匹配指令時，對所述射頻電源的輸出阻抗和負載阻抗從當前匹配位置開始進行匹配；當接收到所述控制單元發(fā)送的停止指令時，停止匹配工作且保持在當前匹配位置不變。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述執(zhí)行單元包括電機和與之連接的可變元件， 所述控制單元當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號存在的標志位時，根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法以向所述電機發(fā)送匹配指令；所述電機根據(jù)所述匹配指令調(diào)節(jié)所述可變元件從當前匹配位置開始進行匹配； 所述控制單元當接收到由所述脈沖檢測單元發(fā)送而來的表示所述射頻功率信號不存在的標志位時，不需要根據(jù)由所述阻抗檢測單元發(fā)送而來的參數(shù)進行匹配控制算法，而直接向所述電機發(fā)送停止指令；所述電機根據(jù)所述停止指令停止轉(zhuǎn)動，以使所述可變元件保持當前匹配位置不變。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，當所述射頻電源以脈沖的形式輸出射頻功率信號時，所述脈沖檢測單元向所述阻抗匹配器發(fā)送的所述標志位形成由高電平和低電平組成的脈沖檢測信號，并且 所述脈沖檢測信號的頻率和占空比與所述射頻功率信號的脈沖調(diào)制頻率和占空比相同。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述標志位在所述射頻功率信號存在時為高電平，在所述射頻功率信號不存在時為低電平；或者 所述標志位在所述射頻功率信號存在時為低電平，在所述射頻功率信號不存在時為高電平。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，當所述射頻電源具有同步單元時，根據(jù)所述同步單元輸出所述射頻電源的同步信號向所述阻抗匹配器發(fā)送表示所述射頻功率信號存在或不存在的所述標志位。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的阻抗匹配系統(tǒng)，其特征在于，所述脈沖檢測單元與所述阻抗匹配器集成于一體；或者所述脈沖檢測單元獨立于所述阻抗匹配器之外。
【文檔編號】H01J37/32GK104425201SQ201310388807
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】張璐, 王東, 陳鵬, 呂鈾, 師帥濤 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司