專(zhuān)利名稱(chēng)：一種p5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是利用精密機(jī)械加工技術(shù)并結(jié)合特定的工藝安排對(duì)損壞的半導(dǎo)體設(shè)備中某些關(guān)鍵零部件進(jìn)行翻新、返修的方法，特別涉及一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝。
背景技術(shù)：
作為半導(dǎo)體設(shè)備中關(guān)鍵的零部件，直冷式陰極內(nèi)襯工作過(guò)程中用三個(gè)快速接頭與位于內(nèi)襯頂面的3個(gè)凸出接口進(jìn)行聯(lián)接，并利用接口根部的3個(gè)小平面與快速接頭上對(duì)應(yīng)的平面接觸進(jìn)行定位，以保證裝配時(shí)的精確和快速安裝。因與快速接頭的接觸面積小，直冷式陰極內(nèi)襯體積、重量大，使直冷式陰極內(nèi)襯一旦有其中I個(gè)接觸平臺(tái)出現(xiàn)不平衡就容易造成密封性能白損壞。工作環(huán)境的特性，對(duì)直冷式陰極內(nèi)襯的密封性能和耐腐蝕性能都有嚴(yán)格的要求。因其高難度的制作工藝和高要求的制作標(biāo)準(zhǔn)必然導(dǎo)致內(nèi)襯損壞后更換新品的高成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是對(duì)上述問(wèn)題提供一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝。本發(fā)明的目的是以如下方式實(shí)現(xiàn)的:一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝，包括以下步驟:
A、保護(hù)不需要加工的零部件表面，用膠帶和保護(hù)用材料對(duì)陰極內(nèi)襯進(jìn)行包裹，只露出需要進(jìn)行加工的3個(gè)邊接口和內(nèi)襯上用于加工時(shí)定位用的溝；
B、機(jī)械加工，以出水口為中心，陰極內(nèi)襯的頂面為基準(zhǔn)，加工與出水口同心的Φ43深
2.5mm的沉頭，以Φ43的沉頭底面為基準(zhǔn)，向下M33X1.5的螺紋，螺紋深度9mm，以沉孔底面為基準(zhǔn)，沉孔底面上加工與螺紋孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸Φ 36mm,寬2mm深，1.3mm ；
C、安裝替換連接頭為:打磨步驟b加工出的密封溝槽，要求底面平面度達(dá)到0.02，表面粗糙度達(dá)到0.8，安裝密封圈，在處理好的溝槽內(nèi)放置密封圈，確定替換連接頭底部開(kāi)槽位置，把替換連接頭通過(guò)M33xl.5螺柱安裝在陰極內(nèi)襯上，并根據(jù)陰極內(nèi)襯的液體通道的位置在替換接頭上做標(biāo)示，用8mm平底銑刀在替換接頭上開(kāi)出深度為IOmm的溝槽，在陰極內(nèi)襯的內(nèi)螺紋和圓臺(tái)上部端面上均勻涂抹AB膠，安裝已開(kāi)槽的替換連接頭，把安裝好的陰極內(nèi)襯放入烤箱內(nèi)；
D、機(jī)械加工為:用步驟b相同的定位和固定方法，精密加工替換連接頭；
E、檢測(cè)密封性能為:用標(biāo)準(zhǔn)堵頭密閉3個(gè)凸臺(tái)接口中的2個(gè)，第3個(gè)接與液體壓力測(cè)漏儀相連接，對(duì)此壓力系統(tǒng)施加IMPa壓力，若系統(tǒng)可保持壓力I小時(shí)不變，則表示陰極內(nèi)襯不泄漏；
F、表面處理為:按照原零件的技術(shù)要求要標(biāo)準(zhǔn)對(duì)零件進(jìn)行表面陽(yáng)極氧化處理，以提高陰極內(nèi)襯的絕緣性能和耐腐蝕性能。更進(jìn)一步的說(shuō)，所述步驟步驟C中，烤箱內(nèi)，的溫度保持在80攝氏度，并且保溫I個(gè)小時(shí)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn):該修復(fù)工藝只針對(duì)以生泄漏的3個(gè)凸出接口進(jìn)行處理，不影響陰極內(nèi)襯上的其它無(wú)關(guān)特征和尺寸。通過(guò)在端面添加密封圈和改用螺紋連接，部件的密封性能比當(dāng)初的焊接結(jié)構(gòu)更加可靠，并且具有重復(fù)修復(fù)的特點(diǎn)。為P5000刻蝕機(jī)用戶(hù)節(jié)約了生產(chǎn)成本。


為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，
圖2為修復(fù)過(guò)程中裝配位置示意圖。
具體實(shí)施方式
:
見(jiàn)圖1和圖2，一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝，包括以下步驟:
A、保護(hù)不需要加工的零部件表面，用膠帶和保護(hù)用材料對(duì)陰極內(nèi)襯I進(jìn)行包裹，只露出需要進(jìn)行加工的3個(gè)第一邊接口 1-1、第二邊接口 1-2、第三邊接口 1-3和內(nèi)襯上用于加工時(shí)定位用的溝2 ；
B、機(jī)械加工，以出水口為中心，陰極內(nèi)襯I的頂面為基準(zhǔn)，加工與出水口同心的Φ43深2.5mm的沉頭，以Φ43的沉頭底面為基準(zhǔn)，向下M33X1.5的螺紋，螺紋深度9mm，以沉孔底面為基準(zhǔn)，沉孔底面上加工與螺紋孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸Φ 36mm，寬2mm深，
1.3mm ；
C、安裝替換連接頭為:打磨步驟b加工出的密封溝槽，要求底面平面度達(dá)到0.02，表面粗糙度達(dá)到0.8，安裝密封圈3，在處理好的溝槽內(nèi)放置密封圈3，確定替換連接頭底部開(kāi)槽位置，把替換連接頭通過(guò)M33xl.5螺柱4安裝在陰極內(nèi)襯I上，并根據(jù)陰極內(nèi)襯I的液體通道的位置在替換接頭上做標(biāo)示，用8mm平底銑刀在替換接頭上開(kāi)出深度為IOmm的溝槽，在陰極內(nèi)襯的內(nèi)螺紋和圓臺(tái)上部端面上均勻涂抹AB膠，安裝已開(kāi)槽的替換連接頭5，把安裝好的陰極內(nèi)襯I放入烤箱內(nèi)，烤箱內(nèi)，的溫度保持在80攝氏度，并且保溫I個(gè)小時(shí)；
D、機(jī)械加工為:用步驟b相同的定位和固定方法，精密加工替換連接頭；
E、檢測(cè)密封性能為:用標(biāo)準(zhǔn)堵頭密閉3個(gè)凸臺(tái)接口中的2個(gè)，第3個(gè)接與液體壓力測(cè)漏儀相連接，對(duì)此壓力系統(tǒng)施加IMPa壓力，若系統(tǒng)可保持壓力I小時(shí)不變，則表示陰極內(nèi)襯不泄漏；
F、表面處理為:按照原零件的技術(shù)要求要標(biāo)準(zhǔn)對(duì)零件進(jìn)行表面陽(yáng)極氧化處理，以提高陰極內(nèi)襯的絕緣性能和耐腐蝕性能。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝，包括以下步驟: A、保護(hù)不需要加工的零部件表面，用膠帶和保護(hù)用材料對(duì)陰極內(nèi)襯(I)進(jìn)行包裹，只露出需要進(jìn)行加工的3個(gè)第一邊接口( 1-1 )、第二邊接口( 1-2)、第三邊接口( 1-3)和內(nèi)襯上用于加工時(shí)定位用的溝(2)； B、機(jī)械加工，以出水口為中心，陰極內(nèi)襯(I)的頂面為基準(zhǔn)，加工與出水口同心的Φ43深2.5mm的沉頭，以Φ43的沉頭底面為基準(zhǔn)，向下M33X1.5的螺紋，螺紋深度9mm，以沉孔底面為基準(zhǔn)，沉孔底面上加工與螺紋孔同心的密封槽，密封槽中心尺寸Φ 36mm，寬2mm深，1.3mm ； C、安裝替換連接頭為:打磨步驟b加工出的密封溝槽，要求底面平面度達(dá)到0.02，表面粗糙度達(dá)到0.8，安裝密封圈(3)，在處理好的溝槽內(nèi)放置密封圈(3)，確定替換連接頭底部開(kāi)槽位置，把替換連接頭通過(guò)M33xl.5螺柱(4)安裝在陰極內(nèi)襯(I)上，并根據(jù)陰極內(nèi)襯(I)的液體通道的位置在替換接頭上做標(biāo)示，用8mm平底銑刀在替換接頭上開(kāi)出深度為IOmm的溝槽，在陰極內(nèi)襯的內(nèi)螺紋和圓臺(tái)上部端面上均勻涂抹AB膠，安裝已開(kāi)槽的替換連接頭(5)，把安裝好的陰極內(nèi)襯(I)放入烤箱內(nèi)； D、機(jī)械加工為:用步驟b相同的定位和固定方法，精密加工替換連接頭； E、檢測(cè)密封性能為:用標(biāo)準(zhǔn)堵頭密閉3個(gè)凸臺(tái)接口中的2個(gè)，第3個(gè)接與液體壓力測(cè)漏儀相連接，對(duì)此壓力系統(tǒng)施加IMPa壓力，若系統(tǒng)可保持壓力I小時(shí)不變，則表示陰極內(nèi)襯不泄漏； F、表面處理為:按照原零件的技術(shù)要求要標(biāo)準(zhǔn)對(duì)零件進(jìn)行表面陽(yáng)極氧化處理，以提高陰極內(nèi)襯的絕緣性能和耐腐蝕性能。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝，其特征在于:所述步驟步驟C中，烤箱內(nèi)，的溫度保持在80攝氏度，并且保溫I個(gè)小時(shí)。
全文摘要
一種P5000刻蝕機(jī)中陰極內(nèi)襯的修復(fù)工藝，包括以下步驟保護(hù)不需要加工的零部件表面，用膠帶和保護(hù)用材料對(duì)陰極內(nèi)襯(1)進(jìn)行包裹，只露出需要進(jìn)行加工的3個(gè)第一邊接口(1-1)、第二邊接口(1-2)、第三邊接口(1-3)和內(nèi)襯上用于加工時(shí)定位用的溝(2)，該修復(fù)工藝只針對(duì)以生泄漏的3個(gè)凸出接口進(jìn)行處理，不影響陰極內(nèi)襯上的其它無(wú)關(guān)特征和尺寸。通過(guò)在端面添加密封圈和改用螺紋連接，部件的密封性能比當(dāng)初的焊接結(jié)構(gòu)更加可靠，并且具有重復(fù)修復(fù)的特點(diǎn)。為P5000刻蝕機(jī)用戶(hù)節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01J9/50GK103208405SQ201210012960
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月17日
發(fā)明者游利 申請(qǐng)人:游利