專利名稱：提高顯示面板真空度裝置及方法
提高顯示面板真空度裝置及方法
技術領域：
本發(fā)明有關于一種顯示面板制造方法，特別是有關于一種提高顯示面板真空度的裝置及方法。
背景技術：
圖1為一現(xiàn)有場發(fā)射顯示面板100的示意圖，場發(fā)射顯示面板100包括第一基板 110，一般由銦錫氧化物(ITO)透明導電薄膜制成，作為場發(fā)射顯示面板100的陽極，用以吸引電子，于第一基板110上為一第一絕緣層112，通常為玻璃等絕緣材料制成，第一基板110 下方具有畫素結構，一個畫素結構內通常設有熒光粉條組114，包括紅(R)、綠(G)、藍(B)三色熒光粉條1141、1142、1143 ；以及各色組熒光粉條1141、1142、1143之間之間隔116，而間隔16通常以印制方法印制于第一基板110上。場發(fā)射顯示面板100另具有第二基板120，作為場發(fā)射顯示面板100的陰極，設置于第二基板120下的第二電絕緣層122，以及設置于第二基板120的上的第三電絕緣層 124，且于第二基板120上設置有復數(shù)個電子發(fā)射源140，其中，每一電子發(fā)射源140包括設置于第二基板120上的射極電極142以及設置于第三電絕緣層IM上的柵極電極144，電子發(fā)射源140是用于發(fā)射電子，所發(fā)射電子是用以撞擊紅(R)、綠(G)、藍(B)三色組熒光粉條。第一基板110與第二基板120間，另設置有檔墻150，檔墻150與第一基板110、第二基板120形成一腔室160。在場發(fā)射顯示面板100中，腔室160必須維持真空狀態(tài)，以使電子發(fā)射時不會損失能量，因此，場發(fā)射顯示面板100具有吸氣劑容置空間170，用以容置吸氣劑171，常見蒸散型吸氣劑為鋇、鋁及鎳的混合物，例如BaAl4,吸氣劑171在活化后，可用于吸收腔室160內的氣體及污染物。除此之外，提高腔室160真空度的方法可使用抽氣泵浦抽出腔室160內的氣體，但由于氣體分子或污染物可能附著于腔室160的表面，其需要較高的抽氣力才得以清除，因此，單純使用抽氣泵浦及吸氣劑171并無法有效清除附著于腔室160的表面的氣體分子或污染物。

發(fā)明內容依照本發(fā)明的實施例，揭露一種提高顯示面板真空度方法，可以用于提高真空顯示面板的真空度，其中，該顯示面板具有第一基板，第二基板，以及夾于所述第一基板與所述第二基板間的擋墻，該第一基板、第二基板以及該檔墻形成腔室，且該第二基板上具有至少一電子發(fā)射源用以發(fā)射電子。此提高顯示面板真空度方法包括加熱該顯示面板，藉此氣化該腔室中的污染物；使用抽氣裝置，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物；以及致能該至少一電子發(fā)射源，藉以射出電子。依照本發(fā)明提供的另一實施例，揭露一種適用于提高顯示面板真空度方法的裝置，該提高顯示面板真空度裝置包括加熱爐，具有加熱空間以容置該顯示面板；抽氣裝置， 通過抽氣管徑與該顯示面板連接；顯示面板驅動模塊，電連接于該顯示面板，用以驅動該顯示面板；氣壓計，用以檢測該腔室的氣壓；溫度計，用以檢測該加熱空間的溫度；抽氣控制單元，電接于該抽氣裝置及該氣壓計，用以控制該抽氣裝置的抽氣力；溫度控制單元，電接于該溫度計及該加熱爐，用以控制該加熱空間的溫度；以及驅動控制單元，用以控制該顯示面板驅動模塊。


圖1為現(xiàn)有場發(fā)射顯示面板結構示意圖。
圖2為本發(fā)明提高顯示面板真空度方法第一實施例示意圖,
圖3為本發(fā)明抽氣裝置連接場發(fā)射顯示面板的示意圖。
圖4為本發(fā)明致能電子發(fā)射源示意圖。
圖5為本發(fā)明提高顯示面板真空度方法第二實施例示意圖,
圖6為本發(fā)明發(fā)射電流與抽氣力示意圖。
圖7為本發(fā)明提高顯示面板真空度裝置實施例示意圖。
主要組件符號說明
100 場發(fā)射顯示面板
110 第一基板
112 第一絕緣層
114 熒光粉條組
1141紅熒光粉條
1142綠熒光粉條
1143藍熒光粉條 116 間隔
120 第二基板 122 第二電絕緣層 124 第三電絕緣層 140 電子發(fā)射源 142 射極電極 144 柵極電極 150 檔墻 160 腔室
170吸氣劑容置空間
171吸氣劑
S200.S500 提高顯示面板真空度方法
S210-S250、 步驟
S510-S560
310 320 330 610
抽氣裝置抽氣管徑抽氣孔發(fā)射電流
620抽氣力
630氣壓力
700提高顯示面板真空度裝置
710加熱爐
711加熱空間
720顯示面板驅動模塊
730氣壓計
740溫度計
750抽氣控制單元
760溫度控制單元
770驅動控制單元
780電流計
790中央控制單元
791吸氣劑活化單元
具體實施方式
下文依本發(fā)明提高顯示面板真空度方法特舉實施例配合所附圖式作詳細說明，但所提供的實施例并非用以限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。如圖1所示，場發(fā)射顯示面板100中，每一像素結構包括數(shù)百至數(shù)千個尖狀電子發(fā)射源140，而通過電子發(fā)射源140發(fā)射電子以撞擊熒光粉條組114產(chǎn)生發(fā)光效果。第一基板110與第二基板120間的腔室160的間隙通常為200微米至數(shù)毫米，并且場發(fā)射顯示面板100必須維持在高度真空狀態(tài)，以使電子發(fā)射時不會損失能量，本說明書所述的真空，并非指大氣壓力為零，真空度是以絕對壓力表示大氣壓力以下的壓力。請參考圖2及圖3，圖2為本發(fā)明提高顯示面板真空度方法的第一實施例流程圖， 圖3為本發(fā)明抽氣裝置310連接場發(fā)射顯示面板100的示意圖。圖2為本發(fā)明提高顯示面板真空度方法S200的第一實施例，包括以下步驟S210 加熱；S220 抽氣；S230 冷卻；SM0:活化吸氣劑S250 致能電子發(fā)射源。提高顯示面板真空度方法S200中步驟S210為加熱所欲提高真空度的場發(fā)射顯示面板100，其加熱過程以約每秒攝氏5度到10度的速率升溫，直至場發(fā)射顯示面板100達攝氏300度到320度之間；步驟S220為在加熱過程中，使用抽氣裝置310，通過抽氣管徑320 對于場發(fā)射顯示面板100持續(xù)抽氣，其中，抽氣裝置310可以例如是抽氣泵浦，抽氣裝置310 通過抽氣管徑320及場發(fā)射顯示面板100所具有的抽氣孔330抽出場發(fā)射顯示面板100內部的氣體及/或污染物，其抽氣目標為使場發(fā)射顯示面板100的腔室160內的氣壓力達到約10_6托爾(torr)，待腔室160內壓力達到要求的標準后，始封閉抽氣孔330，使場發(fā)射顯示面板100內形成實質封閉的空間，綜合以上加熱S210及抽氣S220過程其耗時約4到6小時。接著，步驟S230為以鼓風冷卻，且每分鐘下降攝氏2度冷卻方式，冷卻場發(fā)射顯示面板100，待場發(fā)射顯示面板100溫度降至預定的較低溫度，例如攝氏60度后，可執(zhí)行活化吸氣劑S240的步驟，吸氣劑171設置于吸氣劑容置空間170中，常見蒸散型吸氣劑為鋇、鋁及/或鎳的混合物，例如可以為BaAl4，活化吸氣劑的步驟S240為利用高周波加熱吸氣劑， 其活化過程約耗時1小時。待活化吸氣劑S240，使吸氣劑171具有吸收場發(fā)射顯示面板100內部氣體及/或污染物的效果后，致能電子發(fā)射源S250，使其發(fā)射出電子，通過大量電子的轟擊，擊落場發(fā)射顯示面板100內的污染物，并且游離化殘存于面板100內部的氣體，待場發(fā)射顯示面板 100內部的污染物被擊落后，通過擴散方式，場發(fā)射顯示面板100內部的污染物及游離后氣體會由濃度較高位置擴散至因吸氣劑吸收污染物及/或氣體而造成污染物及/或氣體濃度較低的位置，進而再次被吸氣劑給吸收，因此其吸氣劑171雖僅設置于一側的容置空間170 內，仍能吸收腔室160內的污染物及/或氣體。其中，致能至少一電子發(fā)射源140以轟擊場發(fā)射顯示面板100內部污染物的過程約耗時4到6小時。以下說明致能至少一電子發(fā)射源S250，使其發(fā)射出電子。請參照圖4，圖4為致能電子發(fā)射源示意圖，首先，于第一基板110，亦即陽極基板施加預設的陽極第一電位(yc), 此陽極第一電位用以吸引與控制來自電子發(fā)射源140所發(fā)射的電子，使電子向熒光粉條組 114撞擊，隨后于射極電極142施加射極第二電位(Ve)，以及于柵極電極144施加柵極第三電位(\)，其中，柵極第三電位大于射極第二電位，且陽極第一電位大于柵極第三電位，由于電場形成，于射極電極142上的電子遂因柵極第三電位與射極第二電位形成的柵極射極電位差(veE)而被導引出，并且隨著極射極電位的增減而成正相關，再通過陽極第一電位與柵極第三電位形成的電場(Vra)被導引而向第一基板110，進而形成由第一基板110到第二基板120的發(fā)射電流(I。)，因此，柵極射極電位差可決定發(fā)射電流強度，值得一提的是，為避免瞬間發(fā)射電流劇烈變化造成場發(fā)射顯示面板的損壞，在使用發(fā)射電流轟擊場發(fā)射顯示面板100中氣體及/或污染物時，可控制該發(fā)射電流使該發(fā)射電流于第一時段漸進增加；該第一時段后的第二時段維持一定值以持續(xù)有效轟擊氣體及/或污染物；及于該第二時段后的第三時段漸進減少，如圖6所示。此外，發(fā)射電流可設定于0. 1毫安到4毫安之間，柵極射極電位差(VeE)可設定于27伏特到35伏特之間，陽極第一電位與柵極第三電位形成的電場 (Vcg)可設定于800伏特到1000伏特之間，但不限定于以上數(shù)值。上述提高顯示面板真空度方法的第一實施例S200，步驟活化吸氣劑S240，并且致能電子發(fā)射源S250后，能有效利用電子發(fā)射源所發(fā)射的電子轟擊場發(fā)射顯示面板100中氣體及/或污染物，場發(fā)射顯示面板100內部的污染物及游離后氣體會由濃度較高位置擴散致因吸氣劑吸收污染物及/或氣體而造成污染物及/或氣體濃度較低的位置，進而再次被吸氣劑給吸收，唯其污染物吸收為通過擴散作用被再吸收，需要較多時間使吸氣劑能有效吸收腔室160內的氣體及/或污染物，方可達成所期望的真空度，換言之，此實施例方法吸收效率有限，恐造成污染物再次附著于場發(fā)射顯示面板100內部，此外，在抽氣過程S220 中，場發(fā)射顯示面板100中氣體及/或污染物可能因附著于內部結構的表面，而不易被抽氣設備所產(chǎn)生的氣壓差所吸出，因此，利用抽氣設備抽氣以使場發(fā)射顯示面板內部達到所要求的真空程度需要較長的抽氣時間。
本發(fā)明揭露另一提高顯示面板真空度方法S500，請參考圖5，圖5為提高顯示面板真空度方法的第二實施例示意圖，圖5為本發(fā)明提高顯示面板真空度方法S500的第二實施例包括以下步驟S510 加熱；S520 抽氣；S530 冷卻；S540 致能電子發(fā)射源；S550 在該至少一電子發(fā)射源為致能狀態(tài)下，同時對該顯示面板抽氣，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物；S560 活化吸氣劑。首先，步驟S510為加熱所欲提高真空度的場發(fā)射顯示面板100，其加熱過程以約每秒攝氏5度到10度的速率升溫，直至場發(fā)射顯示面板100達攝氏300度到320度之間； 步驟S520為在加熱過程中，使用抽氣裝置310，通過抽氣管徑320對于真空顯示面板持續(xù)抽氣S520，其中，抽氣裝置310可以例如是抽氣泵浦，其裝置示意圖如上述圖3所示。在圖 5所述的提高場發(fā)射顯示面板真空度方法S500中，其抽氣目的為使場發(fā)射顯示面板腔室內的大氣壓力達到10_5托爾(torr)與10_6托爾(torr)之間。接著，步驟S530為以鼓風冷卻，且每分鐘下降攝氏2度方式，冷卻場發(fā)射顯示面板100，待場發(fā)射顯示面板100溫度降至一預定的較低溫度，例如攝氏60度后，致能電子發(fā)射源S540，使其發(fā)射出電子，通過大量電子的轟擊，擊落場發(fā)射顯示面板100內部的污染物，并且游離化殘存于面板內部的氣體，而與本發(fā)明所揭露第一實施例S200不同的是步驟 S550，待致能至少一電子發(fā)射源140后，在至少一電子發(fā)射源140為致能狀況下，使用抽氣裝置310產(chǎn)生氣壓差，抽出腔室160內的氣體及/或污染物S550 ；或在步驟S520抽氣后， 在持續(xù)的狀態(tài)下，致能電子發(fā)射源，以達到電子發(fā)射源為致能狀況下，利用氣壓差抽出腔室內的氣體及/或污染物。相較于本發(fā)明所揭露第一實施例S200中，場發(fā)射顯示面板100內部受到電子轟擊的污染物及游離后氣體會由濃度較高位置擴散致因吸氣劑吸收污染物及/或氣體而造成污染物及/或氣體濃度較低的位置，進而再次被吸氣劑給吸收，本第二實施例S500利用抽氣裝置310所產(chǎn)生的氣壓差，配合電子轟擊，將附著顯示面板內的氣體及/或污染物有效擊落，并且迅速抽離，因此，其去除氣體及/或污染物的效率優(yōu)于單純使用吸氣劑并配合擴散的方法，且本第二實施例S500在抽氣時輔以電子轟擊，能夠有效擊落附著于顯示面板內部氣體及/或污染物，相較于單純的抽氣制程，其排除氣體及/或污染物更高，并且本第二實施例S500在抽氣同時輔以電子轟擊，有效整合制程，因此能夠有效減少提高場發(fā)射顯示面板真空度所需的時間。其中，致能至少一電子發(fā)射源S540使其發(fā)射出電子，其詳細實施方式請參照前述圖4所述內容，于此不再贅述。除此之外，為有效在電子轟擊期間，利用抽氣裝置310產(chǎn)生的氣壓差，抽出場發(fā)射顯示面板100內的氣體及/或污染物S550的實施方式，請參考圖6，圖6為發(fā)射電流、抽氣力與腔室氣壓力示意圖，圖6中顯示面板發(fā)射電流610如上述于第一時段漸進增加；該第一時段后的第二時段維持一定值以持續(xù)有效轟擊氣體及/或污染物；及于該第二時段后的第三時段漸進減少，并且第二時段的電流值可以例如為0. 1毫安到4毫安之間，所述第一時段、第二時段與第三時段的先后，僅代表三時段發(fā)生的先受順序，并不限定該三個時段必須接續(xù)發(fā)生。此外，圖6中抽氣裝置310抽氣力620的大小隨發(fā)射電流610控制，而成一正相關的關系，其目的為當發(fā)射電流610越大，遭發(fā)射電流610所轟擊的氣體及/或污染物可能越多，因此調整抽氣裝置310的抽氣力，使被擊落的氣體及/或污染物能夠更迅速被排除，避免再次附著于場發(fā)射顯示面板100內部表面，在本實施例中，其正相關系指當發(fā)射電流610 越大，其所對應的抽氣力620越大，而此抽氣力620在步驟S550開始時，并不限定為零，抽氣裝置310可于步驟S520開始即為持續(xù)致能狀態(tài)，而于步驟S550后，另依據(jù)發(fā)射電流610 加以調整。本第二實施例S500另包括S560活化吸氣劑，其活化方法與第一實施例S200活化方法相同，但由于本第二實施例S500其轟擊產(chǎn)生的氣體及/或污染物已經(jīng)由抽氣裝置310 抽離，因此吸氣劑171的活化可于場發(fā)射顯示面板100電子發(fā)射源140再次致能前活化即可。本發(fā)明亦揭露一種提高顯示面板真空度裝置，適用于實施上述提高顯示面板真空度方法的第一實施例S200與第二實施例S500，請參考圖7，圖7為提高顯示面板真空度裝置700實施例示意圖，裝置700包括加熱爐710、抽氣裝置310、顯示面板驅動模塊720、氣壓計730、溫度計740、抽氣控制單元750、溫度控制單元760、驅動控制單元770、電流計780、 中央控制單元790及吸氣劑活化單元791。其中加熱爐710包括加熱空間711以容置欲提高真空度的場發(fā)射顯示面板100，加熱爐710可用于執(zhí)行S210與S510加熱場發(fā)射顯示面板100，其加熱方式可例如使用紅外線陶瓷加熱板712加熱；抽氣裝置310，可例如是抽氣泵浦可用以抽出顯示面板100內的氣體及/或污染物；顯示面板驅動模塊720用以驅動場發(fā)射顯示面板100，提供驅動場發(fā)射顯示面板100所須的陽極第一電位(V。)、射極第二電位(Ve)、柵極第三電位(Ve)；氣壓計730用以量測場發(fā)射顯示面板100內部的氣壓，氣壓計730可以例如是黏性真空計；溫度計740用以量測加熱空間711的溫度，溫度計740可以例如是電子式溫度計；抽氣控制單元750，電連接于抽氣裝置310及氣壓計730，用以控制抽氣裝置310的抽氣力；溫度控制單元760，電連接于溫度計740及加熱爐710，用以控制加熱空間711的溫度；驅動控制單元770，用以控制顯示面板驅動模塊720產(chǎn)生所須的電壓，此外電流計780，用以檢測電子發(fā)射源140的發(fā)射電流610 ；中央控制單元790用以根據(jù)腔室160的氣壓、加熱空間711的溫度及發(fā)射電流 610，控制抽氣控制單元750、溫度控制單元760及驅動控制單元770，抽氣控制單元750、溫度控制單元760、驅動控制單元770與中央控制單元790可以使用例如是微控制器(MCU)或可程序化邏輯數(shù)組(FPGA)實現(xiàn)；吸氣劑活化單元791可以例如是高周波加熱器。裝置700 包括可重復使用的驅動控制單元770，以及抽氣控制單元750、溫度控制單元760、驅動控制單元770與中央控制單元790，因此能夠有效控制所述的提高顯示面板真空度方法實施例 S200 與 S500。雖然本發(fā)明已以實施例揭露如上，其中以提高場發(fā)射顯示面板的真空度為例，但此僅為本發(fā)明所揭露實施例的預想功能，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作各種更動與使用，因此本發(fā)明的保護范圍當視后附的申請專利范圍所界定者為準。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權利要求
1.一種提高顯示面板真空度的方法，適用于提高一顯示面板的真空度，其中，該顯示面板包括一第一基板，一第二基板，夾于該第一基板與該第二基板間的一擋墻，以形成一腔室，且該第二基板包括至少一電子發(fā)射源，該方法包括加熱該顯示面板，藉此氣化該腔室中的污染物；對該顯示面板抽氣，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物；以及致能該至少一電子發(fā)射源，藉以射出電子。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，對該顯示面板抽氣的步驟是在致能該至少一電子發(fā)射源的前執(zhí)行，且該提高顯示器真空度方法另包括在該至少一電子發(fā)射源為致能狀態(tài)下，同時對該顯示面板抽氣，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其特征在于，致能該至少一電子發(fā)射源的步驟包括 使該顯示面板產(chǎn)生一發(fā)射電流，其中該發(fā)射電流于一第一時段漸進增加；該發(fā)射電流于該第一時段后的一第二時段維持一定值；及該發(fā)射電流于該第二時段后的一第三時段漸進減少。
4.根據(jù)權利要求3所述的方法，其特征在于，對該顯示面板抽氣的一抽氣力大小與該發(fā)射電流大小具有一正相關的關系。
5.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于，每一電子發(fā)射源包括一射極電極及一柵極電極，且該產(chǎn)生該發(fā)射電流的步驟包括提供一固定的第一電位于該第二基板； 提供一固定的第二電位于該射極電極；以及提供一可調整的第三電位于該柵極電極，使該柵極電極與該射極電極之間形成一可調整的柵極射極電位差，其中于該第一時段逐漸增加該柵極射極電位差； 于該第二時段維持該柵極射極電位差；以及于該第三時段逐漸減少該柵極射極電位差。
6.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，該對該顯示面板抽氣的步驟與該致能該至少一電子發(fā)射源的步驟包括一同時執(zhí)行的時段。
7.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，另包括 活化一吸氣劑，以吸收該腔室中的氣體及/或污染物。
8.根據(jù)權利要求7所述的方法，其特征在于，該吸氣劑包括鋇、鋁及/或鎳。
9.一種提高顯示面板真空度的設備，適用于提高一顯示面板的真空度，其中，該顯示面板包括一第一基板，一第二基板，夾于該第一基板與該第二基板間的一擋墻，以形成一腔室，且該第二基板包括至少一電子發(fā)射源，該提高顯示面板真空度設備包括一加熱爐，包括一加熱空間以容置該顯示面板；一抽氣裝置，通過一抽氣管徑與該顯示面板連接；一顯示面板驅動模塊，電連接于該顯示面板，用以驅動該顯示面板；一氣壓計，用以檢測該腔室的氣壓；一溫度計，用以檢測該加熱空間的溫度；一抽氣控制單元，電接于該抽氣裝置及該氣壓計，用以控制該抽氣裝置的抽氣力；一溫度控制單元，電接于該溫度計及該加熱爐，用以控制該加熱空間的溫度；以及一驅動控制單元，用以控制該顯示面板驅動模塊。
10.根據(jù)權利要求9所述的設備，其特征在于，另包括一電流計，用以檢測該電子發(fā)射源的一發(fā)射電流。
11.根據(jù)權利要求10所述的設備，其特征在于，另包括一中央控制單元，用以根據(jù)該腔室的氣壓、該加熱空間的溫度及該發(fā)射電流值，控制該抽氣控制單元、該溫度控制單元及該驅動控制單元。
12.根據(jù)權利要求9所述的設備，其特征在于，該抽氣裝置為一抽氣泵浦。
13.根據(jù)權利要求9所述的設備，其特征在于，另包括一吸氣劑活化單元，用以活化一吸氣劑。
14.一種提高顯示面板真空度的方法，適用于提高一顯示面板的真空度，其中，該顯示面板包括一第一基板，一第二基板，夾于該第一基板與該第二基板間的一擋墻，以形成一腔室，且該第二基板包括至少一電子發(fā)射源，該方法包括加熱該顯示面板，藉此氣化該腔室中的污染物；活化一吸氣劑，以吸收該腔室中的氣體及/或污染物；對該顯示面板抽氣，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物；以及致能該至少一電子發(fā)射源，藉以射出電子。
全文摘要
一種提高顯示面板真空度方法，適用于提高一顯示面板的真空度，其中，該顯示面板包括一第一基板，一第二基板，夾于該第一基板與該第二基板間的一擋墻，以形成一腔室，且該第二基板包括至少一電子發(fā)射源，該提高顯示面板真空度方法包括以下步驟加熱該顯示面板，藉此氣化該腔室中的污染物；使用一抽氣裝置，以抽出該腔室內的氣體及/或污染物；以及致能該至少一電子發(fā)射源，藉以射出電子。
文檔編號H01J9/385GK102315061SQ20111022243
公開日2012年1月11日 申請日期2011年7月27日 優(yōu)先權日2011年6月16日
發(fā)明者呂仁貴, 王濰淇, 邱贊勛 申請人:友達光電股份有限公司