專利名稱：真空管道式束流調(diào)節(jié)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及電真空領(lǐng)域，尤其涉及一種束流調(diào)節(jié)裝置。
背景技術(shù)：
目前，在電真空領(lǐng)域中，因調(diào)節(jié)帶電粒子束流需要在真空狀態(tài)下產(chǎn)生高壓電場(chǎng)的情形很多，傳統(tǒng)做法是將局部真空腔加大，布置產(chǎn)生高壓電場(chǎng)的高壓電極、高壓饋入裝置、 絕緣支撐裝置等，使得外形尺寸較大，在一些空間受限制區(qū)域?qū)崿F(xiàn)困難，甚至無(wú)法實(shí)現(xiàn)。因此研制一種滿足使用要求、結(jié)構(gòu)緊湊的裝置顯得十分有意義，解決受空間尺寸限制而實(shí)現(xiàn)在真空管道內(nèi)產(chǎn)生束流調(diào)節(jié)所需高壓電場(chǎng)的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種結(jié)構(gòu)緊湊，合理的真空管道式束流調(diào)節(jié)器。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為一種真空管道式束流調(diào)節(jié)器，包括正高壓電極，負(fù)高壓電極，高壓饋線，其特征在于，所述的正高壓電極，負(fù)高壓電極通過密封固定裝置平行設(shè)置在真空管道內(nèi)；在真空管道上設(shè)有圓盤絕緣裝置，所述的正高壓電極和負(fù)高壓電極通過高壓饋線與圓盤絕緣裝置相連接；所述的圓盤絕緣裝置還與正、負(fù)高壓輸出線相連接。進(jìn)一步，所述的圓盤絕緣裝置包括絕緣圓盤，絕緣圓盤設(shè)置在所述真空管道上設(shè)有的絕緣圓盤支撐座上，并通過壓板固定。進(jìn)一步，在所述的絕緣圓盤支撐座與絕緣圓盤之間設(shè)有橡膠密封圈；在絕緣圓盤與壓板之間設(shè)有橡膠保護(hù)圈。進(jìn)一步，所述的圓盤絕緣裝置還包括有高壓蔽罩，所述的高壓蔽罩設(shè)置在所述的壓板上，所述的正、負(fù)高壓輸出線穿過高壓蔽罩。進(jìn)一步，所述的絕緣圓盤為金屬陶瓷封接件，可同時(shí)滿足高壓電導(dǎo)入、絕緣、真空密封要求。進(jìn)一步，所述的密封固定裝置包括高壓夾板，所述的正、負(fù)高壓電極通過高壓夾板固定在絕緣棒的一端，絕緣棒的另一端通過接地夾板固定在半月板上，半月板焊接在所述的真空管道上，半月板外端設(shè)有真空盲板，真空盲板也固定在真空管道上。進(jìn)一步，固定在絕緣棒兩端的高壓夾板和接地夾板為交叉90度角安裝，所述的絕緣棒兩端分別插設(shè)在高壓夾板和接地夾板的開口內(nèi)。進(jìn)一步，所述的真空盲板與真空管道之間設(shè)有金屬密封圈。進(jìn)一步，所述的高壓饋線包括前段高壓饋線和后段高壓饋線，后段高壓饋線的一端與所述的絕緣圓盤相連接，后段高壓饋線的另一端通過與前段高壓饋線的一端球絞連接，前段高壓饋線的另一端與所述的正、負(fù)高壓電極相連接。本發(fā)明還提供一種真空管道式束流調(diào)節(jié)方法，將正高壓和負(fù)高壓聯(lián)通正、負(fù)高壓輸出線，正、負(fù)高壓輸出線將正、負(fù)高壓依次通過絕緣圓盤、真空高壓饋線輸送至正、負(fù)高壓電極，使正、負(fù)高壓電極之間形成調(diào)節(jié)帶電粒子束流所需要的高壓電場(chǎng)。本發(fā)明的有益效果是其形成的電場(chǎng)水平可以達(dá)到IOKV以上，真空度高于 2X10_5!^。具有輸送電壓大、高真空、結(jié)構(gòu)緊湊、使用可靠。


圖1為本發(fā)明的軸向剖面示意圖； 圖2為本發(fā)明的橫向剖面示意圖3為本發(fā)明的軸向剖面結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為本發(fā)明真空高壓饋線的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1 如圖1所示，一種真空管道式束流調(diào)節(jié)器，包括正高壓電極2，負(fù)高壓電極3，真空高壓饋線9，所述的正高壓電極2和負(fù)高壓電極3通過密封固定裝置平行設(shè)置在真空管道1內(nèi)；在真空管道1上設(shè)有圓盤絕緣裝置，所述的正高壓電極2和負(fù)高壓電極3通過真空高壓饋線9與圓盤絕緣裝置相連接；所述的圓盤絕緣裝置還與正高壓輸出線17、負(fù)高壓輸出線12相連接。所述的圓盤絕緣裝置包括絕緣圓盤10，絕緣圓盤10設(shè)置在所述真空管道1上設(shè)有的絕緣圓盤支撐座上，并通過壓板14固定。在所述的絕緣圓盤支撐座與絕緣圓盤10之間設(shè)有橡膠密封圈11、在絕緣圓盤10與壓板14之間設(shè)有橡膠保護(hù)圈13。所述的圓盤絕緣裝置還包括有高壓蔽罩15，所述的高壓蔽罩15設(shè)置在所述的壓板14上，所述的正高壓輸出線17、負(fù)高壓輸出線12穿過高壓蔽罩15。所述的絕緣圓盤10為金屬陶瓷封接件，可同時(shí)滿足高壓電導(dǎo)入、絕緣、真空密封要求。所述的密封固定裝置包括高壓夾板4，所述的正高壓電極2、負(fù)高壓電極3通過高壓夾板4固定在絕緣棒5的一端，絕緣棒5的另一端通過接地夾板6固定在半月板16上， 半月板16焊接在所述的真空管道1上，半月板16外端設(shè)有真空盲板8，真空盲板8也固定在真空管道1上。固定在絕緣棒5兩端的高壓夾板4和接地夾板6為交叉90度角安裝，所述的絕緣棒5兩端分別插設(shè)在高壓夾板4和接地夾板6的開口內(nèi)。所述的真空盲板8與真空管道1之間設(shè)有金屬密封圈7。所述的真空高壓饋線9包括前段高壓饋線9-1和后段高壓饋線9-2，后段高壓饋線 9-2的一端與所述的絕緣圓盤10相連接，后段高壓饋線9-2的另一端通過與前段高壓饋線 9-1的一端球絞連接，前段高壓饋線9-1的另一端與所述的正高壓電極2、負(fù)高壓電極3相連接。所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器裝置，已實(shí)際應(yīng)用在相關(guān)項(xiàng)目中。整個(gè)裝置安裝在長(zhǎng)500毫米、內(nèi)徑63毫米的真空管道內(nèi)，高壓電極長(zhǎng)480毫米，兩高壓電極之間間隙為 1(Γ12毫米，電極寬度20毫米，在真空度為1 X 10^2 X 10_5 Pa條件下，所正高壓電極與負(fù)高壓電極之間可通入5飛KV的正、負(fù)高壓電，電壓差達(dá)1(T12KV。經(jīng)過一段時(shí)間的運(yùn)行，達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，滿足了對(duì)帶電粒子束流的調(diào)節(jié)需求。實(shí)施例2 本發(fā)明還提供一種真空管道式束流調(diào)節(jié)方法，將正高壓和負(fù)高壓聯(lián)通正高壓輸出線17、負(fù)高壓輸出線12，正高壓輸出線17、負(fù)高壓輸出線12將正、負(fù)高壓依次通過絕緣圓盤10、真空高壓饋線9輸送至正高壓電極2和負(fù)高壓電極3，使正高壓電極2、負(fù)高壓電極3之間形成調(diào)節(jié)帶電粒子束流所需要的高壓電場(chǎng)。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種真空管道式束流調(diào)節(jié)器，包括正高壓電極，負(fù)高壓電極，高壓饋線，其特征在于， 所述的正高壓電極，負(fù)高壓電極通過密封固定裝置平行設(shè)置在真空管道內(nèi)；在真空管道上設(shè)有圓盤絕緣裝置，所述的正高壓電極和負(fù)高壓電極通過高壓饋線與圓盤絕緣裝置相連接；所述的圓盤絕緣裝置還與正、負(fù)高壓輸出線相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的圓盤絕緣裝置包括絕緣圓盤，絕緣圓盤設(shè)置在所述真空管道上設(shè)有的絕緣圓盤支撐座上，并通過壓板固定。
3.如權(quán)利要求2所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，在所述的絕緣圓盤支撐座與絕緣圓盤之間設(shè)有橡膠密封圈；在絕緣圓盤與壓板之間設(shè)有橡膠保護(hù)圈。
4.如權(quán)利要求2或3所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的圓盤絕緣裝置還包括有高壓蔽罩，所述的高壓蔽罩設(shè)置在所述的壓板上，所述的正、負(fù)高壓輸出線穿過高壓蔽罩。
5.如權(quán)利要求2或3所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的絕緣圓盤為金屬陶瓷封接件。
6.如權(quán)利要求1所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的密封固定裝置包括高壓夾板，所述的正、負(fù)高壓電極通過高壓夾板固定在絕緣棒的一端，絕緣棒的另一端通過接地夾板固定在半月板上，半月板焊接在所述的真空管道上，半月板外端設(shè)有真空盲板， 真空盲板也固定在真空管道上。
7.如權(quán)利要求6所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，固定在絕緣棒兩端的高壓夾板和接地夾板為交叉90度角安裝，所述的絕緣棒兩端分別插設(shè)在高壓夾板和接地夾板的開口內(nèi)。
8.如權(quán)利要求6所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的真空盲板與真空管道之間設(shè)有金屬密封圈。
9.如權(quán)利要求1所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)器，其特征在于，所述的高壓饋線包括前段高壓饋線和后段高壓饋線，后段高壓饋線的一端與所述的絕緣圓盤相連接，后段高壓饋線的另一端與前段高壓饋線的一端球絞連接，前段高壓饋線的另一端與所述的正、負(fù)高壓電極相連接。
10.如權(quán)利要求1至8所述的真空管道式束流調(diào)節(jié)方法，其特征在于，將正高壓和負(fù)高壓聯(lián)通正、負(fù)高壓輸出線，正、負(fù)高壓輸出線將正、負(fù)高壓依次通過絕緣圓盤、真空高壓饋線輸送至正、負(fù)高壓電極，使正、負(fù)高壓電極之間形成調(diào)節(jié)帶電粒子束流所需要的高壓電場(chǎng)。
全文摘要
本發(fā)明主要涉及電真空領(lǐng)域，尤其涉及一種束流調(diào)節(jié)裝置。一種真空管道式束流調(diào)節(jié)器，包括正高壓電極，負(fù)高壓電極，高壓饋線，所述的正高壓電極，負(fù)高壓電極通過密封固定裝置平行設(shè)置在真空管道內(nèi)；在真空管道上設(shè)有圓盤絕緣裝置，所述的正高壓電極和負(fù)高壓電極通過高壓饋線與圓盤絕緣裝置相連接；所述的圓盤絕緣裝置還與正、負(fù)高壓輸出線相連接。本發(fā)明提供的裝置形成的電場(chǎng)水平可以達(dá)到10KV以上，真空度高于2×10-5Pa。具有輸送電壓大、高真空、結(jié)構(gòu)緊湊、使用可靠。
文檔編號(hào)H01J37/32GK102479656SQ20101056136
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2010年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月27日
發(fā)明者何源, 宋明濤, 張軍輝, 張小奇, 張斌, 李學(xué)敏, 盛麗娜, 馬力禎 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所