專利名稱：球面多條型陰極v型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術領域、納米科學與技術領域以及真空科學與技術領域的
相互交叉領域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板
場致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及一種球面多條型陰極v型懸上斜方柵控制結構的平
板顯示器及其制作工藝。
背景技術：
場致發(fā)射顯示器屬于平板顯示器件中的一種類型，也是最近幾年中新興的顯示器 件，其原理與現(xiàn)有的CRT顯示器的工作原理相類似，因而保留了 CRT顯示器的高圖像質量特 性，但卻具有薄型化、大面積化、低功耗化、低制作成本、寬的工作溫區(qū)以及快響應速度等優(yōu) 越之處，已經(jīng)被公認為是下一代的理想顯示市場產(chǎn)品。碳納米管是一種薄薄的石墨層巻曲 而成的管狀物質，能夠在較低的電場強度下發(fā)射出大量的電子，因此非常適合于用作場致 發(fā)射顯示器的陰極材料。對于利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射顯示器而言， 已經(jīng)引起了眾多科研人員的高度關注，并進行了大量的研究。 為了進一步降低器件制作成本以及更好的顯示動態(tài)圖像，制作三極結構的平板場 致發(fā)射顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。但是在目前所研發(fā)的三極結構碳納米管場致發(fā) 射顯示器件中，一方面，由于柵極結構的加入，對柵極制作材料的要求極高，其制作工藝也 比較復雜，因而造成器件制作成本居高不下；另一方面，所制作的三極結構平板顯示器，普 遍還都存在著柵極工作電壓過高、柵極工作電流偏大等不利之處，還需要投入大量的財力 和物力進行研究。而對于碳納米管陰極的制作工藝以及制作結構，也還沒有一個令人滿意 的方案。此外，對于整體平板顯示器件的制作，制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠也是不可 忽視的一個重要方面。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本
低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平
板顯示器及其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的 —種球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面 板18、陰極玻璃面板1和玻璃邊框21所構成的密封真空室；設置在陽極玻璃面板18上的 陽極傳導層19、陽極連線層22、陽極分隔層20以及制備在陽極傳導層19上面的熒光粉層 17 ;位于陽極玻璃面板18和陰極玻璃面板1之間的分隔支撐器16以及消氣劑15 ;其特征 在于 所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的基底材料為陰極玻璃面板；陰 極玻璃面板上印刷并燒結的絕緣漿料形成阻擋層2 ;阻擋層上面存在陰極底層3 ;陰極底層
5呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層4，陰極連線層和陰極底層是相互連通的； 陰極底層上面存在陰極增高層5，陰極增高層為半球型形狀，其下表面為平面，和陰極底層 相接觸，陰極增高層的上表面為球面型；陰極增高層上面存在陰極度越一層6和陰極度越 二層7，陰極度越一層和陰極度越二層是相互連通的；陰極度越一層位于陰極底層的上表 面，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)外直徑為陰極底層下表面直徑的五分之三，圓環(huán)內直徑為陰極 底層下表面直徑的五分之二 ；陰極度越二層位于陰極底層上表面陰極度越一層中，為兩條 相互交叉的直條型形狀，即總體呈現(xiàn)X型形狀，其末端和陰極度越一層相連通；陰極度越一 層和陰極度越二層的上面存在陰極犧牲層8 ;陰極底層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕 緣一層9 ;絕緣一層的上下表面均為平面，下表面和陰極底層相接觸，上表面的高度和陰極 度越一層外邊緣的高度相平齊；絕緣一層位于相鄰陰極增高層之間，絕緣一層的側面呈現(xiàn) 向內凹陷弧形形狀，和陰極增高層相接觸；絕緣一層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣 二層IO，絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸；絕緣二層中存在方型通 道孔，暴露出陰極增高層、陰極度越一層、陰極度越二層、陰極犧牲層，通道孔的側壁是垂直 于絕緣一層上表面的；絕緣二層上表面存在V型凹陷坑，V型凹陷坑的末端位于絕緣二層上 表面和通道孔相交處；絕緣二層上面存在柵極電極層ll，柵極電極層位于絕緣二層上V型 凹陷坑內，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層的周圍存在柵極連線層12， 柵極連線層和柵極電極層是相互連通的；絕緣二層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣三 層13，絕緣三層要覆蓋柵極電極層和柵極連線層；碳納米管14制備在陰極犧牲層上面。
所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的固定位置為安裝固定在陰極 玻璃面板上；陰極底層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、 銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ； 陰極度越一層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極度越二層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金 屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；柵極連線層為金 屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極底層的走向和柵極電極層的走向是相互垂直 的。 —種球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的制作工藝，其特征 在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形 成阻擋層； 3)陰極底層3的制作在阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極 底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形 成陰極連線層； 5)陰極增高層5的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形 成陰極增高層； 6)陰極度越一層6和陰極度越二層7的制作在陰極增高層的上表面制備出金屬 層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越一層和陰極度越二層； 7)陰極犧牲層8的制作在陰極度越一層和陰極度越二層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層； 8)絕緣一層9的制作在陰極底層上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣一層； 9)絕緣二層10的制作在絕緣二層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣二層； 10)柵極電極層11的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層； 11)柵極連線層12的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成柵極連線層； 12)絕緣三層13的制作在絕緣二層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣三層； 13)球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的表面清潔處理對球面多條型陰
極V型懸上斜方柵控制結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵； 14)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面； 15)陽極玻璃面板18的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板； 16)陽極傳導層19的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻
蝕工藝后形成陽極傳導層； 17)陽極連線層22的制作在陽極傳導層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成陽極連線層； 18)陽極分隔層20的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成陽極分隔層； 19)熒光粉層17的制備在陽極傳導層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 20)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器16、玻璃邊框21裝配
到一起，并將消氣劑15安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定； 21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟18具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進
行高溫燒結，燒結溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導層上面印刷熒光粉，在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的主要特點在于制作了具有球面多條型陰
極V型懸上斜方柵控制結構的、碳納米管陰極的平板場致發(fā)射平板顯示器件。 其一，采用了球面多條型陰極結構，在增加了碳納米管陰極發(fā)射表面積的基礎上，
充分利用了碳納米管陰極邊緣部分電場高度集中的原理，能夠極大地提升碳納米管的發(fā)射
效率；
其二，采用了 V型懸上斜方柵控制結構，進一步縮減了柵極-陰極之間的有效距離，從而達到降低器件工作電壓的目的； 另外，在本發(fā)明中，是在陽極結構和柵極控制結構全部制作完畢的情況下，最后才進行碳納米管陰極的制作，也就是說，碳納米管陰極的制作不受其它制作器件工藝的影響。此外，在本發(fā)明中的器件制作過程中，并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。


圖1給出了球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的縱向結構示意圖。
圖2給出了球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的橫向結構示意圖。
圖3給出了球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的、碳納米管陰極場致發(fā)射平板顯示器的結構示意圖。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明，但本發(fā)明并不局限于實施例。
如圖1、2、3所示，一種帶有球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板18、陰極玻璃面板1和玻璃邊框21所構成的密封真空室；設置在陽極玻璃面板18上的陽極傳導層19、陽極連線層22、陽極分隔層20以及制備在陽極傳導層19上面的熒光粉層17 ;位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器16以及消氣劑15。 所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結的絕緣漿料形成阻擋層；阻擋層上面存在陰極底層；陰極底層呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層，陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極增高層，陰極增高層為半球型形狀，其下表面為平面，和陰極底層相接觸，陰極增高層的上表面為球面型；陰極增高層上面存在陰極度越一層和陰極度越二層，陰極度越一層和陰極度越二層是相互連通的；陰極度越一層位于陰極底層的上表面，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)外直徑為陰極底層下表面直徑的五分之三，圓環(huán)內直徑為陰極底層下表面直徑的五分之二 ；陰極度越二層位于陰極底層上表面陰極度越一層中，為兩條相互交叉的直條型形狀，即總體呈現(xiàn)X型形狀，其末端和陰極度越一層相連通；陰極度越一層和陰極度越二層的上面存在陰極犧牲層；陰極底層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣一層；絕緣一層的上下表面均為平面，下表面和陰極底層相接觸，上表面的高度和陰極度越一層外邊緣的高度相平齊；絕緣一層位于相鄰陰極增高層之間，絕緣一層的側面呈現(xiàn)向內凹陷弧形形狀，和陰極增高層相接觸；絕緣一層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣二層，絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸；絕緣二層中存在方型通道孔，暴露出陰極增高層、陰極度越一層、陰極度越二層、陰極犧牲層，通道孔的側壁是垂直于絕緣一層上表面的；絕緣二層上表面存在V型凹陷坑，V型凹陷坑的末端位于絕緣二層上表面和通道孔相交處；絕緣二層上面存在柵極電極層，柵極電極層位于絕緣二層上V型凹陷坑內，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層的周圍存在柵極連線層，柵極連線層和柵極電極
8層是相互連通的；絕緣二層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣三層，絕緣三層要覆蓋柵極電極層和柵極連線層；碳納米管制備在陰極犧牲層上面。 所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極底層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極連線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ;陰極度越一層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極度越二層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；柵極連線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極底層的走向和柵極電極層的走向是相互垂直的。 —種球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成阻擋層； 3)陰極底層3的制作在阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成陰極連線層； 5)陰極增高層5的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成陰極增高層； 6)陰極度越一層6和陰極度越二層7的制作在陰極增高層的上表面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越一層和陰極度越二層； 7)陰極犧牲層8的制作在陰極度越一層和陰極度越二層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層； 8)絕緣一層9的制作在陰極底層上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣一層； 9)絕緣二層10的制作在絕緣二層的上面印刷絕緣槳料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣二層； 10)柵極電極層11的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成柵極電極層； 11)柵極連線層12的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成柵極連線層； 12)絕緣三層13的制作在絕緣二層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕緣三層； 13)球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的表面清潔處理對球面多條型陰
極V型懸上斜方柵控制結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵； 14)碳納米管14的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面； 15)陽極玻璃面板18的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板； 16)陽極傳導層19的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陽極傳導層； 17)陽極連線層22的制作在陽極傳導層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝 后形成陽極連線層； 18)陽極分隔層20的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工 藝后形成陽極分隔層； 19)熒光粉層17的制備在陽極傳導層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成 熒光粉層； 20)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器16、玻璃邊框21裝配
到一起，并將消氣劑15安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定； 21)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟18具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導層中間的空余位
置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結爐中進
行高溫燒結，燒結溫度58(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟19具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導層上面印刷熒光粉，在 烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。 所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機 上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 所述的帶有球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器，包括由陽極 玻璃面板18、陰極玻璃面板1和玻璃邊框21所構成的密封真空室；設置在陽極玻璃面板18 上的陽極傳導層19、陽極連線層22、陽極分隔層20以及制備在陽極傳導層19上面的熒光 粉層17 ;位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器16以及消氣劑15。所述的 球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構包括陰極玻璃面板1、阻擋層2、陰極底層3、陰極 連線層4、陰極增高層5、陰極度越一層6、陰極度越二層7、陰極犧牲層8、絕緣一層9、絕緣 二層10、柵極電極層11、柵極連線層12、絕緣三層13、碳納米管14部分。所述的球面多條 型陰極V型懸上斜方柵控制結構的基底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃之一。
權利要求
一種球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板(18)、陰極玻璃面板(1)和玻璃邊框(21)所構成的密封真空室；設置在陽極玻璃面板(18)上的陽極傳導層(19)、陽極連線層(22)、陽極分隔層(20)以及制備在陽極傳導層(19)上面的熒光粉層(17)；位于陽極玻璃面板(18)和陰極玻璃面板(1)之間的分隔支撐器(16)以及消氣劑(15)；其特征在于所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的基底材料為陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷并燒結的絕緣漿料形成阻擋層(2)；阻擋層上面存在陰極底層(3)；陰極底層呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層(4)，陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極增高層(5)，陰極增高層為半球型形狀，其下表面為平面，和陰極底層相接觸，陰極增高層的上表面為球面型；陰極增高層上面存在陰極度越一層(6)和陰極度越二層(7)，陰極度越一層和陰極度越二層是相互連通的；陰極度越一層位于陰極底層的上表面，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，其圓環(huán)外直徑為陰極底層下表面直徑的五分之三，圓環(huán)內直徑為陰極底層下表面直徑的五分之二；陰極度越二層位于陰極底層上表面陰極度越一層中，為兩條相互交叉的直條型形狀，即總體呈現(xiàn)X型形狀，其末端和陰極度越一層相連通；陰極度越一層和陰極度越二層的上面存在陰極犧牲層(8)；陰極底層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣一層(9)；絕緣一層的上下表面均為平面，下表面和陰極底層相接觸，上表面的高度和陰極度越一層外邊緣的高度相平齊；絕緣一層位于相鄰陰極增高層之間，絕緣一層的側面呈現(xiàn)向內凹陷弧形形狀，和陰極增高層相接觸；絕緣一層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣二層(10)，絕緣二層的下表面為平面，和絕緣一層的上表面相接觸；絕緣二層中存在方型通道孔，暴露出陰極增高層、陰極度越一層、陰極度越二層、陰極犧牲層，通道孔的側壁是垂直于絕緣一層上表面的；絕緣二層上表面存在V型凹陷坑，V型凹陷坑的末端位于絕緣二層上表面和通道孔相交處；絕緣二層上面存在柵極電極層(11)，柵極電極層位于絕緣二層上V型凹陷坑內，其前端延伸到通道孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；柵極電極層的周圍存在柵極連線層(12)，柵極連線層和柵極電極層是相互連通的；絕緣二層上面印刷并燒結的絕緣漿料形成絕緣三層(13)，絕緣三層要覆蓋柵極電極層和柵極連線層；碳納米管(14)制備在陰極犧牲層上面。
2. 根據(jù)權利要求1所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器， 其特征在于所述的陰極底層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極連線層為金 屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極增高層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之 一 ；陰極度越一層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極度越二層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極犧牲層 為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；柵極電極層為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；柵極連線層 為金屬金、銀、銅、鋁、鉛、錫、鉬、鉻、銦之一 ；陰極底層的走向和柵極電極層的走向是相互垂 直的。
3. —種如權利要求1所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的 制作工藝，其特征在于，其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 阻擋層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成 阻擋層；3) 陰極底層(3)的制作在阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層；4) 陰極連線層(4)的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成 陰極連線層；5) 陰極增高層(5)的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成 陰極增高層；6) 陰極度越一層(6)和陰極度越二層(7)的制作在陰極增高層的上表面制備出金屬 層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極度越一層和陰極度越二層；7) 陰極犧牲層(8)的制作在陰極度越一層和陰極度越二層的上面制備出金屬層，經(jīng) 常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極犧牲層；8) 絕緣一層(9)的制作在陰極底層上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形成絕 緣一層；9) 絕緣二層(10)的制作在絕緣二層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后 形成絕緣二層；10) 柵極電極層(11)的制作在絕緣二層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 柵極電極層；11) 柵極連線層(12)的制作在柵極電極層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后 形成柵極連線層；12) 絕緣三層(13)的制作在絕緣二層上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后形 成絕緣三層；13) 球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的表面清潔處理對球面多條型陰極V 型懸上斜方柵控制結構的表面進行清潔處理，除掉雜質和灰塵；14) 碳納米管(14)的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；15) 陽極玻璃面板(18)的制作對整體平板玻璃進行切割，制作出陽極玻璃面板；16) 陽極傳導層(19)的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕 工藝后形成陽極傳導層；17) 陽極連線層(22)的制作在陽極傳導層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝后 形成陽極連線層；18) 陽極分隔層(20)的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結工藝 后形成陽極分隔層；19) 熒光粉層(17)的制備在陽極傳導層上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒 光粉層；20) 器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、分隔支撐器(16)、玻璃邊框(21)裝配 到一起，并將消氣劑(15)安裝到空室當中，用低熔點玻璃粉固定；21) 成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝，形成成品件。
4. 根據(jù)權利要求3所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極傳導層中 間的空余位置印刷絕緣槳料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時間5分鐘，之后，放置在 燒結爐中進行高溫燒結，燒結溫度58(TC，保持時間10分鐘。
5. 根據(jù)權利要求3所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極傳導層上面印刷 熒光粉，在烘箱當中進行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權利要求3所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器的制 作工藝，其特征在于所述步驟21具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣 品器件放入烘箱當中進行烘烤；放入燒結爐當中進行燒結；在排氣臺上進行器件排氣、封 離，在烤消機上對器件內部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明特別涉及一種球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和玻璃邊框所構成的密封真空室；設置在陽極玻璃面板上的陽極傳導層、陽極連線層、陽極分隔層以及制備在陽極傳導層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的分隔支撐器以及消氣劑；所述的球面多條型陰極V型懸上斜方柵控制結構包括陰極玻璃面板、阻擋層、陰極底層、陰極連線層、陰極增高層、陰極度越一層、陰極度越二層、陰極犧牲層、絕緣一層、絕緣二層、柵極電極層、柵極連線層、絕緣三層、碳納米管部分；具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點。
文檔編號H01J31/12GK101789353SQ20091022735
公開日2010年7月28日 申請日期2009年12月8日 優(yōu)先權日2009年12月8日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學院