專利名稱：磁控管及磁控管用吸氣劑的刷涂工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種磁控管，特別是一種磁控管及磁控管用吸氣劑的刷涂工藝。
背景技術(shù)：
眾所周知，在磁控管工作時(shí)，磁控管的組件會(huì)散發(fā)氣體，如H2、 02、 H20、 CO、 C02、 N2等，因而造成磁控管內(nèi)部的真空度減低，磁控管的振 動(dòng)效率也由此降低，有可能導(dǎo)致對(duì)磁控管的振動(dòng)停止而無(wú)法正常工作。為了 解決這個(gè)問(wèn)題，通常釆用在磁控管內(nèi)部布置吸氣劑來(lái)吸收磁控管工作時(shí)所散 發(fā)出的氣體，例如中國(guó)專利文獻(xiàn)號(hào)CN101170039A所揭示的，采用在磁控管 的上端蓋的上表面放置鈦、鋯或類似物制成的吸氣劑。然而，由于磁控管的 陰極端蓋由于磁控管進(jìn)行排氣工藝及工作時(shí)的溫度高，陰極絲線圏溫度達(dá)到 1600'C以上，端帽的溫度也超過(guò)80(TC，而吸氣劑的激活溫度在400-500。C, 因此容易造成吸氣劑燒結(jié)、蛻皮掉粉等缺陷，使吸氣速率與吸氣容量降低， 降低吸氣效果，從而導(dǎo)致磁控管無(wú)法正常工作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在提供一種既能激活吸氣劑，又不至于因溫度過(guò)高而導(dǎo) 致吸氣劑燒結(jié)、掉粉等缺陷，還能保障吸氣劑的正常吸氣功效，從而保證磁 控管的真空度，實(shí)現(xiàn)磁控管正常工作，延長(zhǎng)磁控管使用壽命的磁控管及磁控 管用吸氣劑的涂刷工藝，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。
按此目的設(shè)計(jì)的一種磁控管，包括陽(yáng)極簡(jiǎn)形件和陰極構(gòu)件，陽(yáng)極簡(jiǎn)形件 上設(shè)置有一個(gè)以上朝著陽(yáng)極簡(jiǎn)形件的中心突出的葉片，上磁極和下磁極分別 覆蓋在陽(yáng)極簡(jiǎn)形件的上下二端，陰極構(gòu)件設(shè)置在陽(yáng)極簡(jiǎn)形件的中心軸上，陽(yáng) 極簡(jiǎn)形件和陰極構(gòu)件共同圍成作用空間，陰極構(gòu)件包括絲極線圏、支持絲極 線圈的上端蓋和下端蓋、具有固定到上端蓋的引導(dǎo)端部且在穿透下端蓋的同 時(shí)不與絲極線圏接觸的中心引線，其結(jié)構(gòu)特征是上磁極的下表面或下磁極的 上表面設(shè)置有吸氣劑。
所述上磁極的下表面或下磁極的上表面設(shè)置有一個(gè)以上的鎳片，吸氣劑粉末壓入鎳片中。
所述鎳片為二個(gè)以上，其相互疊加后形成杯狀。
所述杯狀的外形尺寸直徑小于等于5mm，高度小于等于2mm。
所述鎳片焊接在上磁極的下表面或下磁極的上表面。
所述葉片上設(shè)置有環(huán)體。
一種磁控管用吸氣劑的涂刷工藝，其特征是首先將粒徑約為40微米的 吸氣劑粉末、硝化棉、乙酸丁酯和丙酮，按照比例吸氣劑16土lg,硝化 棉0.5土0.1g，乙酸丁酯12土lml，丙酮2.5土0.5ml調(diào)配成漿料，然后將此 漿料均勻涂刷在上磁極的下表面或下磁極的上表面，待漿料自然干燥后吸氣 劑被穩(wěn)定的固置在在上磁極的下表面或下磁極的上表面。
由于磁控管在進(jìn)行排氣、老練工藝及工作過(guò)程中，磁極的溫度在550-600 °C,比吸氣劑的激活溫度400-500X:高50-150'C,因此既能激活吸氣劑也不 至于因溫度過(guò)高而導(dǎo)致吸氣劑燒結(jié)、掉粉等缺陷，保障了吸氣劑的正常吸氣 功效，從而保證了磁控管的真空度，實(shí)現(xiàn)磁控管的正常工作。
本發(fā)明的磁控管可以充分發(fā)揮磁極在排氣過(guò)程中的溫度-時(shí)間特性，將 吸氣劑裝配在磁極上，進(jìn)行充分激活，同時(shí)還可以發(fā)揮吸氣劑在室溫下的優(yōu) 異的吸氣性能。吸氣劑在低溫下就能激活，避免了在磁控管工作過(guò)程中被燒 結(jié)、出現(xiàn)褪皮的缺陷，能穩(wěn)定的保持磁控管內(nèi)的真空度，確保磁控管正常工 作，從而延長(zhǎng)磁控管的使用壽命。
本發(fā)明中的吸氣劑由鋯、鈦或類似物制成，具體參見(jiàn)中國(guó)專利文獻(xiàn)號(hào) CN1050047A中公開的一種非蒸散型低溫激活吸氣劑及其制造工藝。


圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為吸氣劑焊裝布置在上磁極上的示意圖。
圖3為吸氣劑涂裝在上磁極上的示意圖。
圖4為磁極在磁控管排氣工序中的溫度-時(shí)間特性曲線。
圖中l(wèi)為陽(yáng)極簡(jiǎn)形件，2為上磁極，3為下磁極，4為吸氣劑，5為陰
極構(gòu)件，6為鎳片，ll為葉片，12為環(huán)體，51為絲極線圏，52為上端蓋，
53為下端蓋，54為中心引線。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
參見(jiàn)圖1-圖3,本磁控管，包括陽(yáng)極簡(jiǎn)形件1和陰極構(gòu)件5,陽(yáng)極簡(jiǎn)形 件1上設(shè)置有一個(gè)以上朝著陽(yáng)極簡(jiǎn)形件的中心突出的葉片11，葉片上設(shè)置
4有環(huán)體12。上磁極2和下磁極3分別覆蓋在陽(yáng)極簡(jiǎn)形件1的上下二端，陰 極構(gòu)件5設(shè)置在陽(yáng)極簡(jiǎn)形件1的中心軸上，陽(yáng)極簡(jiǎn)形件1和陰極構(gòu)件5共同 圍成作用空間，陰極構(gòu)件5包括絲極線圈51、支持絲極線圈51的上端蓋52 和下端蓋53、具有固定到上端蓋52的引導(dǎo)端部且在穿透下端蓋53的同時(shí) 不與絲極線圈51接觸的中心引線54，上磁極2的下表面或下磁極3的上表 面設(shè)置有吸氣劑。
本磁控管中吸氣劑可通過(guò)二種方法設(shè)置在上磁極2的下表面或下磁極3 的上表面。
第一種方法選取粒徑約為40微米左右的吸氣劑顆粒粉末，將一定量 吸氣劑粉末壓入鎳片6內(nèi)，在上磁極2的下表面或下磁極3的上表面設(shè)置有 一個(gè)以上的鎳片6。鎳片6通過(guò)焊接固置在上磁極2的下表面或下磁極3的 上表面。當(dāng)鎳片6為二個(gè)以上時(shí)，其相互疊加后形成杯狀。杯狀的外形尺寸 直徑小于等于5mm,高度小于等于2mm。然后按磁控管正常工藝進(jìn)行排氣、 老練工藝，最后吸氣劑被穩(wěn)定固置在磁極表面上。
第二種方法首先將粒徑為40微米的吸氣劑粉末、硝化棉、乙酸丁酯 和丙酮，按照比例按照比例吸氣劑16土lg，硝化棉0.5土0.1g，乙酸丁 酯12士lml，丙酮2.5±0.51111調(diào)配成漿料，然后將此漿料均勻涂刷在上磁極 2的下表面或下磁極3的上表面，待漿料自然干燥后，再按磁控管正常工藝 進(jìn)行排氣、老練，最后，吸氣劑被穩(wěn)定的固置在上磁極2的下表面或下磁極 3的上表面。
參見(jiàn)圖4,由于在排氣過(guò)程中，上磁極2或下磁極3的最高溫度約為 550-600°C，且時(shí)間約為30分鐘。因此，此排氣工藝非常適合上述固置在上 磁極2的下表面或下磁極3的上表面的吸氣劑充分激活。
權(quán)利要求
1.一種磁控管，包括陽(yáng)極筒形件(1)和陰極構(gòu)件(5)，陽(yáng)極筒形件上設(shè)置有一個(gè)以上朝著陽(yáng)極筒形件的中心突出的葉片(11)，上磁極(2)和下磁極(3)分別覆蓋在陽(yáng)極筒形件的上下二端，陰極構(gòu)件設(shè)置在陽(yáng)極筒形件的中心軸上，陽(yáng)極筒形件和陰極構(gòu)件共同圍成作用空間，陰極構(gòu)件包括絲極線圈(51)、支持絲極線圈的上端蓋(52)和下端蓋(53)、具有固定到上端蓋的引導(dǎo)端部且在穿透下端蓋的同時(shí)不與絲極線圈接觸的中心引線(54)，其特征是上磁極的下表面或下磁極的上表面設(shè)置有吸氣劑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管，其特征是所述上磁極(2)的下表面 或下磁極(3 )的上表面設(shè)置有一個(gè)以上的鎳片(6 )，吸氣劑粉末壓入鎳片中。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控管，其特征是所述鎳片(6)為二個(gè)以上, 其相互疊加后形成杯狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控管，其特征是所述杯狀的外形尺寸直徑 小于等于5mm,高度小于等于2mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的磁控管，其特征是所述鎳片(6)焊接在 上磁極(2)的下表面或下磁極(3)的上表面。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管，其特征是所述葉片(11)上設(shè)置有環(huán) 體(12)。
7. —種如權(quán)利要求1所述的磁控管用吸氣劑的刷涂工藝，其特征是首先 將粒徑約為40微米的吸氣劑粉末、硝化棉、乙酸丁酯和丙酮，按照比例吸 氣劑16士lg，硝化棉0.5士0.1g,乙酸丁酯12土lml，丙酮2.5土0.5ml調(diào)配成 漿料，然后將此漿料均勻涂刷在上磁極(2)的下表面或下磁極(3)的上表 面，待漿料自然干燥后吸氣劑被穩(wěn)定的固置在在上磁極的下表面或下磁極的 上表面。
全文摘要
一種磁控管及磁控管用吸氣劑的刷涂工藝，磁控管包括陽(yáng)極筒形件和陰極構(gòu)件，陽(yáng)極筒形件上設(shè)置有一個(gè)以上朝著陽(yáng)極筒形件的中心突出的葉片，上磁極和下磁極分別覆蓋在陽(yáng)極筒形件的上下二端，陰極構(gòu)件設(shè)置在陽(yáng)極筒形件的中心軸上，陽(yáng)極筒形件和陰極構(gòu)件共同圍成作用空間，陰極構(gòu)件包括絲極線圈、支持絲極線圈的上端蓋和下端蓋、具有固定到上端蓋的引導(dǎo)端部且在穿透下端蓋的同時(shí)不與絲極線圈接觸的中心引線，上磁極的下表面或下磁極的上表面設(shè)置有吸氣劑。本發(fā)明具有既能激活吸氣劑，又不至于因溫度過(guò)高而導(dǎo)致吸氣劑燒結(jié)、掉粉等缺陷，還能保障吸氣劑的正常吸氣功效，從而保證磁控管的真空度，實(shí)現(xiàn)磁控管正常工作的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J25/00GK101625951SQ200910041828
公開日2010年1月13日 申請(qǐng)日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月7日
發(fā)明者王彩育, 王賢友, 葛春橋 申請(qǐng)人:美的集團(tuán)有限公司