專利名稱：半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光電倍增管中半透明光電陰極的制備工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體的涉及一種對(duì)不良半透明光電陰極進(jìn)行修復(fù)制備的新工藝。
背景技術(shù)：
光電倍增管(PhotoMultiplierTube)，簡稱PMT，是靈敏度極高，響應(yīng)速度極快的光探測(cè)器。其廣泛應(yīng)用于光子計(jì)數(shù)、極微弱光探測(cè)、化學(xué)發(fā)光、生物發(fā)光研究、極低能量射線探測(cè)、分光光度計(jì)、旋光儀、色度計(jì)、照度計(jì)、塵埃計(jì)、濁度計(jì)、光密度計(jì)、熱釋光量儀、輻射量熱計(jì)、掃描電鏡、生化分析儀等儀器設(shè)備中。光電倍增管由光電發(fā)射陰極(光陰極)和聚焦電極、電子倍增極及電
子收集極(陽極)等組成。其主要工作過程如下當(dāng)光照射到光陰極時(shí)，光陰極向真空中激發(fā)出光電子。這些光電子按聚焦極電場(chǎng)進(jìn)入倍增系統(tǒng)，并通過進(jìn)一步的二次發(fā)射得到的倍增放大。然后把放大后的電子用陽極收集作為信號(hào)輸出。因?yàn)椴捎昧硕伟l(fā)射倍增系統(tǒng)，所以光電倍增管在探測(cè)紫外、可見和近紅外區(qū)的輻射能量的光電探測(cè)器中，具有極高的靈敏度和極低的噪聲。另外，光電倍增管還具有響應(yīng)快速、成本低、陰極面積大等優(yōu)點(diǎn)。
光陰極的制備主要釆用電子逸出功很低的雙堿和多堿材料，能實(shí)現(xiàn)較高的量子效率和較低的熱發(fā)射。在半透明光電陰極的工藝制作中，經(jīng)常會(huì)因?yàn)槟撤N操作不當(dāng)，發(fā)生意外情況，如銻層蒸的過厚等因素，使形成的光電陰極透明度差，藍(lán)光靈敏度偏低；又如，因操作不當(dāng)，光電陰極出現(xiàn)異常等不良結(jié)果。發(fā)生此種情況后，光電陰極制作往往以失敗而告終。這極大地增加了光電倍增管的制備成本，并會(huì)造成光電倍增管材料的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種在光電倍增管的半透明光電陰極制備不良時(shí)的修復(fù)制備工藝，實(shí)現(xiàn)了半透明光電陰極重新制備的修復(fù)制備工藝，極大提高了半透明光電陰極制備的良率，有效降低光電倍增管的制備成本。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下
一種半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，其特征在于所述修復(fù)制備工藝包括
在原半透明光電陰極制備過程中出現(xiàn)不良結(jié)果時(shí)，將光電倍增管的光窗玻璃外進(jìn)行加熱，致使先前形成的光電陰極分解析退。
具體的講，所述原半透明光電陰極的制備包括在光電倍增管的光窗玻璃基體上形成半透明雙堿光電陰極。
所述原半透明光電陰極的制備還包括在光窗玻璃基底上先蒸一銻層，然后使之與堿金屬鉀和銫進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，形成黃褐色的半透明銻鋰銫光電陰極。
所述原半透明光電陰極的制備包括在光窗玻璃基板上形成K3Sb層，再用
Cs元素置換K而形成K2CsSb的半透明銻銫光電陰極。
所述原半透明光電陰極的制備包括在光窗玻璃基板上形成Cs3Sb層，再
用K元素置換Cs而形成K2CsSb的半透明銻銫光電陰極。
所述修復(fù)制備工藝中的加熱包括采用軟火緩慢加熱，致堿金屬銫和堿金屬鉀及金屬銻脫離光窗玻璃，光窗玻璃恢復(fù)到先前光亮透明的狀態(tài)。
所述修復(fù)制備工藝還包括首先將光電倍增管的光窗玻璃溫度降至室溫，
然后再進(jìn)行加熱。
一種半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，
其特征在于所述修復(fù)制備工藝具體包括
采用具有不良半透明光電陰極的光電倍增管作為修復(fù)制備對(duì)象；首先使該光電倍增管的光窗玻璃溫度降至室溫；
然后采用軟火加熱的方法，逐漸加熱升溫至先前形成的光電陰極分解析退，光窗玻璃恢復(fù)到先前光亮透明的狀態(tài)；
然后進(jìn)行半透明光電陰極的重新制備。
該半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝可廣泛的使用于各種方法所制備的雙堿半透明光電陰極的修復(fù)再制備。通過二次或多次制備，能夠?qū)崿F(xiàn)雙堿半透明光電陰極的制備良率達(dá)到百分之百。同時(shí)在進(jìn)行光電陰極的分解退析后，不會(huì)影響光窗玻璃的透光性，其外形仍能保持色澤透亮的效果，同時(shí)光電陰極的性能佳，二次制備的合格率也大大提高。
具體實(shí)施例方式
該半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，可用 于多種方法制備的半透明雙堿光電陰極的修復(fù)制備，例如
在光窗玻璃基底上先蒸一銻層，然后使之與堿金屬鉀和銫進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)， 形成黃褐色的半透明銻鉀銫光電陰極的制備方法；
先在光窗玻璃基板上形成K3Sb層，再用Cs元素置換K而形成K2CsSb的 半透明銻銫光電陰極的制備方法。
在光窗玻璃基板上形成Cs3Sb層，再用K元素置換Cs而形成K2CsSb的半 透明銻銫光電陰極的制備方法。
在發(fā)現(xiàn)原半透明光電陰極制備過程中出現(xiàn)不良結(jié)果時(shí)，可通過如下方法進(jìn) 行該不良光電陰極的分解析退。
首先將該光電倍增管的光窗玻璃溫度降至室溫；
然后采用軟火加熱的方法，逐漸加熱升溫至先前形成的光電陰極分解析退， 光窗玻璃恢復(fù)到先前光亮透明的狀態(tài)；該軟火可采用明火源及非明火源接觸的 輻射或傳導(dǎo)加熱方式實(shí)現(xiàn)， 一般控制升溫幅度在3(TC/分鐘內(nèi)。通過升溫加熱， 堿金屬銫和堿金屬鉀及金屬銻脫離光窗玻璃被趕到光窗玻璃的側(cè)壁上，在當(dāng)光 電倍增管的封閉玻殼冷卻后，在光窗玻璃上重新制作光電陰極。
采用本修復(fù)制備工藝制作的雙堿半透明光電陰極，不僅性能好，合格率高， 而且外形色澤透亮。
權(quán)利要求
1. 一種半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，其特征在于所述修復(fù)制備工藝包括在原半透明光電陰極制備過程中出現(xiàn)不良結(jié)果時(shí)，將光電倍增管的光窗玻璃外進(jìn)行加熱，致使先前形成的光電陰極分解析退。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于所述原半透明光電陰極的制備包括在光電倍增管的光窗玻璃基體上形成半透明雙堿光電陰極。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于所述原半透明光電陰極的制備還包括在光窗玻璃基底上先蒸一銻層，然后使之與堿金屬鉀和銫進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，形成黃褐色的半透明銻經(jīng)銫光電陰極。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于所述原半透明光電陰極的制備包括在光窗玻璃基板上形成K3Sb層，再用Cs元素置換K而形成K2CsSb的半透明銻銫光電陰極。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于其特征在于所述原半透明光電陰極的制備包括在光窗玻璃基板上形成Cs3Sb層，再用K元素置換Cs而形成K2CsSb的半透明銻銫光電陰極。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于所述修復(fù)制備工藝中的加熱包括采用軟火緩慢加熱，致堿金屬銫和堿金屬鉀及金屬銻脫離光窗玻璃，光窗玻璃恢復(fù)到先前光亮透明的狀態(tài)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，其特征在于所述修復(fù)制備工藝還包括首先將光電倍增管的光窗玻璃溫度降至室溫，然后再進(jìn)行加熱。
8. —種半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，其特征在于所述修復(fù)制備工藝具體包括-采用具有不良半透明光電陰極的光電倍增管作為修復(fù)制備對(duì)象；首先使該光電倍增管的光窗玻璃溫度降至室溫；然后采用軟火加熱的方法，逐漸加熱升溫至先前形成的光電陰極分解析退，光窗玻璃恢復(fù)到先前光亮透明的狀態(tài)；然后進(jìn)行半透明光電陰極的重新制備。
全文摘要
一種半透明光電陰極的修復(fù)制備工藝，用于半透明雙堿光電陰極的修復(fù)，其特征在于所述修復(fù)制備工藝包括在原半透明光電陰極制備過程中出現(xiàn)不良結(jié)果時(shí)，將光電倍增管的光窗玻璃外進(jìn)行加熱，致使先前形成的光電陰極分解析退。通過該修復(fù)制備工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)雙堿半透明光電陰極的制備良率達(dá)到百分之百。同時(shí)在進(jìn)行光電陰極的分解退析后，不會(huì)影響光窗玻璃的透光性，其外形仍能保持色澤透亮的效果，同時(shí)光電陰極的性能佳，二次制備的合格率也大大提高。
文檔編號(hào)H01J9/00GK101459021SQ20081017244
公開日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2008年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月11日
發(fā)明者孫宗慈 申請(qǐng)人:孫榕晴